Lithographic flare measurements of Intel's microexposure tool optics

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 24, Issue 1, 2006, Pages 274-278

  Chandhok, Manish ^a   Lee, Sang H ^a   Roberts, Jeanette ^a   Rice, Bryan J ^a   Cao, Heidi B ^a  

^a INTEL CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

FLARE MEASUREMENTS; MICROEXPOSURE TOOL (MET); MIRROR SURFACES;

FLARE STACKS; MICROOPTICS; MODULATION; PHOTORESISTS; SENSITIVITY ANALYSIS; TRANSFER FUNCTIONS; ULTRAVIOLET RADIATION;

LITHOGRAPHY;

EID: 31544433144     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2151914     Document Type: Article

References (19)

1. M. Chandhok, S. H. Lee, and T. Bacuita, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 2966 (2004).
2. M. Chandhok, S. H. Lee, C. Krautschik, B. J. Rice, E. Panning, M. Goldstein, and M. Shell, Proc. SPIE 5374, 86 (2004).
3. M. Chandhok, S. H. Lee, C. G. Krautschik, G. Zhang, B. J. Rice, M. Goldstein, E. Panning, R. Bristol, A. R. Stivers, and M. Shell, Proc. SPIE 5374, 854 (2004).
4. C. G. Krautschik, M. Chandhok, G. Zhang, S. H. Lee, M. Goldstein, E. M. Panning, B. J. Rice, R. L. Bristol, and V. Singh, Proc. SPIE 5037, 58 (2003).
5. S. H. Lee, M. Chandhok, C. Krautschik, and M. Goldstein, Proc. SPIE 5374, 818 (2004).
6. S. H. Lee, P. Naulleau, C. Krautschik, M. Chandhok, H. Chapman, D. J. O'Connell, and M. Goldstein, Proc. SPIE 5037, 103 (2003).
7. A. Brunton, J. S. Cashmore, P. Elbourn, G. Elliner, M. C. Gower, P. Gruenewald, M. Harman, S. Hough, N. McEntee, S. Mundair, D. Rees, P. Richards, V. Truffert, I. Wallhead, and M. D. Whitfield, Proc. SPIE 5751 (2005).
8. J. M. Roberts, T. Bacuita, R. L. Bristol, H. B. Cao, M. Chandhok, S. H. Lee, E. M. Panning, M. Shell, G. Zhang, and B. J. Rice, Proc. SPIE 5751 (2005).
9. H. B. Cao, W. Yueh, J. M. Roberts, B. J. Rice, R. L. Bristol, and M. Chandhok, Proc. SPIE 5751 (2005).
10. M. Chandhok, E. M. Panning, and M. Goldstein, 47th EIPB, San Diego, CA, June 2003.
11. R. L. Brainard, C. Henderson, J. Cobb, and V. Rao, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 3384 (1999).
12. S. H. Lee, M. Chandhok, J. Roberts, and B. J. Rice, Proc. SPIE 5751, 293 (2005).
13. J. P. Kirk, Proc. SPIE 2197, 566 (1994).
14. E. M. Gullikson, Proc. SPIE 3331, 72 (1998).
15. E. M. Gullikson, S. Baker, J. E. Bjorkholm, J. Bokor, K. A. Goldberg, J. E. M. Goldsmith, C. Montcalm, P. Nalleau, E. Spiller, D. G. Stearns, J. S. Taylor, and J. H. Underwood, Proc. SPIE 3676, 717 (1999).
16. S. H. Lee, D. A. Tichenor, W. P. Ballard, L. J. Bernardez II, J. E. M. Goldsmith, S. J. Haney, K. L. Jefferson, T. A. Johnson, A. H. Leung, D. J. O'Connell, W. C. Replogle, J. B. Wronosky, K. L. Blaedel, P. P. Naulleau, K. A. Goldberg, E. M. Gullikson, H. N. Chapman, S. Wurm, E. M. Panning, P.-Y. Yan, G. Zhang, J. E. Bjorkholm, G. D. Kubiak, D. W. Sweeney, D. T. Attwood, Jr., and C. W. Gwyn, Proc. SPIE 4688, 266 (2002).
17. M. Chandhok, S. H. Lee, C. G. Krautschik, G. Zhang, B. J. Rice, M. Goldstein, E. Panning, R. Bristol, A. R. Stivers, and M. Shell, Proc. SPIE 5374, 854 (2004).
18. J. M. Roberts, T. Bacuita, R. L. Bristol, H. B. Cao, M. Chandhok, S. H. Lee, E. M. Panning, M. Shell, G. Zhang, and B. J. Rice, Proc. SPIE 5751, 64 (2005).
19. H. B. Cao, W. Yueh, J. Roberts, B. J. Rice, R. Bristol, and M. Chandhok, Proc. SPIE 5753 (2005).