Ultrananocrystalline diamond/amorphous carbon nanocomposite films

New Research on Nanocomposites

Volumn , Issue , 2008, Pages 115-148

  Kulisch, Wilhelm ^a   Popov, Cyril ^b  

^a JOINT RESEARCH CENTRE   (Italy)

^b UNIVERSITY OF KASSEL   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84896197158     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Book    
DOI: None     Document Type: Chapter

References (105)

1. K. E. Spear and J. P. Dismukes, editors, Synthetic Diamond: Emerging CVD Science and Technology, John Wiley & Sons, New York, 1994.
2. W. Kulisch, Deposition of Superhard Diamond-Like Materials, Springer Tracts on Modern Physics, Heidelberg Berlin, 1999.
3. P. K. Bachmann and R. Messier, Chemical & Engineering News, 25 (1989).
4. W. A. Yarbrough and R. Messier, Science 247, 688 (1990).
5. P. Koidl and C.-P. Klages, Diamond Relat. Mater. 1, 1065 (1992).
6. X. Jiang and C.-P. Klages, phys. stat. sol. (a) 154, 175 (1996).
7. R. Locher, C.Wild, N. Herres, D. Bohr, and P. Koidl, Appl. Phys. Lett. 65, 34 (1994).
8. D. M. Gruen, Mat. Res. Soc. Bull. 26, 771 (2001).
9. J. Butler, Electrochem. Soc. Interface 12, 22 (2003).
10. D. M. Gruen, Annu. Rev. Mater. Sci. 29, 211 (1999).
11. W. Kulisch and C. Popov, Phys. Stat. Sol. (a) 203, 203 (2006), Feature Article.
12. J. E. Field, The Properties of Natural and Synthetic Diamond, Academic Press, London, 1992.
13. W. Kulisch, in Functional Properties of Nanostructured Materials, edited by R. Kassing, P. Petkov, W. Kulisch, and C. Popov, page 113, Berlin, 2006, Springer Verlag.
14. H. Holleck and V. Schier, Surf. Coat. Technol. 76-77, 328 (1995).
15. J. S. Zabinski and A. A. Voevodin, J. Vac. Sci. Technol. A16, 1890 (1998).
16. S. Hogmark, S. Jacobson, and M. Larsson, Wear 246, 20 (2000).
17. P. B. Mirkarimi, L. Hultman, and S. A. Barnett, Appl. Phys. Lett. 57, 2654 (1990).
18. P. C. Yashar and W. D. Sproul, Vacuum 55, 179 (1999).
19. M. Lattemann, S. Ulrich, H. Holleck, M. Sẗuber, and H. Leiste, Diamond Relat. Mater. 11, 1248 (2002).
20. A. A. Voevodin and J. S. Zabinski, J. Mater. Sci. 33, 319 (1998).
21. S. Vep̌rek, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2401 (1999).
22. A. A. Voevodin and J. S. Zabinski, Thin Solid Films 370, 223 (2000).
23. W. Kulisch, C. Popov, V. Vorlicek, P. N. Gibson, and G. Favaro, Thin Solid Films 515, 1005 (2006).
24. C. Popov, S. Bliznakov, and W. Kulisch, Diamond Relat. Mater. 16, 740 (2007).
25. S. A. Catlegde and Y. K. Vohra, J. Appl. Phys. 86, 698 (1999).
26. X. Xiao, J.Wang, C. Liu, J. A. Carlisle,M.Mech, R. Greenberg, D. Guven, R. Freda, M. S. Humayun, J. Weiland, and O. Auciello, J. Biomed. Mater. Res. B 77B, 273 (2006).
27. P. W. May, Phil. Trans. R. Soc. Lond. A 358, 473 (2000).
28. M. Werner and R. Locher, Rep. Prog. Phys. 61, 1665 (1998).
29. C. Popov and W. Kulisch, in Proceedings of the CVD XVI and EUROCVD-14 Conference, page 1079, Pennington, N.J., 2003, The Electrochemical Society.
