Unconventional Methods for Fabricating and Patterning Nanostructures

Chemical Reviews

Volumn 99, Issue 7, 1999, Pages 1823-1848

  Xia, Younan ^a   Rogers, John A ^b   Paul, Kateri E ^c   Whitesides, George M ^c  

^a UNIVERSITY OF WASHINGTON   (United States)

^b LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

^c HARVARD UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0346704264     PISSN: 00092665     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cr980002q     Document Type: Article

References (287)

1. Bell, L. D.; Kaiser, W. J. Phys. Rev. Lett. 1988, 61, 2368-2370.
2. Hutley, M. C. Diffraction Gratings; Academic Press: New York, 1982.
3. Heinze, J. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1993, 32, 1268-1288.
4. Bube, R. H. Electrons in Solids; Academic: New York, 1981.
5. Ingber, D. E. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A 1990, 87, 3579-3683.
6. Chen, C. S.; Mrksich, M.; Huang, S.; Whitesides, G. M.; Ingber, D. E. Science 1997, 276, 1425-1428.
7. Chen, C. S.; Mrksich, M.; Huang, S.; Whitesides, G. M.; Ingber, D. E. Biotechnol. Prog. 1998, 14, 356-363.
8. Imry, Y. Introduction to Mesoscopic Physics; Oxford University Press: New York, 1997.
9. Kumar, A.; Abbott, N. L.; Kim, E.; Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Acc. Chem. Res. 1995, 28, 219-226.
10. Kastner, M. A. Phys. Today 1993, 24-31.
11. Reed, M. A. Sci. Am. 1993, 118-123.
12. Likharev, K. K.; Claeson, T. Sci. Am. 1992, 80-85.
13. Likharev, K. K. IBM J. Res. Dev. 1988, 32, 144-158.
14. Vijayakrishnan, V.; Chainani, A.; Sarma, D. D.; Rao, C. N. R. J. Phys. Chem. 1992, 96, 8679-8682.
15. Betzig, E.; Trautman, K. Science 1992, 257, 189-195.
16. Girard, C.; Dereux, A. Rep. Prog. Phys. 1996, 59, 657-699.
17. Joannopoulos, J. D.; Villeneuve, P. R.; Fan, S. Nature 1997, 386, 143-149.
18. Rutledge, D. B.; Neikirk, D. P.; Kasilingam, D. P. In Infrared and Millimeter Waves; Button, K. J., Ed.; Academic Press: New York, 1983.
19. Photonic Band Gap Materials; Soukoulis, C. M., Ed.; Kluwer Academic Publishers: Boston, 1996; Vol. 315.
20. Rohrer, H. Miroelectron. Eng. 1996, 32, 5-14.
21. Tolles, W. M. Nanotechnology 1996, 7, 59-105.
22. Buot, F. A. Phys. Rep. 1993, 243, 73-174.
23. Whitesides, G. M.; Mathias, J. P.; Seto, C. T. Science 1991, 254, 1312-1319.
24. Barrett, C. R. Mater. Res. Soc. Bull. 1993, 3-10.
25. Service, R. F. Science 1996, 273, 1834-1836.
26. Schaller, R. R. IEEE Spectrum 1997, 53-59.
27. Geppert, L. IEEE Spectrum 1998, 33-38.
28. Doerner, M. F.; White, R. L. MRS Bull. 1996, 21, 28-34.
29. Hoen, S.; Mamin, H. J.; Rugar, D. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 267-269.
30. Cleland, A. N.; Roukes, M. L. Nature 1998, 392, 160-162.
31. Fafard, S.; Hinzer, K.; Raymond, S.; Dion, M.; McCaffrey, J.; Feng, Y.; Charbonneau, S. Science 1996, 274, 1350-1353.
32. Faist, J.; Capasso, F.; Sivco, D. L.; Sirtori, C.; Hutchinson, A. L.; Cho, A. Y. Science 1994, 264, 553-556.
33. Devoret, M. H.; Esteve, D.; Urbina, C. Nature 1992, 360, 547-553.
34. Petit, C.; Taleb, A.; Pileni, M.-P. Adv. Mater. 1998, 10, 259-261.
35. Collet, J.; Vuillaume, D. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 2681-2683.
36. Ewing, A. G.; Strein, T. G.; Lau, Y. Y. Acc. Chem. Res. 1992, 25, 440-447.
37. Xie, X. S. Acc. Chem. Res. 1996, 29, 598-606.
38. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1998, 37, 550-575.
39. Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2658-2660.
40. Whitesides, G. M. Sci. Am. 1995, 273, 146-149.
41. Levenson, M. D. Solid State Technol. 1995, 57-66.
42. Smith, H. I.; Craighead, H. G. Phys. Today 1990, 24-30.
43. Ozin, G. A. Adv. Mater. 1991, 4, 612-649.
44. Ulman, A. Introduction to Thin Organic Films: From Langmuir-Blodgett to Self-Assembly; Academic Press: Boston, 1991.
45. Dubois, L. H.; Nuzzo, R. G. Annu. Rev. Phys. Chem. 1992, 43, 437-463.
46. Delamarche, E.; Michel, B.; Biebuyck, H. A.; Gerber, C. Adv. Mater. 1996, 8, 719-729.
47. Xia, Y.; McClelland, J. J.; Gupta, R.; Qin, D.; Zho, X.-M.; Sohn, L. L.; Celotta, R. J.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1997, 9, 147-149.
48. Moreau, W. M. Semiconductor Lithography: Principles and Materials; Plenum: New York, 1988.
49. Brambley, D.; Martin, B.; Prewett, P. D. Adv. Mater. Opt. Electron. 1994, 4, 55-74.
50. Tani, T. Phys. Today 1989, 36-41.
51. Reichmanis, E.; Houlihan, F. M.; Nalamasu, O.; Neenan, T. X. Adv. Mater. Opt. Electron. 1994, 4, 83-93.
52. Rothschild, M.; Ehrlich, D. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1987, 5, 389.
53. Hardin, W. Photonics Spectra 1997, 94-102.
54. Hibbs, M.; Kunz, R.; Rothschild, M. Solid State Technol. 1995, 69-78.
55. White, D. L.; Bjorkholm, J. E.; Bokor, J.; Eichner, L.; Freeman, R. R.; Jewell, T. E.; Mansfield, W. M.; MacDowell, A. A.; Szeto, L. H.; Taylor, D. W.; Tennant, D. M.; Waskiewicz, W. K.; Windt, D. L.; Wood, O. R. II Solid State Technol. 1991, 37-42.
56. Dunn, P. N. Solid State Technol. 1994, 49-62.
57. Smith, H. I. J. Vac. Sci. Technol. B 1995, 13, 2323.
58. MacDonald, S. A.; Willson, C.; Fréchet, J. M. J. Acc. Chem. Res. 1994, 27, 151-158.
59. Roland, B. Adv. Mater. Opt. Electron. 1992, 4, 129-138.
60. Aizenberg, J.; Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Appl. Optics 1998, 37, 2145-2152.
61. Aizenberg, J.; Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 3773-3775.
62. Mello, B. A.; Costa, I. F.; Lima, C. R. A.; Cescato, L. Appl. Opt. 1995, 34, 597.
63. Kitson, S. C.; Barnes, W. L.; Sambles, J, R. IEEE Photon. Technol. Lett. 1998, 8, 1662.
64. Shibuya, M.; Komatsu, M.; Ozawa, T.; Ooki, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33 (1), 6874.
65. Singer, P. Semicond. Int. 1996, 152-164.
66. Picraux, S. T.; Chason, E.; Mayer, T. M. MRS Bull. 1992, 17, 52-57.
67. Burggraaf, P. Semicond. Int. 1995, 74-144.
68. Broers, A. N.; Molzen, W.; Cuomo, J.; Wittels, N. Appl. Phys. Lett. 1976, 29, 596.
69. Gibson, J. M. Phys. Today 1997, 56-61.
70. Harriott, L. R. J. Vac. Sci. Technol. B 1997, 15, 2130.
71. McCord, M. A. J. Vac. Sci. Technol. B 1997, 15, 2125.
72. Schneider, J. E.; Baum, A. W.; Winograd, G. I.; Pease, R. F. W.; McCord, M.; Spicer, W. E.; Costello, K. A.; Aebi, V. W. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 3782.
