Postpolymerization of functional organosiloxanes: An Efficient strategy for preparation of low-k material with enhanced thermostability and mechanical properties

Macromolecules

Volumn 47, Issue 18, 2014, Pages 6311-6315

  Yuan, Chao ^a   Wang, Jiajia ^a   Jin, Kaikai ^a   Diao, Shen ^a   Sun, Jing ^a   Tong, Jiawei ^a   Fang, Qiang ^a  

^a SHANGHAI INSTITUTE OF ORGANIC CHEMISTRY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL BONDS; CROSSLINKING; DIELECTRIC LOSSES; ELASTIC MODULI; OLIGOMERS; SILICON; SILICON WAFERS; STABILITY; SURFACE ROUGHNESS; WAFER BONDING;

BONDING STRENGTH; CHEMICAL EQUATIONS; CROSS-LINKED NETWORKS; EFFICIENT STRATEGY; HIGH TEMPERATURE; POST-POLYMERIZATION; SILICON WAFER SURFACE; ULTRALARGE SCALE INTEGRATION;

AMORPHOUS SILICON;

EID: 84918533008     PISSN: 00249297     EISSN: 15205835     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma501263c     Document Type: Article

References (29)

1. (a) Yang, J.; Liu, S.; Zhu, F.; Huang, Y.; Li, B.; Zhang, L. J. Polym. Sci., Polym. Chem. 2011, 49, 381.
2. (b) de Theije, F. K.; Balkenende, A. R.; Verheijen, M. A.; Baklanov, M. R.; Mogilnikov, K. P.; Furukawa, Y. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 4280.
3. Volksen, W.; Miller, R. D.; Dubois, G. Chem. Rev. 2010, 110, 56.
4. (a) Larsen, G.; Lotero, E.; Marquez, M. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 4840.
5. (b) He, F.; Yuan, C.; Li, K.; Diao, S.; Jin, K.; Wang, J.; Tong, J.; Ma, J.; Fang, Q. RSC Adv. 2013, 3, 23128.
6. Morgen, M.; Ryan, E. T.; Zhao, J.; Hu, C.; Cho, T.; Ho, P. S. Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 645.
7. Zhao, G.; Ishizaka, T.; Kasai, H.; Hasegawa, M.; Furukawa, T.; Nakanishi, H.; Oikawa, H. Chem. Mater. 2009, 21, 419.
8. Martin, S. J.; Godschalx, J. P.; Mills, M. E.; Shaffer, E. O., II.; Townsend, P. H. Adv. Mater. 2000, 12, 1769.
9. Huang, Q. R.; Kim, H. C.; Huang, E.; Mecerreyes, D.; Hedrick, J. L.; Volksen, W.; Frank, C. W.; Miller, R. D. Macromolecules 2003, 36, 7661.
10. Eslava, S.; Urrutia, J.; Busawon, A. N.; Baklanov, M. R.; Iacopi, F.; Aldea, S.; Maex, K.; Martens, J. A.; Kirschhock, C. E. A. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 17528.
11. Yuan, C.; Jin, K.; Li, K.; Diao, S.; Tong, J.; Fang, Q. Adv. Mater. 2013, 25, 4875.
12. Maier, G. Prog. Polym. Sci. 2001, 26, 3.
13. Long, T. M.; Swager, T. M. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 14113.
14. Tsuchiya, K.; Ishii, H.; Shibasaki, Y.; Ando, S.; Ueda, M. Macromolecules 2004, 37, 4794.
15. Tsuchiya, K.; Shibasaki, Y.; Aoyagi, M.; Ueda, M. Macromolecules 2006, 39, 3964.
16. Huang, Y.; Economy, J. Macromolecules 2006, 39, 1850.
17. Chen, Y. W.; Wang, W. C.; Yu, W. H.; Kang, E. T.; Neoh, K. G.; Vora, R. H.; Ong, C. K.; Chen, L. F. J. Mater. Chem. 2004, 14, 1406.
18. Ro, H. W.; Char, K.; Jeon, E.; Kim, H. J.; Kwon, D.; Lee, H. J.; Lee, J. K.; Rhee, H. W.; Soles, C.; Yoon, D. Y. Adv. Mater. 2007, 19, 705.
19. Rathore, J. S.; Interrante, L. V.; Dubois, G. Adv. Funct. Mater. 2008, 18, 4022.
20. Farrell, R.; Goshal, T.; Cvelbar, U.; Petkov, N.; Morris, M. A. ECS Interface 2011, 20 (Winter), 39.
21. Murotani, E.; Lee, J.; Chatzichristidi, M.; Zakhidov, A. A.; Taylor, P. G.; Schwartz, E. L.; Malliaras, G. G.; Ober, C. K. ACS Appl. Mater. Interfaces 2009, 1, 2363.
22. Liu, X.; Li, Y. L.; Hou, F. J. Am. Ceram. Soc. 2009, 92, 49.
23. Iacono, S. T.; Budy, S. M.; Jin, J.; Smith, D. W., Jr. J. Polym. Sci., Polym. Chem. 2007, 45, 5705.
24. Case, C. B.; Case, C. J.; Kornblit, A.; Mills, M. E.; Castillo, D.; Liu, R. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1997, 443, 177.
25. Rizzo, J.; Harris, F. W. Polymer 2000, 41, 5125.
26. Bychkova, A. A.; Soskov, F. V.; Demchenko, A. I.; Storozhen, P. A.; Muzafarov, A. M. Russ. Chem. Bull. 2011, 60, 2384.
27. Park, J.; Oh, J.; Creager, S. E.; Smith, D. W., Jr Chem. Commun. 2012, 48, 8225.
28. (a) Andrew, T. L.; Swager, T. M. Macromolecules 2011, 44, 2276.
29. (b) Ghim, J.; Lee, D. S.; Shin, B. G.; Vak, D.; Yi, D. K.; Kim, M. J.; Shim, H. S.; Kim, J. J.; Kim, D. Y. Macromolecules 2004, 37, 5724.