30. C. Popov, M. Novotny, M. Jelinek, S. Boycheva, V. Vorlicek, M. Trchova, and W. Kulisch, Thin Solid Films 506-507, 297 (2006).
31. C. Popov, W. Kulisch, P. N. Gibson, G. Ceccone, and M. Jelinek, Diamond Relat. Mater. 13, 1371 (2004).
32. T. H. de Keijser, E. J. Mittermeijer, and H. C. Rozendaal, J. Appl. Cryst. 16, 309 (1983).
33. C. Popov, W. Kulisch, S. Bliznakov, B. Mednikarov, G. Spasov, J. Pirov, M. Jelinek, T. Kocourek, and J. Zemek, Appl. Phys. A 89, 209 (2007).
34. I. Montero, L. Galan, A. Laurent, J. Perriere, and J. Spousta, Thin Solid Films 228, 72 (1993).
35. J. C. Lascovic and S. Scaglione, Appl. Surf. Sci. 78, 17 (1994).
36. S. T. Jackson and R. G. Nuzzo, Appl. Surf. Sci. 95, 90 (1995).
37. D. S. Knight and W. B. White, J. Mater. Res. 4, 385 (1989).
38. J. Wagner, C. Wild, and P. Koidl, Appl. Phys. Lett. 59, 779 (1991).
39. K. Okada, K. Kanda, S. Komatsu, and S.Matsumoto, J. Appl. Phys. 88, 1674 (2000).
40. J. R. Nemanich, J. T. Glass, G. Lucovsky, and R. E. Shroder, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1783 (1988).
41. S. Prawer, K. W. Nugent, D. N. Jamieson, J. O. Orwa, L. A. Bursill, and J. L. Peng, Chem. Phys. Lett. 332, 93 (2000).
42. A. C. Ferrari and J. Robertson, Phys. Rev. B 63, 121405 (2001).
43. R. Pfeiffer, H. Kuzmany, B. Salk, and B. G̈unther, Appl. Phys. Lett. 82, 4149 (2003).
44. C. Popov, W. Kulisch, S. Boycheva, K. Yamamoto, G. Ceccone, and Y. Koga, Diamond Relat. Mater. 13, 2071 (2004).
45. W. Kulisch, C. Popov, S. Bliznakov, G. Ceccone, D. Gilliland, L. Sirghi, and F. Rossi, Thin Solid Films 515, 8407 (2007).
46. W. Kulisch, C. Popov, T. Sasaki, L. Sirghi, H. Rauscher, D. Grambole, and F. Rossi, Paper submitted to phys. stat. sol. (a), 2008.
47. W. Kulisch, T. Sasaki, F. Rossi, C. Popov, C. Sippel, and D. Grambole, phys. stat. sol. (RRL) 2, 77 (2008).
48. K. M. McNamara, K. K. Gleason, and C. J. Robinson, J. Vac. Sci. Technol. A 10, 3143 (1992).
49. S. Michaelson, O. Ternyak, A. Hoffman, O. E. Williams, and D. M. Gruen, Appl. Phys. Lett. 91, 103104 (2007).
50. S. Michaelson, O. Ternyak, R. Akhvlediani, O. E. Williams, D. M. Gruen, and A. Hoffman, phys. stat. sol. (a) 204, 2860 (2007).
51. C. J. Tang, A. J. Neves, and M. C. Carmo, Appl. Phys. Lett. 86, 223107 (2005).
52. K. Wu, E. G. Wang, Z. X. Cao, Z. L. Wang, and X. Jiang, J. Appl. Phys. 88, 2867 (2000).
53. A. Badzian, T. Badzian, and S.-T. Lee, in Proceedings of the Third International Symposium on Diamond Materials, edited by J. P. Dismukes, K. V. Ravi, K. E. Spear, B. Lux, and N. Setaka, page 378, Pennington, NJ, 1993, The Electrochemical Society Proc. Vol. 93-17.
54. D. Zhou, A. R. Krauss, L. C. Qin, T. G. McCauley, D. M. Gruen, T. D. Corrigan, R. P. H. Chang, and H. Gnaser, J. Appl. Phys. 82, 4546 (1997).