73. Hofmann, W.; Chen, L.-Y.; MacDonald, N. C. J. Vac. Sci. Technol. B 1995, 13, 2701.
74. Johnson, K. S.; Berggren, K. K.; Black, A. J.; Chu, A. P.; Dekker, N. H.; Ralph, D. C.; Thywissen, J. H.; Youkin, R.; Prentiss, M.; Tinkham, M.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 2773-2775.
75. Berggren, K. K.; Younkin, R.; Cheung, E.; Prentiss, M.; Black, A. J.; Whitesides, G. M.; Ralph, D. C.; Black, C. T.; Tinkham, M. Adv. Mater. 1997, 9, 52-55.
76. Timp, G.; Behringer, R. E.; Tennant, D. M.; Cunningham, J. E.; Prentiss, M.; Berggren, K. K. Phys. Rev. Lett. 1992, 69, 1636.
77. Johnson, K. S.; Thywissen, J. H.; Dekker, N. H.; Berggren, K. K.; Chu, A. P.; Younkin, R.; Prentiss, M. Science 1998, 280, 1583-1586.
78. Kramer, N.; Birk, H.; Jorritsma, J.; Schonenberger, C. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1325-1327.
79. Dagata, J. A. Science 1995, 270, 1625-1626.
80. Bard, A. J.; Denault, G.; Lee, C.; Mandler, D.; Wipf, D. O, Acc. Chem. Res. 1990, 23, 357.
81. Becker, R. S.; Golovchenko, J. A.; Swartzentruber, B. S. Nature 1987, 325, 419.
82. Minne, S. C.; Manalis, S. R.; Atalar, A.; Quate, C. F. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 1427.
83. Minne, S. C.; Manalis, S. R.; Atalar, A.; Quate, C. F. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 2456.
84. Miller, S. A.; Turner, S. R.; MacDonald, N. C. Rev. Sci. Instrum. 1997, 68, 4155.
85. Minne, S. C.; Manalis, S. R.; Quate, C. F. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3918.
86. Kumar, A.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002-2004.
87. Haverkorn van Rijsewijk, H. C.; Legierse, P. E. J.; Thomas, G. E. Philips Technol. Rev 1982, 40, 287-297.
88. Emmelius, M.; Pawlowski, G.; Vollmann, H. W. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1989, 28, 1445-1471.
89. Masuda, H.; Fukuda, K. Science 1995, 268, 1446-1468.
90. Terris, B. D.; Mamin, H. J.; Best, M. E.; Logan, J. A.; Rugar, D. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 4262-4264.
91. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Science 1996, 272, 85-87.
92. Wuff, G. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1995, 34, 1812-1832.
93. Kriz, D.; Ramstrom, O.; Mosbach, K. Anal. Chem. 1997, 345A-349A.
94. Creigton, T. E. Proteins: Structures and Molecular Properties; Freeman: New York, 1983.
95. Sanger, W. Principles of Nucleic Acid Structures; Springer-Verlag: New York, 1986.
96. Ringsdorf, H.; Schlarb, B.; Venzmer, J. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1988, 27, 113-158.
97. Isaacs, L.; Chin, D. N.; Bowden, N.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. In Perspectives in Supermolecular Chemistry; Reinhoudt, D. N., Ed.; John & Wiley: New York, 1999, 1-46.
98. Delamarche, E.; Schmid, H.; Biebuyck, H. A.; Michel, B. Adv. Mater. 1997, 9, 741-746.
99. Lasic, D. D. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1994, 33, 1685-1698.
100. Bates, F. S. Science 1991, 251, 898-905.
101. Jenekhe, S. A.; Chen, X. L. Science 1999, 283, 372-375.
102. Douglas, K.; Clark, N. A.; Rothschild, K. J. Appl. Phys. Lett. 1990, 56, 692-694.
103. Pileni, M. P. Langmuir 1997, 13, 3266-3276.
104. Bowden, N.; Terfort, A. T.; Carbeck, J.; Whitesides, G. M. Science 1997, 276, 233-235.
105. Xia, Y.; Zhao, X.-M.; Whitesides, G. M. Microelectron. Eng. 1996, 32, 255-268.
106. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401-1404.
107. Trau, M.; Yao, N.; Kim, E.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Nature 1997, 390, 674-676.
108. Yang, H.; Coombs, N.; Ozin, G. A. Adv. Mater. 1997, 9, 811-814.
109. Hirsh, T. J.; Miracky, R. F.; Lin, C. Appl. Phys. Lett. 1990, 57, 1357-1359.
110. Zhu, N.; Cacouris, T.; Scarmozzino, R.; Osgood, R. M. Jr. Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 1178-1180.
