Controlled growth of periodic pillars by glancing angle deposition

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 21, Issue 1 SPEC., 2003, Pages 23-28

  Dick, B ^a   Brett, M J ^a   Smy, T ^b  

^a UNIVERSITY OF ALBERTA   (Canada)

^b CARLETON UNIVERSITY   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COMPUTER SIMULATION; CRYSTAL MICROSTRUCTURE; DENSITY (SPECIFIC GRAVITY); DEPOSITION; FILM GROWTH; MORPHOLOGY; POROSITY; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY;

COLUMN COMPETITION EFFECT; GLANCING ANGLE DEPOSITION; PERIODIC FILMS;

THIN FILMS;

EID: 0037207684     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1529652     Document Type: Article

References (41)

1. K. Robbie and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 1460 (1997).
2. K. Robbie, J. C. Sit, and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 1115 (1998).
3. T. Motohiro and Y. Taga, Appl. Opt. 28, 2466 (1989).
4. K. Robbie, L. J. Friedrich, S. K. Dew, T. Smy, and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1032 (1995).
5. K. Robbie, M. J. Brett, and A. Lakhtakia, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2991 (1995).
6. K. Robbie, M. J. Brett, and A. Lakhtakia, Nature (London) 384, 616 (1996).
7. K. Robbie, C. Shafair, and M. J. Brett, J. Mater. Res. 14, 3158 (1999).
8. R. Messier, T. Gehrke, C. Frankel, V. C. Venugopal, W. Otano, and A. Lakhtakia, J. Vac. Sci. Technol. A 15, 2148 (1997).
9. R. B. Meyer, Phys. Rev. Lett. 22, 918 (1969).
10. H. L. Ong and R. B. Meyer, J. Opt. Soc. Am. 73, 167 (1983).
11. S. R. Kennedy, M. J. Brett, O. Toader, and S. John, Nano Lett. 2, 59 (2002).
12. M. Suzuki and Y. Taga, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 40, L258 (2001).
13. A. Lakhtakia and W. S. Weighlhofer, Proc. R. Soc. London, Ser. A 448, 419 (1995).
14. R. Azzam, Appl. Phys. Lett. 61, 3118 (1992).
15. K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 5,866,204 (2 February 1999).
16. K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 6,206,065 (27 March 2001).
17. K. Robbie and M. J. Brett, U.S. Patent No. 6,248,422 (19 June 2001).
18. A. T. Wu and M. J. Brett, Sens. Mater. 13, 399 (2001).
19. K. D. Harris, J. R. McBride, K. E. Nietering, and M. J. Brett, Sens. Mater. 13, 225 (2001).
20. M. Suzuki, T. Ito, and Y. Taga, Appl. Phys. Lett. 78, 3968 (2001).
21. J. C. Sit, D. J. Broer, and M. J. Brett, Liq. Cryst. 27, 387 (2000).
22. K. D. Harris, M. J. Brett, T. J. Smy, and C. Backhouse, J. Electrochem. Soc. 147, 2002 (2000).
23. M. Seto, K. Westra, and M. J. Brett, J. Mater. Chem. 12, 2348 (2002).
24. D. Vick, T. Smy, B. Dick, S. Kennedy, and M. J. Brett, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 648, P3.43.1 (2001).
25. B. A. Orlowski, W. E. Spicer, and A. D. Baer, Thin Solid Films 34, 31 (1976).
26. R. N. Tait, T. Smy, and M. J. Brett, Thin Solid Films 226, 196 (1993).
27. T. Smy, D. Vick, M. J. Brett, S. K. Dew, A. T. Wu, J. C. Sit, and K. D. Harris, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2507 (2000).
28. D. K. Pandya, A. C. Rastogi, and K. L. Chopra, J. Appl. Phys. 46, 2966 (1975).
29. F. Liu, M. T. Umlor, L. Shen, J. Weston, W. Eads, J. A. Barnard, and G. J. Mankey, J. Appl. Phys. 85, 5486 (1999).
30. F. Liu, C. Yu, L. Shen, J. Barnard, and G. J. Mankey, IEEE Trans. Magn. 36, 2939 (2000).
31. B. Dick, M. J. Brett, T. Smy, M. Belov, and M. R. Freeman, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 1813 (2001).
32. M. Malac, R. F. Egerton, M. J. Brett, and B. Dick, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 2671 (1999).
33. T. A. Savas, M. Farhoud, H. I. Smith, M. Hwang, and C. A. Ross, J. Appl. Phys. 85, 6160 (1999).
34. B. Dick, J. C. Sit, M. J. Brett, I. M. N. Votte, and C. W. M. Bastiaansen, Nano Lett. 1, 71 (2001).
35. B. Dick, M. J. Brett, T. J. Smy, M. R. Freeman, M. Malac, and R. F. Egerton, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1838 (2000).
36. T. Smy, D. Vick, M. J. Brett, S. K. Dew, A. T. Wu, J. C. Sit, and K. D. Harris, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2507 (2000).
37. R. N. Tait, S. K. Dew, W. Tsai, D. Hodul, T. Smy, and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 679 (1996).
38. S. M. Rossnagel, D. Mikalsen, H. Kinoshita, and J. J. Cuomo, J. Vac. Sci. Technol. A 9, 261 (1991).
39. S. M. Rossnagel and J. Hopwood, Appl. Phys. Lett. 63, 3285 (1993).
40. J. N. Broughton, M. J. Brett, S. K. Dew, and G. Este, IEEE Trans. Semicond. Manuf. 9, 122 (1996).
41. J. C. Sit, D. Vick, K. Robbie, and M. J. Brett, J. Mater. Res. 14, 1197 (1999).