55. K. Wu, E. G. Wang, J. Chen, and N. S. Xu, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 1059 (1999).
56. S. A. Catlegde and Y. K. Vohra, J. Appl. Phys. 84, 6469 (1998).
57. S. Bhattacharyya, O. Auciello, J. Birell, J. A. Carlisle, L. A. Curtiss, A. N. Goyette, D. M. Gruen, A. R. Krauss, J. Schlueter, T. Sumant, and P. Zapol, Appl. Phys. Lett. 79, 1441 (2001).
58. J. Birell, J. A. Carlisle, O. Auciello, D. M. Gruen, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 81, 2235 (2002).
59. D. Zhou, F. A. Stevie, L. Chow, J. McKinley, H. Gnaeser, and V. H. Desai, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1135 (1999).
60. E. Givargizov, A. N. Stepanova, E. S. Mashkova, V. A. Malchonov, F. Shi, P. Hudek, and I. W. Rangelow, Microlelectronic Engineering 41/42, 499 (1998).
61. W. Kulisch, C. Popov, H. Rauscher, L. Sirghi, T. Sasaki, S. Bliznakov, and F. Rossi, Diamond Relat. Mater., (in press); doi:10.1016/j.diamond.2008.01.077 (2008).
62. T. P. Ong and R. P. H. Chang, Appl. Phys. Lett. 55, 2063 (1989).
63. F. C. N. Hong, G. T. Liang, J. J.Wu, D. Chang, and J. C. Hsieh, Appl. Phys. Lett. 63, 3149 (1993).
64. I. Schmidt, F. Hentschel, and C. Benndorf, Diamond Relat. Mater. 5, 1318 (1996).
65. X. Xiao, J. Birrell, J. E. Gerbi, O. Auciello, and J. A. Carlisle, J. Appl. Phys. 96, 2232 (2004).
66. S. A. Catledge, Y. K. Vohra, and P. B. Mirkarimi, J. Phys. D 38, 1410 (2005).
67. W. Kulisch, C. Popov, S. Boycheva, M. Jelinek, P. N. Gibson, and V. Vorlicek, Surf. Coat. Technol. 200, 4731 (2006).
68. T. G. McCauley, D. M. Gruen, and A. R. Krauss, Appl. Phys. Lett. 73, 1646 (1998).
69. S. Takeuchi, S. Oda, and M. Murakawa, Thin Solid Films 388/389, 238 (2001).
70. C. Wild, P. Koidl, W. M̈uller-Sebert, H. Walcher, R. Kohl, N. Herres, R. Locher, R. Samlenski, and R. Brenn, Diamond Relat. Mater. 2, 158 (1993).
71. A. van der Drift, Philips Res. Rep. 22, 267 (1967).
72. A. Hogmark, P. Hollman, A. Alahelisten, and P. Hedenquist, Wear 200, 225 (1996).
73. P. K. Bachmann and W. V. Enckevort, Diamond Relat. Mater. 1, 1021 (1992).
74. W. Kulisch, C. Popov, S. Boycheva, L. Buforn, G. Favaro, and N. Conte, Diamond Relat. Mater. 13, 1997 (2004).
75. N. Savvides and T. J. Bell, J. Appl. Phys. 72, 2791 (1992).
76. R. Kuschnereit, P. Hess, D. Albert, andW. Kulisch, Thin Solid Films 312, 66 (1998).
77. J. Philip, P. Hess, T. Feygelson, J. E. Butler, S. Chattopadhyay, K. H. Chen, and L. C. Chen, J. Appl. Phys. 93, 2164 (2003).
78. W. B. Yang, X. F. L̈u, and Z. X. Cao, J. Appl. Phys. 91, 10068 (2002).
79. C. Zuiker, A. R. Krauss, D. M. Gruen, X. Pan, J. C. Li, R. Csencsits, A. Erdemir, C. Bindal, and G. Fenske, Thin Solid Films 270, 154 (1995).
80. C. Popov, W. Kulisch, M. Jelinek, A. Bock, and J. Strnad, Thin Solid Films 494, 92 (2006).
81. J. Ristein, Appl. Phys. A 82, 377 (2006).
82. O. A. Williams, M. D. Whitfield, R. B. Jackman, J. J. Foord, J. E. Butler, and C. E. Nebel, Appl. Phys. Lett. 78, 3460 (2001).