111. Matsui, S.; Ochiai, Y. Nanotechnology 1996, 7, 247-258.
112. Cho, A. Y. MRS Bull. 1995, 21-28,
113. Fasol, G.; Runge, K. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2467-2469.
114. Dolan, G. J. Appl. Phys. Lett. 1977, 31, 337-339.
115. Suzuki, M.; Aoki, M.; Komori, M.; Sato, H.; Minagawa, S. J. Cryst. Growth 1997, 170, 661.
116. Gossner, H.; Rupp, T.; Eisele, I. J. Cryst. Growth 1995, 157, 308.
117. Gossner, H.; Baumgaertner, H.; Hammerl, E.; Wittmann, F.; Eisele, I.; Heinzel, T.; Lorenz, H. Jpn. J. Appl. Phys. 1994, 33.
118. Malzer, S.; Kneissl, M.; Kiesel, P.; Gulden, K. H.; Wu, X. X.; Smith, J. S.; Dohler, G. H. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 2175.
119. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1996, 8, 765-768.
120. Tulchinsky, D. A.; Kelley, M. H.; McClelland, J. J.; Gupta, R.; Celotta, R. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 1817.
121. Olson, E.; Spalding, G. C.; Goldman, A. M.; Rooks, M. J. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 2740-2742.
122. Tonucci, R. J.; Justus, B. L.; Campilo, A. J.; Ford, C. E. Science 1992, 258, 783-785.
123. Knight, J. C.; Birks, T. A.; Russell, P. S.; Atkin, D. M. Opt. Lett. 1996, 21, 1547.
124. Pantano, P.; Walt, D. R. Chem. Mater. 1996, 8, 2832-2835.
125. Xia, Y.; Kim, E.; Zhao, X.-M.; Rogers, J. A.; Prentiss, M.; Whitesides, G. M. Science 1996, 273, 347-349.
126. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1995, 7, 471-473.
127. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Langmuir 1997, 13, 2059-2067.
128. Wilbur, J. L.; Kim, E.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1995, 7, 649-652.
129. Qin, D.; Xia, Y.; Black, A. J.; Whitesides, G. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 98-103.
130. Cerrina, F.; Marrian, C. Mater. Res. Soc. Bull. 1996, 56-62.
131. Handbook of Microlithogrpahy, Micromachining and Microfabrication; Choudhury, P., Ed.; SPIE Optical Engineering Press: Bellingham, WA, 1997.
132. Levenson, M. Phys. Today 1993, 28-36.
133. Lin, B. J. Proc. SPIE 1993, 1927, 89.
134. Henderson, R. C.; Otto, O. W.; Garofalo, J. G.; Vaidya, S. Microlithogr. World 1994, 3, 6.
135. Dorsch, J.; Steffora, A. Electron. News 1999, 10.
136. Pease, R. F. W. J. Vac. Sci. Technol. B 1992, 10, 278-285.
137. Jones, R. G.; Tate, P. C. M. Adv. Mater. Opt. Electron. 1994, 4, 139-153
138. Crewe, A. V.; Wall, J. J. Mol. Biol. 1970, 46, 375.
139. Muller, D. A.; Tzou, Y.; Raj, R.; Silcox, J. Nature 1993, 366, 725.
140. Batson, P. E. Nature 1993, 366, 727.
141. Broers, A. N.; Hoole, A. C. F.; Ryan, J. M. Microelectron. Eng. 1996, 32, 131-142.
142. Kubena, R. L.; Ward, J. W.; Stratton, F. P.; Joyce, R. J.; Atkinson, G. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1991, 9, 3079.
143. Benninghoven, A. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1994, 33, 1023-1043.
144. Binnig, G.; Rohrer, H.; Gerber, C.; Weibel, E. Appl. Phys. Lett. 1982, 40, 178-181.
145. Kim, Y.; Lieber, C. M. Science 1992, 257, 375-377.
146. Sheehan, P. E.; Lieber, C. M. Nanotechnology 1996, 7, 1236-1240.
147. Sohn, L. L.; Willett, R. L. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 1552-1554.
148. Wilder, K.; Quate, C. F.; Adderton, D.; Bernstein, R.; Elings, V. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 2527-2529.
