Correlating growth characteristics in atomic layer deposition with precursor molecular structure: The case of zinc tin oxide

Chemistry of Materials

Volumn 26, Issue 9, 2014, Pages 2795-2802

  Tanskanen, Jukka T ^a,b   Hägglund, Carl ^a   Bent, Stacey F ^a  

^a Stanford University   (United States)

^b UNIVERSITY OF EASTERN FINLAND   (Finland)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84900410423     PISSN: 08974756     EISSN: 15205002     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm403913r     Document Type: Article

References (38)

1. Miikkulainen, V.; Leskela, M.; Ritala, M.; Puurunen, R. L. J. Appl. Phys. 2013, 113, 021301
2. Zaera, F. J. Mater. Chem. 2008, 18, 3521
3. Zaera, F. J. Phys. Chem. Lett. 2012, 3, 1301
4. Seim, H.; Molsa, H.; Nieminen, M.; Fjellvag, H.; Niinisto, L. J. Mater. Chem. 1997, 7, 449-455
5. Elam, J.; Routkevitch, D.; George, S. J. Electrochem. Soc. 2003, 150, G339
6. Choi, W. S. J. Korean Phys. Soc. 2010, 57, 1472
7. Hultqvist, A.; Platzer-Bjorkman, C.; Zimmermann, U.; Edoff, M.; Torndahl, T. Prog. Photovoltaics 2012, 20, 883
8. Lee, Y. S.; Heo, J.; Siah, S. C.; Mailoa, J. P.; Brandt, R. E.; Kim, S. B.; Gordon, R. G.; Buonassisi, T. Energy Environ. Sci. 2013, 6, 2112
9. Dhakal, T.; Vanhart, D.; Christian, R.; Nandur, A.; Sharma, A.; Westgate, C. R. J. Vac. Sci. Technol. A 2012, 30, 021202
10. Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater. 2003, 15, 1020
11. Thimsen, E.; Riha, S. C.; Baryshev, S. V.; Martinson, A. B. F.; Elam, J. W.; Pellin, M. J. Chem. Mater. 2012, 24, 3188
12. Gong, S. C.; Choi, Y.; Kim, H.; Park, C.; Park, H.; Jang, J. G.; Chang, H. J.; Yeom, G. Y. J. Vac. Sci. Technol. A 2013, 31, 01A101
13. Yuan, H.; Luo, B.; Yu, D.; Cheng, A.; Campbell, S. A.; Gladfelter, W. L. J. Vac. Sci. Technol. A 2012, 30, 01A138
14. Mullings, M. N.; Hägglund, C.; Tanskanen, J. T.; Yee, Y.; Geyer, S.; Bent, S. F. Thin Solid Films 2014, 556, 186-194
15. Chalker, P. R.; Marshall, P. A.; Romani, S.; Rosseinsky, M. J.; Rushworth, S.; Williams, P. A.; Buckett, J.; McSporran, N.; Ridealgh, J. MRS Proc. 2011, 1315, 39
16. Törndahl, T.; Platzer-Björkman, C.; Kessler, J.; Edoff, M. Prog. Photovoltaics Res. Appl. 2007, 15, 225
17. Heo, J.; Liu, Y.; Sinsermsuksakul, P.; Li, Z.; Sun, L.; Noh, W.; Gordon, R. G. J. Phys. Chem. C 2011, 115, 10277
18. Mullings, M. N.; Hägglund, C.; Bent, S. F. J. Vac. Sci. Technol. A 2013, 31, 061503
19. Dovesi, R.; Saunders, V. R.; Roetti, C.; Orlando, R.; Zicovich-Wilson, C. M.; Pascale, F.; Civalleri, B.; Doll, K.; Harrison, N. M.; Bush, I. J.; D'Arco, P.; Llunell, M. CRYSTAL09 User's Manual; Torino, Italy, 2009.
20. Perdew, J.; Burke, K.; Ernzerhof, M. Phys. Rev. Lett. 1996, 77, 3865
21. Adamo, C.; Barone, V. J. Chem. Phys. 1999, 110, 6158
22. Schafer, A.; Horn, H.; Ahlrichs, R. J. Chem. Phys. 1992, 97, 2571
23. Weigend, F.; Ahlrichs, R. Phys. Chem. Chem. Phys. 2005, 7, 3297
24. Karttunen, A. J.; Fassler, T. F.; Linnolahti, M.; Pakkanen, T. A. Inorg. Chem. 2011, 50, 1733
25. Cooke, D. J.; Marmier, A.; Parker, S. C. J. Phys. Chem. B 2006, 110, 7985
26. Li, H.; Schirra, L. K.; Shim, J.; Cheun, H.; Kippelen, B.; Monti, O. L. A.; Bredas, J. Chem. Mater. 2012, 24, 3044
27. Monkhorst, H. J.; Pack, J. D. Phys. Rev. B 1976, 13, 5188
28. Ferguson, J. D.; Weimer, A. W.; George, S. M. J. Vac. Sci. Technol. A 2005, 23, 118
29. Lee, B. H.; Hwang, J. K.; Nam, J. W.; Lee, S. U.; Kim, J. T.; Koo, S.; Baunemann, A.; Fischer, R. A.; Sung, M. M. Angew. Chem. 2009, 121, 4606
30. Vidjayacoumar, B.; Emslie, D. J. H.; Clendenning, S. B.; Blackwell, J. M.; Britten, J. F.; Rheingold, A. Chem. Mater. 2010, 22, 4844
31. Yousfi, E. B.; Fouache, J.; Lincot, D. Appl. Surf. Sci. 2000, 153, 223
32. Elam, J. W.; Baker, D. A.; Hryn, A. J.; Martinson, A. B. F.; Pellin, M. J.; Hupp, J. T. J. Vac. Sci. Technol. A 2008, 26, 244
33. Knapas, K.; Ritala, M. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 2013, 38, 167
34. Wöll, C. Prog. Surf. Sci. 2007, 82, 55
35. Tanskanen, J. T.; Bent, S. F. J. Phys. Chem. C 2013, 117, 19056
36. Ren, J. Appl. Surf. Sci. 2009, 255, 5742
37. Shirazi, M.; Elliott, S. D. Chem. Mater. 2013, 25, 878
38. Elliott, S. D.; Nilsen, O. ECS Trans. 2011, 41, 175