Critical issues in sol-gel derived ferroelectric thin films: A review

Integrated Ferroelectrics

Volumn 42, Issue , 2002, Pages 245-292

  Majumder, S B ^a   Bhaskar, S ^a   Katiyar, R S ^a  

^a UNIVERSITY OF PUERTO RICO   (Puerto Rico)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRONIC EQUIPMENT; ELECTROOPTICAL DEVICES; PEROVSKITE; PHASE SHIFTERS; SOL-GELS; SYNTHESIS (CHEMICAL);

BST THIN FILMS; MICROSTRIP PHASE SHIFTERS; PEROVSKITE FILMS; TUNABLE MICROWAVE DEVICES;

FERROELECTRIC THIN FILMS;

EID: 0141440160     PISSN: 10584587     EISSN: 16078489     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1080/10584580210841     Document Type: Article

References (102)

1. O. Auciello, C.M. Foster, and R. Ramesh, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 501 (1998).
2. D.L. Polla, L.F. Francis, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 563 (1998).
3. G.H. Haertling, J. Am. Ceram. Soc. 82, 797 (1999).
4. D. Dimos, C.H. Mueller, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 397, (1998).
5. R.Dat, J.K. Lee, O. Auciello, and A.I. Kingon, Appl. Phys. Lett. 67, 572, (1995).
6. H. Chen, J. Y. Lee, J. Appl. Phys. 82, 3478 (1997).
7. T. Kuroiwa, Y. Tsunemine, T. Horikawa, T. Maki, J. Tanimura, N. Mikami, K. Sato, Jpn. J. Appl Phys. 33, 5187 (1994).
8. H. Fujisawa, K. Kita, M. Shimizu, and H. Niu, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 5551, (2001).
9. W. Yi, T.S. Kalkur, E. Philofsky, L. Kammerdiner, A.A. Rywak, Appl. Phys. Lett. 78, 3571 (2001).
10. Y. Xu, and J. d. Mackenzie, Integrated Ferroelectrics, 1, 17 (1992).
11. R.W. Schwartz, T.J. Boyle, S.J. Lockwood, M.B. Sinclair, D. Dimos, and C.D. Buchheit, Integrated Ferroelectrics, 7, 259, (1995).
12. M. Sayer, G. yi and M. Sedler, Integrated Ferroelectrics 7, 247 (1995).
13. G. Uozumi, K. Kageyama, T. Atsutomu, N. Soyama, H. Uchida, and K. Ogi, Jpn. J. Appl. Phys., 38, 5350 (1999).
14. S. Bhaskar, P. S. Dobal, S. B. Majumder and R. S. Katiyar, Integrated Ferroelectrics 29, 21 (2000).
15. S. B. Majumder, S. Bhaskar, P. S. Dobal and R. S. Katiyar, Integrated Ferroelectrics 29, 87 (2000).
16. S. B. Majumder, S. Bhaskar, P. S. Dobal and R. S. Katiyar, Integrated Ferroelectrics 23, 127 (1999).
17. S. B. Majumder, M. Jain, A.S. Bhalla and R. S. Katiyar, Materials Letter (Submitted)
18. S. B. Majumder, M. Jain, A. Martinez, R. S. Katiyar, F. W. Van Keuls and F. A. Miranda, J. Appl. Phys. 90, 896 (2001).
19. M. Jain, S. B. Majumder, A. Martinez, R. S. Katiyar, F. W. Van Keuls and F. A. Miranda, Integrated Ferroelectrics (This issue).
20. A. Savvinov, S. Bhaskar, S. B. Majumder and R. S. Katiyar, Integrated Ferroelectrics (This issue).
21. S. B. Majumder, P. S. Dobal, S. Bhaskar and R. S. Katiyar, Integrated Ferroelectrics 241, 287 (2000).
22. B. Jaffe, W. Cook, J. Jaffe and H. Jaffe, Piezoelectric Ceramics, Academic Press (1971).
23. K. Uchino and S. Nomura, Ferroelectrics 50, 191 (1983).
24. S. K. Dey, in Ferroelectric Thin films: Synthesis and Basic Properties, edited by C. P. De Araujo, J. F. Scott, and G. W. Taylor (Gordon and Breach Publishers, Amsterdam, 1996), p.337.
25. R. D. Klissurska, K. G. Brooks, I. M. Reaney, C. Pawlaczyk, M. Kosec and N. Setter, J. Am. Ceram. Soc. 78, 1513 (1995).
26. R.D. Klissrska, K. G. Brooks, and N. Setter, Ferroelectrics, 225, 327 (1999).