149. Snow, E. S.; Campbell, P. M. Science 1995, 1639-1641.
150. Muller, W. T.; Klein, D. L.; Lee, T.; Clarke, J.; McEuen, P. L.; Schultz, P. G. Science 1995, 268, 272-273.
151. Piner, R. D.; Zhu, J.; Xu, F.; Hong, S.; Mirkin, C. A. Science 1999, 283, 661.
152. Stockman, L.; Neuttiens, G.; van Haesendonck, C.; Bruynseraede, Y. Appl. Phys. Lett. 1998, 62, 2935-2937.
153. Lyding, J. W.; Shen, T.-C.; Hubacek, J. S.; Tucker, J. R.; Abeln, C. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 2010-2012.
154. Zhang, J.; Liu, J.; Huang, J. L.; Kim, P.; Lieber, C. M. Science 1996, 274, 757-760.
155. Crommie, M. F.; Lutz, C. P.; Eigler, D. M. Science 1993, 262, 218-219.
156. Meyer, G.; Rieder, K. H. MRS Bull. 1898, 28-32.
157. Pohl, D. W.; Novotny, L. J. Vac. Sci. Technol. B 1994, 12, 1441-1446.
158. Krausch, G.; Mlynek, J. Microelectron. Eng. 1998, 32, 219-228.
159. Sheehan, P. E.; Lieber, C. M. Science 1996, 272, 1158-1161.
160. Minne, S. C.; Soh, H. T.; Flueckiger, P.; Quate, C. F. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 703-706.
161. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Annu. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153-184.
162. Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 59.
163. Aumiller, G. D.; Chandross, E. A.; Thomlinson, W. J.; Weber, H. P. J. Appl. Phys. 1974, 45, 4557-4562.
164. Siloxane Polymers; Clarson, S. J., Semlyen, J. A., Eds.; Prentice Hall: Engleword Cliffs, NJ, 1993.
165. McClelland, J. J.; Scholten, R. E.; Palm, E. C.; Celotta, R. J. Science 1993, 202, 877-879.
166. Xia, Y.; Kim, E.; Whitesides, G. M. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 1070-1079.
167. Larsen, N. B.; Biebuyck, H.; Delamarche, E.; Michel, B. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 3017-3026.
168. Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 4581-4587.
169. Xia, Y.; Venkateswaran, N.; Qin, D.; Tien, J.; Whitesides, G. M. Langmuir 1998, 14, 363-371.
170. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1997, 5, 475-7.
171. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M. J. MEMS 1997, 6, 184-192.
172. Jackman, R. J.; Wilbur, J. L.; Whitesides, G. M. Science 1995, 269, 664-666.
173. Kumar, A.; Biebuyck, H.; Whitesides, G. M. Langmuir 1994, 10, 1498-1511.
174. Moffat, T. P.; Yang, H. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, L220-222.
175. Xia, Y.; Kim, E.; Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Chem. Mater. 1998, 8, 601-603.
176. Xia, Y.; Mrksich, M.; Kim, E.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 11, 9576-9577.
177. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Payne, A. A.; Nuzzo, R. G. Langmuir 1996, 12, 5350-5355.
178. Jeon, N. L.; Finnie, K.; Branshaw, K.; Nuzzo, R. G. Langmuir 1997, 13, 3382-3391.
179. Wang, D.; Thomas, S. G.; Wang, K. L.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 1593-1595.
180. Jeon, N. L.; Clem, P. G.; Nuzzo, R. G.; Payne, D. A. J. Mater. Res. 1695, 10, 2996.
181. Jeon, N. L.; Nuzzo, R. G.; Xia, Y.; Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Langmuir 1995, 11, 3024-3026.
182. St. John, P. M.; Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 1022-1024.
183. Hidber, P. C.; Helbig, W.; Kim, E.; Whitesides, G. M. Langmuir 1996, 12, 1375-1380.
184. Goetting, L.; Whitesides, G. M. Unpublished results.
185. Biebuyck, H. A.; Larsen, N. B.; Delamarche, E.; Michel, B. IBM J. Res. Dev. 1997, 41, 159-170.
186. Xia, Y.; Zhao, X.-M.; Kim, E.; Whitesides, G. M. Chem. Mater. 1995, 7, 2332-2337.
187. Mrksich, M.; Whitesides, G. M. Annu. Rev. Biophys. Biomol. Struct. 1998, 25, 55-78.
188. Wilbur, J. L.; Biebuyck, H. A.; MacDonald, J. C.; Whitesides, G. M. Langmuir 1995, 11, 825-831.
189. Delamarche, E.; Schmid, H.; Bietsch, A.; Larsen, N. B.; Rothuizen, H.; Michel, B.; Biebuyck, H. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 3324-3334.
