Microcrystalline materials and cells deposited by RF glow discharge

Solar Energy Materials and Solar Cells

Volumn 78, Issue 1-4, 2003, Pages 543-566

  Kondo, Michio ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY AIST   (Japan)

Author keywords

Microcrystalline; RF glow discharge

Indexed keywords

ANNEALING; GLOW DISCHARGES; ION BOMBARDMENT; OPTIMIZATION; SILICON; SOLAR CELLS; SUBSTRATES; TEXTURES;

MICROCRYSTALLINE MATERIALS;

CRYSTALLINE MATERIALS;

EID: 0038446352     PISSN: 09270248     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0927-0248(02)00451-8     Document Type: Article

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