Nanoporous organosilicate thin films prepared with covalently bonded adamantylphenol pore generators

Chemistry of Materials

Volumn 18, Issue 2, 2006, Pages 378-385

  Cha, Bong Jun ^a   Kim, Suhan ^a   Char, Kookheon ^a   Lee, Jin Kyu ^a   Yoon, Do Y ^a   Rhee, Hee Woo ^b  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b Sogang University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CROSSLINKING; DIELECTRIC PROPERTIES; FOURIER TRANSFORM INFRARED SPECTROSCOPY; GAS CHROMATOGRAPHY; MASS SPECTROMETRY; NANOSTRUCTURED MATERIALS; POLYMERS; THERMOGRAVIMETRIC ANALYSIS; THIN FILMS; X RAYS;

NANOPOROUS FILMS; NITROGEN SORPTION ANALYSIS; X-RAY REFLECTIVITY;

SILICATES;

EID: 33644553804     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm051916d     Document Type: Article

References (45)

1. Kim, H.-C; Wallraff, G.; Kreller, C. R.; Angelos, S.; Lee, V. Y.; Volksen, W.; Miller, R. D. Nano Lett. 2004, 4, 1169 and references therein.
2. (a) Yang, S.; Mirau, P. A.; Pai, C.-S.; Nalamasu, O.; Reichmanis, E.; Pai, J. C.; Obeng, Y. S.; Seputro, J.; Lin, E. K.; Lee, H.-J.; Sun, J.; Gidley, D. W. Chem. Mater. 2002, 14, 369.
3. (b) Ro, H. W.; Char, K.: Lee, J. K.; Min, S. K.; Rhee, H. W.; Yoon, D. Y. Polym. Prepr. 2001, 42 (2), 889.
4. (c) Ro, H. W.; Char, K.; Chu, S. H.; Jin, M. Y.; Kim, W. C.; Lee, J. K.; Min, S. K.; Rhee, H. W.; Yoo, D. Y.; Yoon, D. Y. Polym. Prepr. 2002, 43 (2), 1166.
5. (d) Kim, S.; Toivola, Y.; Cook, R. F.; Char, K.; Chu, S.-H.; Lee, J.-K.; Yoon, D. Y.; Rhee, H. W. J. Electrochem. Soc. 2004, 151, F37.
6. (a) Braun, A. E. Semicond. Int. 2003, May.
7. (b) Braun, A. E. Semicond. Int. 2003, August.
8. (a) Mikoshiba, S.; Hayase, S. J. Mater. Chem. 1999, 9, 591.
9. (b) Zhong. B.; Spaulding, M.; Albaugh, J.; Moyer, E. Polym. Mater. Sci. Eng. 2002, 87, 440.
10. (c) Padovani, A. M.; Rhodes, L.; Allen, S. A. B.; Kohl, P. A. J. Electrochem. Soc. 2002, 149, F161.
11. (d) Padovani. A. M.; Riester, L.; Rhodes, L.; Allen, S. A. B.; Kohl, P. A. J. Electrochem. Soc. 2002, 149, F171.
12. (e) Yu, S.; Wong, T. K. S.; Hu, X.; Pita, K.; Ligatchev, V. J. Electrochem. Soc. 2004, 151, F123.
13. (f) Ro, H. W.; Kim, K. J.; Theato, P.; Gidley, D. W.; Yoon, D. Y. Macromolecules 2005, 38, 1031.
14. (h) Su, K.; Bujalski. D. R.; Eguchi, K.; Gordon, G. V.; Ou, D.; Chevalier, P.; Hu, S.; Boisvert, R. P. Chem. Mater. 2005, 17, 2520.
15. Eftink, M. R.; Andy, M. L.; Bystrom, K.; Perlmutter, H. D.; Kristol, D. S. J. Am. Chem. Soc. 1989, 111, 6765.
16. (a) Lee, J.-K.; Char, K.; Rhee, H.-W.; Ro, H. W.; Yoo, D. Y.; Yoon, D. Y. Polymer 2001, 42, 9085.
17. (b) Lee, L. H.; Chen, W.-C.; Liu, W.C. J. Polym. Sci., Polym. Chem. 2002, 40, 1560.
18. Jursic, B. S. J. Chem. Soc., Perkin Trans. 1999, 2, 369.
19. (a) Liu, W.-C.; Yang, C.-C.; Chen, W.-C.; Dai, B.-T.; Tasi, M.-S. J. Non-Cryst. Solids 2002, 311, 233.