190. Kim, E.; Xia, Y.; Zhao, X.-M.; Whitesides, G. M. Adv. Mater. 1997, 9, 651-654.
191. Xia, Y.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 717, 3274-3275.
192. Rogers, J. A.; Bao, Z.; Dhar, L. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 294-296.
193. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114-3116.
194. Chou, S. Y.; Kraus, P. R.; Renstrom, P. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 4129-4133.
195. Guo, L.; Krauss, P. R.; Chou, S. Y. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1881-1884.
196. Chou, S. Y. Proc. SPIE 1997, 85, 652.
197. Kowarz, M. W. Appl. Opt. 1995, 34, 3055-3063.
198. Smith, H. I.; Efremow, N.; Kelley, P. L. J. Electrochem. Soc. 1974, 121, 1503.
199. Melngailis, J.; Smith, H. I.; Efremow, N. IEEE Trans. Electron. Devices 1975, July, 496.
200. Fischer, U. C.; Zingsheim, H. P. J. Vac. Sci. Technol. 1981, 19, 881-885.
201. Schmid, H.; Biebuyck, H. B.; Michel, B.; Martin, O. J. F. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 2379.
202. Schmid, H.; Biebuyck, H.; Michel, B.; Martin, O. J. F.; Piller, N. B. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 76, 3422-3425.
203. Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 88-97.
204. Paul, K. E.; Breen, T. L.; Aizenberg, J.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 2893-2895.
205. Aizenberg, J.; Black, A. J.; Whitesides, G. M. Nature 1998, 394, 868-871.
206. Pool, R. Science 1992, 255, 1513-1515.
207. Foot, C. Nature 1992, 355, 303-304.
208. Fujita, J.; Morinage, M.; Kishimoto, T.; Yasuda, M.; Matsui, S.; Shimizu, F. Nature 1996, 380, 691-694.
209. Berggren, K. K.; Bard, A.; Wilbur, J. L.; Gillaspy, J. D.; Helg, A. G.; McClelland, J. J.; Rolston, S. L.; Phillips, W. D.; Prentiss, M.; Whitesides, G. M. Science 1995, 269, 1255-1257.
210. Younkin, R.; Berggren, K. K.; Johnson, K. S.; Prentiss, M.; Ralph, D. C.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 1261-1263.
211. Brezger, B.; Schulze, T.; Drodofsky, U.; Stuhler, J.; Nowak, S.; Pfau, T.; Mlynek, J. J. Vac. Sci. Technol. B 1997, 15, 2905-2911.
212. Adams, C. S.; Sigel, M.; Mlynek, J. Phys. Rep. 1994, 240, 143.
213. Pearson, D. H.; Tonucci, R. J. Science 1995, 270, 68-70.
214. Kramer, N.; Niesten, M.; Schonenberger, C. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 2989-2991.
215. Nole, J. Laser Focus World 1997, 209-212.
216. HLS, Inc. Lasers Optron. 1998, 58.
217. Kim, D.; Tripathy, S. K.; Li, L.; Kumar, J. Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 1166-1168.
218. Lucas, M. Inf. Disp. 1997, 4,5, 20-23.
219. Carter, J. M.; Olster, D. B.; Schattenburg, M. L.; Yen, A.; Smith, H. I. J. Vac. Sci. Technol. B. 1992, 10, 2909-2911.
220. Yen, A.; Anderson, E. H.; Ghanbari, R. A.; Schattenburg, M. L.; Smith, H. I. Appl. Opt. 1992, 31, 4540.
221. Pakulski, G.; Moore, R.; Maritan, C.; Shepherd, F.; Fallahi, M.; Templeton, I.; Champion, G. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 222-224.