27. H. Hu, C. J. Peng, and S. B. Krupanidhi, Thin Solid Films, 223, 327 (1993).
28. N. Floquet, J. Hector, and P. Gaucher, J. Appl. Phys., 84, 3815 (1998).
29. E. M. Griswold, M. Sayer, D. yt. Amm and I. D. Colder, J. Cond. Phys. 69, 260, (1991).
30. D. F. Ryder, Jr. and N. K. Raman, J. Electron. Mater. 21, 972 (1992).
31. S. B. Majumder, Y. N. Mohapatra and D. C. Agrawal, Appl. Phys. Lett., 70, 138, (1997).
32. S. B. Majumder, Y. N. Mohapatra and D. C. Agrawal, J. Mater. Sci., 32, 2141, (1997).
33. D. S. Yoon, C. J. Kim, J. S. lee, W. J. Lee, K. No, J. Mater. Res., 9, 420, (1994).
34. M. C. Gust, N. D. Evans, L. A. Momoda, M. L. Mecartney, J. Am. Ceram. Soc. 80, 2828 (1997).
35. M. J. Lefevre, J. S. Speck, R. W. Schwartz, D. Dimos, and S. J. Lockwood, J. Mater. Sci., 11, 2076, (1996).
36. D. Cullity, Elements of X-ray diffraction (Addition-Wesley publishing Co., Inc USA, 1967) p. 261.
37. R. W. Schwartz, J. A. Voigt, B. A. Tuttle, D. A. Payne, T. I. Reichert and R.S. Dasalla, J. Mater. Sci., 12, 444, (1997).
38. T. J. Boyle, D. Dimos, R. W. Schwartz, T. M. Alam, M. B. Sinclair, C. D. Buchheit, J. Mater. Sci., 12, 1022, (1997).
39. Y. F. Kuo and T. Y. Tseng, J. Mater. Sci., 31, 6361-68 (1996).
40. Laura Fe, D. J. Wouters, G. Norga, H. E. Maes, G. Gnappi, and A. Montenero, Integrated Ferroelectrics, 22, 35-43 (1998).
41. K. Kitaoka, H. Kozuka, and T. Yoko, J. Amer. Ceram. Soc., 81 (5), 1189 (1998).
42. Z. Qian, D. Xia, J. Zhu, Z. Li and C. Zuo, J. Appl. Phys., 74, 224 (1993).
43. B. D. Qu, Y. G. Wang, W. L. Zhong, K. M. Wang, Z. L. Wang, J. Appl. Phys., 71, 3467 (1992).
44. K. S. Kim, T. J. O'Leary, and N. Winograd, Anal. Chem., 45, 2214 (1973).
45. N. Wakiya, K. Kuroyanagi, Y. Xuan, K. Shinozaki and N. Mizutani, Thin Solid Films, 372, 156 (2000).
46. B. D. Qu, Y. G. Wang, W. L. Zhong, K. M. Wang, Z. L. Wang, J. Appl. Phy., 71, 3467-70 (1992).
47. H. Y. Chen, J. Lin, K. L. Tan, Z. C. Feng, Thin Solid Films, 289, 59-64 (1996).
48. D. Polli and F. F. Lange, J. Amer. Ceram. Soc., 78, 3401 (1995).
49. Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy (Perkin-Elmer Corporation, Physical Electronics Division).
50. J. F. Scott, Ferroelectric Reviews, 1, 1 (1998).
51. C. A. Paz de Araujo and G. W. Taylor, Ferroelectrics 116, 215 (1991).
52. R. E. Newnham and G. R. Ruschau, J. Am. Ceram. Soc. 74, 463 (1991).
53. E. Ching-Prado, A. Reynes-Figueroa, R. S. Katiyar, S. B. Majumder, and D. C. Agrawal, J. Appl. Phys. 78, 1920 (1995).
54. G. J. Exarhos and N. J. Hess, Thin Solid Films 220, 254 (1992).
55. Q. Ma and D. R. Clark, J. Am. Ceram. Soc. 76, 1433 (1993).
56. S. S. Sengupta, S. M. park, D. A. Payne, and L. H. Allen, J. Appl. Phys. 83, 2291 (1998).
57. J. H. L. Voncken, C. Lijzenga, K. P. Kumar, K. Kiezer, A. J. Burggraaf, and B. C. Bonekamp, J. Mater. Sci. 27, 472 (1992).
58. C. C. Li and S. B. Desu, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1 (1996).
59. Yu. I. Yuzyuk, R. Farhi, V. L. Lorman, L. M. Rabkin, L. A. Sapozhnikov, E. V. Sviridov, and I. N. Zakharchenko, J. Appl. Phys. 84, 452 (1998).
60. J.A. Sanjurjo, E. Lopez-Cruz, and G. Burns, Phys. Rev. B 28, 7260 (1983).
61. C. M. Foster, Z. Li, M. Grimsditch, S. -K. Chan, and D. J. Lam, Phys. Rev. B 48, 10 160 (1993).