83. J. J. Mares, P. Hubik, J. Kristofik, J. Ristein, P. Strobel, and L. Ley, Diamond Relat. Mater. 17, doi: 10.1016/j.diamond.2008.01.063 (2008).
84. M. I. Landstrass and K. V. Ravi, Appl. Phys. Lett. 55, 975 (1989).
85. A. Ḧartl, S. Nowy, J. Hernando, J. A. Garrido, J. Hernando, and M. Stutzmann, Sensors 5, 496 (2005).
86. C. Popov,W. Kulisch, S. Bliznakov, G. Ceccone, D. Gilliland, L. Sirghi, and F. Rossi, Diamond Relat. Mater., (in press); doi:10.1016/j.diamond.2008.01.078 (2008).
87. M. C. Feliciangeli, G. Conte, M. C. Rossi, L. Giorgi, R. Giorgi, and N. Lisi, Sensors Actuators B 126, 245 (2007).
88. H. Ye, R. Jackman, and P. Hing, J. Appl. Phys. 94, 7878 (2003).
89. S. Boycheva, C. Popov, J. Bulir, A. Piegari, and W. Kulisch, Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures 13(S1), 457 (2005).
90. T. Sharda, T. Soga, and T. Jimbo, J. Appl. Phys. 93, 101 (2003).
91. K. H. Chen, D. M. Bhusari, J. R. Yang, S. T. Lin, T. Y. Wang, and L. C. Chen, Thin Solid Films 332, 32 (1998).
92. L. C. Chen, K. H. Kichambare, J. J. Wu, J. R. Yang, and S. T. Lin, J. Appl. Phys. 89, 753 (2001).
93. M. J. Papo, S. A. Catlegde, Y. K. Vohra, and C. Machado, J. Mater. Sci. Mater. Med. 15, 773 (2004).
94. S. A. Catledge, M. D. Fries, Y. K. Vohra,W. R. Lacefield, J. E. Lemons, S.Woodard, and R. Venugopalan, J. Nanosci. Nanotechnol. 2, 1 (2002).
95. W. Yang, O. Auciello, J. E. Butler, W. Cai, J. A. Carlisle, J. E. Gerbi, D. M. Gruen, T. Knickerbocker, T. L. Lasseter, J. N. Russell Jr, L. M. Smith, and R. J. Hamers, Nature Mater. 1, 294 (2002).
96. J. Wang, M. A. Firestone, O. Auciello, and J. A. Carlisle, Langmuir 20, 11450 (2004).
97. A. Ḧartl, E. Schmich, J. A. Garrido, J. Hernando, S. C. R. Catharino, S. Walter, P. Feulner, A. Kromka, D. Steinmller, and M. Stutzmann, Nature Mater. 3, 736 (2004).
98. P. Christiaens, V. Vermeeren, S. Wenmackers, M. Daenen, K. Haenen, M. Nesladek, M. vandeVen, M. Ameloot, L. Michiels, and P. Wagner, Biosens. Bioelectron. 22, 170 (2006).
99. C. Popov, W. Kulisch, J. P. Reithmaier, T. Dostalova, M. Jelinek, N. Anspach, and C. Hammann, Diamond Relat. Mater. 16, 735 (2007).
100. C. Popov, S. Bliznakov, S. Boycheva, N. Malinovik, M. D. Apostolova, N. Anspach, C. Hammann, W. Nellen, J. P. Reithmaier, and W. Kulisch, Diamond Relat. Mater. 17, 882 (2008).
101. P. K. Chu, J. Y. Chen, L. P. Wang, and N. Huang, Mat. Sci. Eng. R 36, 143 (2002).
102. A. Ohl and K. Schr̈oder, Surf. Coat. Technol. 116-119, 820 (1999).
103. T. Strother, T. Knickerbocker, J. N. Russell Jr., J. E. Butler, L. M. Smith, and R. J. Hamers, Langmuir 18, 1968 (2002).
104. T. Knickerbocker, T. Strother, M. P. Schwartz, J. N. Russell Jr, J. E. Butler, L. M. Smith, and R. J. Hamers, Langmuir 19, 1938 (2003).
105. R. J. Hamers, J. E. Butler, T. Lasseter, B. M. Nichols, J. N. Russell Jr., K. Y. Tse, and W. Yang, Diamond Relat. Mater. 14, 661 (2005).