222. Chen, X.-L.; Brueck, S, R. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3392-3397.
223. McClelland, J. J.; Scheinfein, M. R. J. Opt. Soc. Am. B 1991, 8, 1974.
224. Behringer, R. E.; Natarajan, V.; Timp, G. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 1034-1036.
225. Gupta, R.; McClelland, J. J.; Jabbour, Z. J.; Celotta, R. J. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 1378-1380.
226. Pum, D.; Sara, M.; Messner, P.; Sleytr, U. B. Nanotechnology 1991, 2, 196-202.
227. Akiba, T.; Yoshimura, H.; Namba, K. Science 1991, 252, 1544-1546.
228. Yamaki, M.; Matsubara, K.; Nagayama, K. Langmuir 1993, 9, 3154-3158.
229. Haas, H.; Mohwald, H. Langmuir 1994, 10, 363-366.
230. Nagayama, K. Mater. Sci. Eng. 1994, C1, 87-94.
231. Matsumoto, M. Langmuir 1994, 10, 3922-3925.
232. Andres, R. P.; Bielefeld, J. D.; Handerson, J. I.; Janes, D. B.; Kolagunta, V. R.; Kubiak, C. P.; Mahoney, W. J.; Osifchin, R. G. Science 1996, 273, 1690-1693.
233. Fulda, K.-U.; Tieke, B. Adv. Mater. 1994, 6, 288-290.
234. Lazarov, G. S.; Denkov, N. D.; Velev, O. D.; Kralchevsky, P. A. J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1994, 90, 2077-2083.
235. van Blaaderen, A.; Ruel, R.; Wiltzlus, P. Nature 1997, 385, 321-324.
236. Murray, C. A.; Grier, D. G. In Annu. Rev. Phys. Chem. 1996; Strauss, H. L., Ed.; Annual Reviews, Inc.: Palo Alto, 1996; Vol 47.
237. Murray, C. A.; Grier, D. G. In Annu. Rev. Phys. Chem. 1996; Strauss, H. L., Ed.; Annual Reviews, Inc.: Palo Alto, 1996; Vol 47.
238. Park, S.-H.; Xia, Y. Langmuir 1999, 15, 266-273.
239. Deckman, H. W.; Dunsmuir, J. H. Appl. Phys. Lett. 1982, 41, 377-379.
240. Buncick, M. C.; Warmack, R. J.; Ferrell, T. L. J. Opt. Soc. Am. B 1987, 4, 927-933.
241. Douglas, K.; Devaud, G.; Clark, N. A. Science 1992, 257, 642-644.
242. Lensmann, F.; Li, K.; Kitai, A. H.; Stover, H. D. H. Chem. Mater. 1994, 6, 156-159.
243. Burmeister, F.; Schafle, C.; Matthes, T.; Bohmisch, M.; Boneberg, J.; Leiderer, P. Langmuir 1997, 13, 2983-2987.
244. Moore, J. T.; Beale, P. D.; Winningham, T. A.; Douglas, K. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 1840-1842.
245. Tarhan, I. I.; Watson, G. H. Phys. Rev. Lett. 1996, 76, 315-318.
246. Forster, S.; Antonietti, M. Adv. Mater. 1998, 10, 195-217.
247. Koizumi, S.; Hasegawa, H.; Hashimoto, T. Macromolecules 1994, 27, 4371-4381.
248. Chen, J. T.; Thomas, E. L.; Ober, C. K.; Mao, G.-P. Science 1996, 273, 343-346.
249. Boltau, M.; Walheim, S.; Mlynek, J.; Krausch, G.; Steiner, U. Nature 1998, 391, 877-879.
250. Morkved, T. L.; Wiltzius, P.; Jaeger, H. M.; Grier, D. G.; Witten, T. A. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 422-424.
