Defects in p+-gate metal-oxide-semiconductor structures probed by monoenergetic positron beams

Journal of Applied Physics

Volumn 86, Issue 10, 1999, Pages 5385-5391

  Uedono, Akira ^a   Hiketa, Masako ^a   Tanigawa, Shoichiro ^a   Kitano, Tomohisa ^b   Kubota, Taishi ^b   Makabe, Mariko ^b   Suzuki, Ryoichi ^c   Ohdaira, Toshiyuki ^c   Mikado, Tomohisa ^c  

^a UNIVERSITY OF TSUKUBA   (Japan)

^b NEC CORPORATION   (Japan)

^c ELECTROTECHNICAL LABORATORY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006856583     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.371535     Document Type: Article

References (37)

1. G. Hu and R. H. Bruce, IEEE Trans. Electron Devices 32, 584 (1985).
2. Y. Shacham-Diamand and W. G. Oldham, J. Electron. Mater. 15, 229 (1986).
3. Y. Sato, K. Ehara, and K. Saito, Appl. Phys. Lett. 136, 1777 (1989).
4. P. J. Wright and K. C. Saraswat, IEEE Trans. Electron Devices 36, 879 (1989).
5. J. R. Pfiester, F. K. Baker, T. C. Mele, H.-H Tseng, P. J. Tobin, J. D. Hayden, J. W. Miller, C. D, Gunderson, and L. C. Parrillo, IEEE Trans. Electron Devices 37, 1842 (1990).
6. R. B. Fair, J. Electrochem. Soc. 144, 708 (1997).
7. W. B. Fowler and A. H. Edwards, J. Non-Cryst. Solids 222, 33 (1997).
8. K. A. Ellis and R. A. Buhrman, Appl. Phys. Lett. 69, 535 (1996).
9. R. Krause-Rehberg and H. S. Leipner, in Positron Annihilation in Semi-conductors, Springer Series in Solid-State Sciences (Springer, Berlin, 1999), Vol. 127.
10. P. J. Schultz and K. G. Lynn, Rev, Mod. Phys. 60, 701 (1988).
11. T. C. Leung, P. Asoka-Kumar, B. Nielsen, and K. G. Lynn, J. Appl. Phys. 73, 168 (1993).
12. A. Uedono, L. Wei, S. Tanigawa, R. Suzuki, H. Ohgaki, T. Mikado, and Y. Ohji, J. Appl. Phys. 75, 3822 (1994).
13. M. Clement, J. M. M. de Nijs, P. Balk, H. Schut, and A. van Veen, J. Appl. Phys. 81, 1943 (1997).
14. H. Kauppinen, C. Corbel, L. Liszkay, T. Laine, J. Oila, K. Saarinen, P. Hautojärvi, M.-F. Barthe, and G. Blondiaux, J. Phys.: Condens. Matter 9, 10 595 (1997).
15. R. N. West, Positrons in Solids, edited by P. Hautojärvi (Springer, Berlin, 1979), p. 89.
16. M. J. Puska, S. Mäkinen, M. Manninen, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B 39, 7666 (1989).
17. A. Mineji, K. Hamada, T. Hayashi, and S. Saito, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 127/128, 406 (1997).
18. A. van Veen, H. Schut, M. Clement, J. M. M. de Nijs, A. Kruseman, and M. R. Ijpma, Appl. Surf. Sci. 85, 216 (1995).
19. A. Uedono, T. Kitano, M. Watanabe, T. Moriya, T. Kawano, S. Tanigawa, R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 2000 (1996).
20. A, Uedono, H. Itoh, T. Ohshima, R. Suzuki, T. Ohdaira, S. Tanigawa, Y. Aoki, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, T. Mikado, H. Okumura, and S. Yoshida, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 6650 (1997).
21. R. Suzuki, Y. Kobayashi, T. Mikado, H. Ohgaki, M. Chiwaki, T. Yamazaki, and T. Tomimasu, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L532 (1991).
22. P. Kirkegaard, M. Eldrup, O. E. Mogensen, and N. J. Pedersen, Comput. Phys. Commun. 23, 307 (1981).
23. A. Uedono, T. Moriya, S. Tanigawa, T. Kawano, and Y. Ohji, J. Appl. Phys. 78, 3269 (1995).
24. J. W. Corbett, J. P. Karins, and T. Y. Tan, Nucl. Instrum. Methods 182/ 183, 457 (1981).
25. A. Uedono, T. Kitano, M. Watanabe, T. Moriya, N. Komuro, T. Kawano, S. Tanigawa, R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 969 (1997).
26. A. Uedono, T. Kitano, K. Hamada, T. Moriya, T. Kawano, S. Tanigawa, R. Suzuki, T. Ohdaira, and T. Mikado, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 2571 (1997).
27. C. G. Van de Walle, F. R. McFeely, and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett. 61, 1867 (1988).
28. C. W. Nieh and L. J. Chen, J. Appl. Phys. 60, 3114 (1986).
29. T. Kinoshita, M. Takakura, S. Miyazaki, S. Yokoyama, M. Koyanagi, and M. Hirose, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 29, L2349 (1990).
30. J. P. Peng, K. G. Lynn, P. Asoka-Kumar, D. P. Becker, and D. R. Harshman, Phys. Rev. Lett. 18, 2157 (1996).
31. Y. Ito, in Positron and Positronium Chemistry, edited by D. M. Schrader and Y. C. Jean (Elsevier, Amsterdam, 1988), p. 120.
32. A. Uedono, T. Kawano, S. Tanigawa, A. Urano, M. Kyoto, and H. Itoh, J. Phys.: Condens. Matter 7, 5139 (1995).
33. S. Danneafaer, T. Bretagnon, and D. Kerr, J. Appl. Phys. 74, 884 (1993).
34. A. Uedono, S. Tanigawa, J. Sugiura, and M. Ogasawara, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 28, 1293 (1989).
35. A. Uedono, Y. Ujihira, A. Ikari, H. Haga, and O. Yoda, Hyperfine Interact. 79, 615 (1993).
36. M. Fujinami, Phys. Rev. B 53, 13047 (1996).
37. S. Eichler, J. Gebauer, F. Borner, A. Polity, R. Krauserehberg, E. Wendler, B. Weber, W. Wesch, and H. Borner, Phys. Rev. B 56, 1393 (1997).