Reversible and irreversible control of optical properties of porous silicon superlattices by thermal oxidation, vapor adsorption, and liquid penetration

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 16, Issue 5, 1998, Pages 2901-2912

  Zangooie, S ^a   Jansson, R ^a   Arwin, H ^a  

^a LINKÖPING UNIVERSITY   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0032386662     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.581438     Document Type: Article

References (48)

1. A. Uhlir, Bell Syst. Tech. J. 35, 333 (1956).
2. L. T. Canham, Appl. Phys. Lett. 57, 1046 (1990).
3. G. Bomchil, A. Halimaui, I. Sagnes, P. A. Badoz, I. Berbezier, P. Perret, B. Lambert, G. Vincent, L. Garchery, and J. L. Regolini, Appl. Surf. Sci. 65/66, 394 (1993).
4. T. Taliercio, M. Dilhan, E. Massone, A. Foucaran, A. M. Gué, T. Bretagnon, B. Fraisse, and L. Montés, Sens. Actuators A 46-47, 43 (1995).
5. K. Watanabe, T. Okada, I. Choe, and Y. Sato, Sens. Actuators B 33, 194 (1996).
6. S. Zangooie, R. Bjorklund, and H. Arwin, Sens. Actuators B 43, 168 (1997).
7. T. Laurell, J. Drott, L. Rosengren, and K. Lindström, Sens. Actuators B 31, 161 (1996).
8. R. L. Smith and S. D. Collins, J. Appl. Phys. 71, R1 (1992).
9. G. Vincent, Appl. Phys. Lett. 64, 2367 (1994).
10. M. G. Berger, C. Dieker, M. Thönissen, L. Vescant, H. Lüth, H. Münder, W. Theiß, M. Wernke, and P. Grosse, J. Phys. D 27, 1333 (1994).
11. S. Fronhoff and M. G. Berger, Adv. Mater. 12, 963 (1994).
12. M. G. Berger, M. Thönissen, R. Arens-Fischer, H. Münder, H. Lüth, M. Arntzen, and W. Theiß, Thin Solid Films 255, 313 (1995).
13. M. G. Berger, R. Arens-Fischer, ST. Frohnhoff, C. Dieker, K. Winz, H. Münder, H. Lüth, M. Arntzen, and W. Theiss, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 358, 327 (1995).
14. C. Mazzoleni and L. Pavesi, Appl. Phys. Lett. 67, 2983 (1995).
15. V. Pellegrini, A. Tredicucci, C. Mazzoleni, and L. Pavesi, Phys. Rev. B 52, 328 (1995).
16. L. Pavesi, C. Mazzoleni, A. Tredicucci, and V. Pellegrini, Appl. Phys. Lett. 67, 3280 (1995).
17. M. Thönissen, M. G. Berger, M. Krüger, S. Billat, R. Arens-Fischer, O. Glück, H. Lüth, S. Hilbrich, W. Theiss, and P. Grosse, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 431, 373 (1996).
18. M. G. Berger, R. Arens-Fischer, M. Thönissen, M. Krüger, S. Billat, H. Lüth, S. Hilbrich, W. Theiß, and P. Grosse, Thin Solid Films 297, 237 (1997).
19. L. Pavesi and P. Dubos, Semicond. Sci. Technol. 12, 570 (1997).
20. A. Loni, L. T. Canham, M. G. Berger, R. Arens-Fischer, H. Münder, H. Lüth, H. F. Arrand, and T. M. Benson, Thin Solid Films 276, 143 (1996).
21. M. Krüger, M. G. Berger, M. Marso, W. Reetz, T. Eickhoff, R. Loo, L. Vescan, M. Thönissen, H. Lüth, R. Arens-Fischer, S. Hilbrich, and W. Theiss, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L24 (1997).
22. M. Araki, H. Koyama, and N. Koshida, J. Appl. Phys. 35, 1041 (1996).
23. S. Hilbrich, R. Arens-Fischer, L. Küpper, W. Theiß, M. G. Berger, M. Krüger, and M. Thönissen, Thin Solid Films 297, 250 (1997).
24. J. J. Yon, K. Barla, R. Merino, and G. Bomchil, J. Appl. Phys. 62, 1042 (1987).
25. W. Theiss, M. Arntzen, S. Hilbrich, M. Wernke, R. Arens-Fischer, and M. G. Berger, Phys. Status Solidi B 190, 15 (1995).
26. F. Ferrieu, A. Halimaoui, and D. Bensahel, Solid State Commun. 84, 293 (1992).
27. C. Pickering, L. T. Canham, and D. Brumhead, Appl. Surf. Sci. 63, 22 (1993).
28. U. Rossow, H. Münder, M. Thönissen, and W. Theiß, J. Lumin. 57, 205 (1993).
29. R. B. Bjorklund, S. Zangooie, and H. Arwin, Appl. Phys. Lett. 69, 3001 (1996).
30. R. B. Bjorklund, S. Zangooie, and H. Arwin, Langmuir 13, 1440 (1997).
31. S. Zangooie, R. Bjorklund, and H. Arwin, J. Electrochem. Soc. 144, 4027 (1997).
32. S. Zangooie, R. Bjorklund, and H. Arwin, Thin Solid Films 313-314, 827 (1998).
33. K. Järrendahl, R. Jansson, J.-E. Sundgren, and H. Arwin, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 258, 535 (1992).
34. K. Järrendahl, B. Pécz, J.-E. Sundgren, and H. Arwin, Thin Solid Films 240, 7 (1994).
35. S. D. Campbell, L. A. Jones, E. Nakamichi, F.-X. Wei, L. D. Zajchowski, and D. F. Thomas, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1184 (1995).
36. R. Massami Sassaki, R. A. Douglas, M. U. Kleinke, and O. Teschke, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2432 (1996).
37. Z-H. Yang, P. Zhang, D-J. Wang, and T-J. Li, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 1604 (1997).
38. R. M. A. Azzam and N. M. Bashara, Ellipsometry and Polarized Light (North-Holland, New York, 1997).
39. G. E. Jellison, Opt. Mater. 1, 41 (1992).
40. G. Dolino, D. Bellet, and C. Faivre, Phys. Rev. B 54, 919 (1996).
41. S. Billat, M. Thönissen, R. Arens-Fischer, M. G. Berger, M. Krüger, and H. Lüth, Thin Solid Films 297, 22 (1997).
42. M. Thönissen, M. G. Berger, S. Billat, R. Arens-Fischer, M. Krüger, H. Lüth, W. Theiß, S. Hillbrich, P. Grosse, G. Lorendel, and U. Frotscher, Thin Solid Films 297, 92 (1997).
43. R. Merino, A. Perio, K. Barla, and G. Bomchil, Mater. Lett. 2, 519 (1984).
44. D. Buttard, D. Bellet, and T. Baumbach, Thin Solid Films 276, 69 (1996).
45. P. C. Hiemenz, Principles of Colloid and Surface Chemistry (Marcell Decker Inc., New York, 1977), Chap. 6.
46. R. Herino, G. Bomchil, K. Barla, C. Bertrand, and J. L. Ginoux, J. Electrochem. Soc. 134, 1994 (1987).
47. R. C. Anderson, R. S. Muller, and C. W. Tobias, J. Electrochem. Soc. 140, 1393 (1993).
48. A. C. Dillon, M. L. Wise, M. G. Robinson, and S. M. George, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1 (1995).