251. Amundson, K.; Helfand, E.; Davis, D. D.; Quan, X.; Patel, S. S.; Smith, S. D. Macromolecules 1991, 24, 6546-6548.
252. Chen, Z.-R.; Kornfield, J. A.; Smith, S. D.; Grothaus, J. T.; Satowski, M. M. Science 1997, 277, 1248-1253.
253. Furneaux, R. C.; Rigby, W. R.; Davidson, A. P. Nature 1989, 337, 147-149.
254. Masuda, H.; Nishio, K.; Baba, N. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 3155-3157.
255. Martin, C. R. Science 1994, 266, 1961-1966.
256. Martin, C. R. Acc. Chem. Res. 1995, 28, 61-68.
257. Hoyer, P. Adv. Mater. 1996, 8, 857.
258. Hoyer, P. Langmuir 1996, 12, 1411-1413.
259. Chang, Y. C.; Chang, L. L.; Esaki, L. Appl. Phys. Lett. 1985, 47, 1324-1326.
260. Tsukamoto, S.; Nagamune, Y.; Nishioka, M.; Arakawa, Y. Appl. Phys. Lett. 1992, 63, 355-357.
261. Wegscheider, W.; Pfeiffer, L.; West, K.; Leibenguth, R. E. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 2512-2514.
262. Wegscheider, W.; Pfeiffer, L.; Pinczuck, A.; West, K.; Hull, R. Semicond. Sci. Technol. 1994, 9, 1933.
263. Brunner, J.; Rupp, H.; Gossner, H.; Ritter, R.; Eisele, I.; Abstreiter, G. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 994.
264. Goni, A. R.; Pfeiffer, L.; West, K.; Pinczuck, A.; Baranger, H. U.; Stormer, H. L. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 1956.
265. Tien, J.; Breen, T. L.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1998, 120, 12670-12671.
266. Bowden, N.; Brittain, S.; Evans, A. G.; Hutchinson, J. W.; Whitesides, G. M. Nature 1998, 393, 146.
267. Odom, T. W.; Huang, J.-L.; Kim, P.; Lieber, C. M. Nature 1998, 397, 62-64.
268. Choi, I. S.; Bowden, N.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem Soc. 1998, 121, 1754-1755.
269. Hosokawa, K. Sens. Actuators, A 1996, 57, 117-125.
270. Mirkin, C. A.; Lestinger, R. L.; Mucic, R. C.; Storhoff, J. J. Nature 1996, 382, 607-609.
271. Alivisatos, A. P.; Johnsson, K. P.; Peng, X.; Wilson, T. E.; Loweth, C. J.; Bruchez, M. P. Jr.; Schultz, P. G. Nature 1996, 382, 609.
272. Hanson, M.; Johansson, C.; Pederson, M. S.; Morup, S. J. Phys.: Condens. Matter 1995, 7, 9269-9277.
273. Halsey, T. C. Science 1992, 258, 761-766.
274. Gazeau, F.; Baravian, C.; Bacri, J. C.; Perzynski, R.; Shliomis, M. I. Phys. Rev. A 1997, 56, 614-618.
275. Burns, M. M.; Fournier, J.-M.; Golovchenko, J. A. Science 1990, 249, 749-54.
276. Kroto, H. W. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1992, 31, 111-129.
277. Iijima, S. MRS Bull. 1994, 43-49.
278. Ebbesen, T. W. Phys. Today 1996, 26-32.
279. Dai, H.; Wong, E.; Lu, Y. Z.; Fan, S.; Lieber, C. M. Nature 1995, 375, 769-772.
280. Liu, J.; Rinzler, A. G.; Dai, H. J.; Hafner, J. H.; Bradley, R. K.; Boul, P. J.; Lu, A.; Iverson, T.; Shelimov, K.; Huffman, C. B.; Rodriguez-Macias, F.; Shon, Y. S.; Lee, T. H.; Colbert, D. T.; Smalley, R. E. Science 1998, 280, 1253-1256.
281. Cuberes, M. T.; Schlittler, R. R.; Gimzewski, J. K. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 3016-3018.
282. Trans, S. J.; Verschueren, A. R. M.; Dekker, C. Nature 1998, 391, 62-64.
283. Delamarche, E.; Bernard, A.; Schmid, H.; Bietsch, A.; Michel, B.; Biebuyck, H. J. Am. Chem. Soc. 1998, 120, 500-508.
284. Duffy, D. C.; McDonald, J. C.; Schueller, O. J. A.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 1998, 70, 4974-4984.
285. Rogers, J. A.; Jackman, R. J.; Whitesides, G. M.; Wagner, J. L.; Vengsarkar, A. Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 7-9.
286. Bailly, M.; Yan, L.; Whitesides, G. M.; Condeelis, J. S.; Segall, J. E. Exp. Cell Res. 1998, 241, 285-299.
287. See, for example: Dorch, J.; Steffora, A. Electron. News 1999, 10.