Analysis of optical interferometric displacement detection in nanoelectromechanical systems

Journal of Applied Physics

Volumn 98, Issue 12, 2005, Pages

  Karabacak, D ^a   Kouh, T ^a,b   Ekinci, K L ^a  

^a BOSTON UNIVERSITY   (United States)

^b Kookmin University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS (NEMS); NANOMETER SCALE DISPLACEMENTS; NUMERICAL MODEL; OPTICAL INTERFEROMETRIC DISPLACEMENT;

DIFFRACTION; ELECTROMAGNETIC FIELDS; FINITE ELEMENT METHOD; FOURIER OPTICS; INTERFEROMETRY; NANOSTRUCTURED MATERIALS; NUMERICAL METHODS;

ELECTROMECHANICAL DEVICES;

EID: 29744447275     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2148630     Document Type: Review

References (38)

1. M. L. Roukes, Phys. World 14, 25 (2001).
2. H. G. Craighead, Science 290, 1532 (2000).
3. X. M. H. Huang, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature (London) 421, 496 (2003).
4. A. N. Cleland and M. L. Roukes, Nature (London) 392, 160 (1998).
5. L. Sekaric, M. Zalalutdinov, S. W. Turner, A. T. Zehnder, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 80, 3617 (2002).
6. A. Erbe, H. Krömmer, A. Kraus, R. H. Blick, G. Corso, and K. Richter, Appl. Phys. Lett. 77, 3102 (2000).
7. K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469 (2004).
8. B. Ilic, H. G. Craighead, S. Krylov, W. Senaratne, C. Ober, and P. Neuzil, J. Appl. Phys. 95, 3694 (2004).
9. N. V. Lavrik and P. G. Datskos, Appl. Phys. Lett. 82, 2697 (2003).
10. A. Gupta, D. Akin, and R. Bashir, Appl. Phys. Lett. 84, 1976 (2004).
11. K. C. Schwab, E. A. Henriksen, J. M. Worlock, and M. L. Roukes, Nature (London) 404, 974 (2000).
12. C. S. Yung, D. R. Schmidt, and A. N. Cleland, Appl. Phys. Lett. 81, 31 (2002).
13. M. D. LaHaye, O. Buu, B. Camarota, and K. C. Schwab, Science 304, 74 (2004).
14. R. Knobel and A. C. Cleland, Nature (London) 424, 291 (2003).
15. D. W. Carr, L. Sekaric, and H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3821 (1998).
16. D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, A. Olkhovets, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 77, 1545 (2000).
17. C. Meyer, H. Lorenz, and K. Karrai, Appl. Phys. Lett. 83, 2420 (2003).
18. B. E. N. Keeler, D. W. Carr, J. P. Sullivan, T. A. Friedmann, and J. R. Wendt, Opt. Lett. 29, 1182 (2004).
19. T. Kouh, D. Karabacak, D. H. Kim, and K. L. Ekinci, Appl. Phys. Lett. 86, 013106 (2005).
20. G. G. Yaralioglu, A. Atalar, S. R. Manalis, and C. F. Quate, J. Appl. Phys. 83, 7405 (1998).
21. M. G. L. Gustafsson and J. Clarke, J. Appl. Phys. 76, 172 (1994).
22. C. A. J. Putman, B. G. De Grooth, N. F. Van Hulst, and J. Greve, J. Appl. Phys. 72, 6 (1992).
23. T. R. Albrecht, P. Grütter, D. Rugar, and D. P. E. Smith, Ultramicroscopy 42, 1638 (1992).
24. W. Allers, A. Schwarz, U. D. Schwarz, and R. Wiesendanger, Rev. Sci. Instrum. 69, 221 (1998).
25. H. J. Hug, B. Stiefel, P. J. A. van Schendel, A. Moser, S. Martin, and H.-J. Güntherodt, Rev. Sci. Instrum. 70, 3625 (1999).
26. J. W. Wagner, Phys. Acoust. 19, 201 (1990).
27. D. S. Marx and D. Psaltis, J. Opt. Soc. Am. A 14, 6 (1997).
28. X. Wang, J. Mason, M. Latta, D. Marx, and D. Psaltis, J. Opt. Soc. Am. A 18, 3 (2001).
29. W. C. Liu and M. W. Kowarz, Appl. Opt. 38, 17 (2003).
30. D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, Appl. Phys. Lett. 75, 920 (1999).
31. A. Yariv, Quantum Electronics (Wiley, New York, 1989).
32. B. E. A. Saleh and M. C. Teich, Fundamentals of Photonics (Wiley, New York, 1991).
33. J. Jin, The Finite Element Method in Electromagnetics (Wiley, New York, 1993).
34. C. Triger, C. Ecoffet, and D. J. Lougnot, J. Phys. D 36, 2553 (2003).
35. J. W. Goodman, Introduction to Fourier Optics (McGraw-Hill, New York, 1996).
36. K. Petermann, Laser Diode Modulation and Noises (Kluwer Academic, Dordrecht, 1988).
37. T. H. Stievater, W. S. Rabinovich, H. S. Newman, J. L. Ebel, R. Mahon, D. J. McGee, and P. G. Goetz, J. Microelectromech. Syst. 12, 1 (2003).
38. R. S. Tucker, D. M. Baney, W. V. Sorin, and C. F. Flory, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 8, 1 (2002).