20. (b) Chua, C. T.; Sarkar, G.; Hu, X. J. Electrochem. Soc. 1998, 145, 4007.
21. (c) Huang, Q. R.; Volksen, W.; Huang, E.; Toney, M.; Frank, C. W.; Miller, R. D. Chem. Mater. 2002, 14, 3676.
22. (a) Grill, A.; Fatal, V. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 803.
23. (b) Maex, K.; Baklanov, M. R.; Shamiryan, D.; Iacopi, F.; Brongersma. S. H.; Yanovitskaya, Z. S. J. Appl. Phys. 2003, 93, 8793.
24. (a) Morterra, C.; Low, M. J. D. Carbon 1985, 23, 525.
25. (b) Johnson, S. A.; Brigham, E. S.; Ollivier, P. J.; Mallouk, T. E. Chem. Mater. 1997, 9, 2448.
26. (c) Costa, L.; Montelera, R. D.; Camino, G.; Weil, E. D.; Pearce, E. M. Polym. Degrad. Stab. 1997, 56, 23.
27. (d) Kim, Y. J.; Kim, M. I.; Yun, C. H.; Chang, J. Y.; Park, C. R.; Inagaki, M. J. Colloid Interface Sci. 2004, 274, 555.
28. (e) Loy, D. A.; Beach, J. V.; Baugher, B. M.; Assink, R. A.; Shea, K. J.; Tran. J.; Small, J. H. Chem. Mater. 1999, 11, 3333.
29. Shimada, T.; Aoki, K.; Shinoda, Y.; Nakamura, T.; Tokunaga, N.; Inagaki, S.; Hayashi, T. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 4688.
30. (a) Lee, H.-J.; Soles, C. L.; Liu, D.-W.; Bauer, B. J.; Wu, W.-L. J. Polym. Sci., Polym. Phys. 2002, 40, 2170.
31. (b) Lee, H.-J.; Soles, C. L.; Liu, D.-W.; Bauer, B. J.; Lin, E. K.; Wu, W.-L.; Grill, A. J. Appl. Phys. 2004, 95, 2355.
32. (c) Grill, A.; Patel, V.; Rodbell, K. P.; Huang, E.; Baklanov, M. R.; Mogilnikov, K. P.; Toney, M.; Kim, H.-C. J. Appl. Phys. 2003, 94, 3427.
33. Yoon, D. Y.; Ro, H. W.; Park, E. S.; Lee, J.-K.; Kim, H.-J.; Char, K.; Rhee, H.-W.; Kwon, D.; Gidley, D. W. Mater. Res. Soc. Proc. 2003, 766, E651.
34. (a) Thomas, M. E.; Iwamoto, N. Semicond. Int. 2002, June.
35. (b) Kim, H.-C.; Wilds, J. B.; Hinsberg, W. D.; Johnson, L. R.; Volksen, W.; Magbitang, T.; Lee, V. Y.; Hedrick, J. L.; Hawker, C. J.; Miller, R. D. Chem. Mater. 2002, 14, 4628.
36. (c) Shamiryan, D. G.; Baklanov, M. R.; Vanhaelemeersch, S.; Maex, K. Electrochem. Solid-Stale Lett. 2001, 4, F3.
37. (d) Fisher, I.; Kaplan, W. D.; Eizenberg, M. J. Appl. Phys. 2004, 95, 5762.
38. (e) Kim, Y.-H.; Hwang, M. S.; Kim, H. J.; Kim, J. Y.; Lee, Y. J. Appl. Phys. 2001, 90, 3367.
39. (f) Kim, J. Y.; Hwang, M. S.; Kim, Y.-H.; Kim, H. J.; Lee, Y. J. Appl. Phys. 2001, 90, 2469.
40. (a) Barrie, P. J.; Carr, S. W.; Ou, D. L.; Sullivan, A. C. Chem. Mater. 1995, 7, 265.
41. (b) Adeogun, M. J.; Hay, J. N. Chem. Mater. 2000, 12, 767.
42. (c) Sun, T.; Wong, M. S.; Ying, J. Y. Chem. Commun. 2000, 2057.
43. (d) Kim, J.-H.; Lyu, Y.-Y.; Jeong, H.-D.; Song, S. A.; Hwang, I.-S.; Lee, J. H.; Man, S. K.; Chang, S.; Park, J.-G.; Hu, Y. F.; Sun, J. N.; Gidley, D. W. Adv. Funct. Mater. 2003, 13, 382.
44. Cook, R. F.; Liniger, E. G. J. Electrochem. Soc. 1999, 146, 4439.
45. Shamiryan, D.; Weidner, K.; Gray, W. D.; Baklanov, M. R.; Vanhaelemeersch, S.;Maex, K. Microelectron. Eng. 2002, 64, 361.