62. R. Louden, Adv. Phys. 13, 423 (1964).
63. I. Taguchi, A. Pignolet, L. Wang, M. Proctor, F. Levy, and P. E. Schmid, J. Appl. Phys. 73, 394 (1993).
64. B. Qu, D. Kong, P. Zhang, and Z. Wang, Ferroelectrics 145, 39 (1993).
65. I. Fedorov, J. Petzelt, V. Zelenzy, G. A. Komandin, A. A. Volkov, K. Brooks, Y. Huang, and N. Setter, J. Phys.: Condens. Matter 7, 4313 (1995).
66. W. H. Hall, Proc. Phys. Soc. London, 62 741, (1949).
67. V. S. Tewari, N. Singh, and D. Pandey, J. Phys.: Condense Matter 7, 1441 (1995).
68. G. Shirane, J. D. Axe, and J. Harada, Phys. Rev. B 2, 155 (1970).
69. M. Takashige and T. Nakamura, Ferroelectrics 52, 115 (1983).
70. S. Chattopadhyay, P. Ayyub, V. R. Palkar, and M. Multani, Phys. Rev. B 52, 13 177 (1995).
71. G. Burns and B. A. Scott, Phys. Rev. B 7, 3088 (1972);
72. G. Burns and B. A. Scott, Phys. Rev. Lett. 25, 167 (1970).
73. M. D. Fontana, H. Idrissi, G. E. Kugel, and K. Wojcik, J. Phys.: Condens. Matter 3, 8695 (1991);
74. Ferroelectrics 80, 117 (1988).
75. K. Kushida and H. Takeuchi, Ferroelectrics 108, 3 (1990);
76. Appl. Phys. Lett. 50, 1800 (1987).
77. A. F. Devonshire, Philos. Mag. 40, 1040 (1949).
78. G. A. Rossetti Jr., L. E. Cross, and K. Kushida, Appl. Phys. Lett. 59, 2524 (1991).
79. K. Okazaki and K. Nayata, J. Amer. Ceram. Soc. 56, 82 (1973);
80. T. Martirena and J. C. Burfoot, J. Phys. C 7, 3182 (1974).
81. J. F. Meng, G. Zou, J. Li, and Q. Cui, Solid State Commun. 90, 643 (1994).
82. R. S. Katiyar and J. F. Meng, Ferroelectrics (in press).
83. D. P. Vijay, S. B. Desu, J. Electrochem. Soc. 140 2640. (1993)
84. H. Maiwa, N. Ichinose, K. Okazaki, J. Appl. Phys. 33,5223(1994).
85. H. N. Lee, Y. T. Kim, S. H. Choh, Ferroelectrics 197, 9 (1997).
86. M. S. Tsai, S. C. Sun, T. Y. Tseng, IEEE Trans. Electron Devices 46, 1829 (1999).
87. K. Sreenivas, I. Reaney T. Maeder, N. Setter, C. Jagadish, R. G. Elliman, J. Appl. Phys. 75, 232 (1994)
88. W. I. Lee, J. K. Lee, J. S. Lee, I. K. Yoo, Integ. Ferroelectrics, 10,145 (1995).
89. L. Krusin-Elbaum, Thin Solid Films 169, 17 (1989).
90. S. Bhaskar, S. B. Majumder, P. S. Dobal, S. B. Krupanidhi, R. S. Katiyar, J. Appl. Phys. 89, 5637 (2001).
91. P. C. Joshi, S. B. Krupanidhi, J. Appl. Phys. 73, 7627 (1993).
92. J. G. Simmons, in Handbook of Thin Film Technology, edited by L. I. Maissel and R. Glang (McGraw-Hill, New York, 1970), p.14.
93. S. S. N. Bharadwaja, S. B. Krupanidhi, J. Appl. Phys. 86, 5862. (1999)
94. H.D. Sharma, A. Govindan, T.C. Goel, P.K.C. Pillai, and C. Pramila, J. Mater. Sci. Lett, 15, 1424 (1996).
95. S.B. Majumder, D.C. Agrawal, Y. N. Mohapatra, Integrated Ferroelectrics 9, 271 (1995).
96. M. Troccaz, P. Gonnard, and L. Eyraud, Ferroelectrics 22, 817 (1978).
97. R.D. Klissrska, K. G. Brooks, and N. Setter, Ferroelectrics 225, 327 (1999).
98. S.B. Majumder, B. Roy, D.C. Agrawal, and Y.N. Mohapatra, Ferroelectrics 225, 271 (1999).
99. H. Kishi, N. Kohzu, J. Sugino, H. Ohsato, Y. Iguchi, and T. Okuda, J. Eu. Ceram. Soc. 19, 1043 (1999).
100. H.B. Park, C. Y. Park, Y.S. Hong, K. Kim, and S.J. Kim, J. Amer. Ceram.Soc, 82, 94 (1999).
101. B.G. Chae, S.J. Lee, C.R. Cho, Y.S. Yang, S.H. Kim, and M. S. Jang, Integrated Ferroelectrics 13, 87 (1996).
102. M. Tyunina, J. Levoska, A. Sternberg, and S. Leppavuori, J. Appl. Phys., 84, 6800 (1998).