General synthesis of homoleptic indium alkoxide complexes and the chemical vapor deposition of indium oxide films

Journal of the American Chemical Society

Volumn 122, Issue 39, 2000, Pages 9396-9404

  Suh, Seigi ^a   Hoffman, David M ^a  

^a UNIVERSITY OF HOUSTON   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

2,2,6,6 TETRAMETHYL 3,5 HEPTANEDIONE; 4 DIMETHYLAMINOPYRIDINE; AMIDE; BIS TERT BUTYLAMINE; BUTYLAMINE; CYCLOBUTANE; INDIUM; INDIUM ALKOXIDE; INDIUM OXIDE; METAL COMPLEX; OXIDE; PROPOFOL; PYRIDINE DERIVATIVE; UNCLASSIFIED DRUG;

ARTICLE; CHEMICAL REACTION; CHEMICAL STRUCTURE; COMPLEX FORMATION; CONDUCTANCE; FILM; REACTION ANALYSIS; STOICHIOMETRY; STRUCTURE ANALYSIS; SYNTHESIS; TEMPERATURE DEPENDENCE; X RAY CRYSTALLOGRAPHY; X RAY DIFFRACTION;

EID: 0034605426     PISSN: 00027863     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ja000845a     Document Type: Article

References (59)

1. Hartnagel, H. L.; Dawar, A. L.; Jain, A. K.; Jagadish, C. Semiconducting Transparent Thin Films; Institute of Physics Publishing: Philadelphia, 1995; and references therein.
2. Korzo, V. F.; Ryabova, L. A. Sov. Phys. Solid State 1967, 9, 745.
3. Ryabova, L. A.; Savitskaya, Ya, S. J. Vac. Sci. Technol. 1969, 6, 934.
4. Kane, J. U.S. Patent 3 854 992, 1974.
5. Kane, J.; Schweizer, H. U.S. Patent 3 944 684, 1976.
6. Kane, J.; Schweizer, H.; Kern, W. Thin Solid Films 1975, 29, 155.
7. Ryabova, L. A.; Salun, V. S.; Serbinov, I. A. Thin Solid Films 1982, 92, 327.
8. Maruyama, T.; Fukui, K. J. Appl. Phys. 1991, 70, 3848.
9. Nishino, J.; Kawarada, T.; Ohshio, S.; Saitoh, H.; Maruyama, K.; Kamata, K. J. Mater. Sci. Lett. 1997, 16, 629.
10. Wang, A.; Dai, J.; Cheng, J.; Chudzik, M. P.; Marks, T. J.; Chang, R. P. H.; Kannewurf, C. R. Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 327.
11. Xu, J. J.; Shaikh, A. S.; Vest, R. W. Thin Solid Films 1988, 161, 273.
12. Maruyama, T.; Fukui, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1990, 29, L1705.
13. Maruyama, T.; Tabata, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1990, 29, L355.
14. Maruyama, T.; Fukui, K. Thin Solid Films 1991, 203, 297.
15. Maruyama, T.; Nakai, T. J. Appl. Phys. 1992, 71, 2915.
16. Hepp, A. F.; Andras, M. T.; Duraj, S. A.; Clark, E. B.; Hehemann, D. G.; Scheiman, D. A.; Fanwick, P. E. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1994, 335, 227.
17. Maruyama, T.; Kitamura, T. Jpn. J. Appl. Phys. 1989, 25, L1096.
18. Mayer, B. E. U.S. Patent 5 122 391, 1992.
19. Melas, A. A. U.S. Patent 5 147 688, 1992.
20. Mayer, B. Thin Solid Films 1992, 221, 166.
21. Ozasa, K.; Ye, T.; Aoyagi, Y. J. Vac. Sci. Technol. A 1994, 12, 120.
22. Nomura, R.; Konishi, K.; Matsuda, H. J. Electrochem. Soc. 1991, 138, 631.
23. Kawamata, E.; Ohshima, K. Jpn. J. Appl. Phys. 1979, 18, 205.
24. Chatterjee, S.; Bindal, S. R.; Mehrotra, R. C. J. Indian Chem. Soc. 1976, 53, 867.
25. Bradley, D. C.; Chudzynska, H.; Frigo, D. M.; Hursthouse, M. B.; Mazid, M. A. J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1988, 1258.
26. Bradley, D. C.; Chudzynska, H.; Frigo, D. M.; Hammond, M. E.; Hursthouse, M. B.; Mazid, M. A. Polyhedron 1990, 9, 719.
27. Moore, C. P.; Wettling, D. M. U.S. Patent 5 237 081, 1993.
28. Kim, J.; Bott, S. G.; Hoffman, D. M. Inorg. Chem. 1998, 37, 3835.
29. Frey, R.; Gupta, V. D.; Linti, G. Z. Anorg. Allg. Chem. 1996, 622, 1060.
30. Rossetto, G.; Brianese, N.; Camporese, A.; Porchia, M.; Zanella, P.; Bertoncello, R. Main Group Met. Chem. 1991, 14, 113.
31. Annan, T. A.; Kumar, R.; Mabrouk, H. E.; Tuck, D. G.; Chadha, R. K. Polyhedron, 1989, 8, 865.
32. Mîinea, L. A.; Suh, S.; Hoffman, D. M. Inorg. Chem. 1999, 38, 4447.
33. Willis, C. J. Coord. Chem. Rev. 1988, 88, 133.
34. Suh, S.; Hoffman, D. M. Inorg. Chem. 1998, 37, 5823.
35. Lowry, T. H.; Richardson, K. S. Mechanism and Theory in Organic Chemistry: Harper & Row: New York, 1976; pp 149-150.
36. Martin, M. L.; Delpuech, J.-J.; Martin, G. J. Practical NMR Spectroscopy; Heyden: Philadelphia, 1980; Chapter 8.1.2.
37. Bailar, J. C. J. Inorg. Nucl. Chem. 1958, 8, 165.
38. Ray, P.; Dutt, N. K. J. Indian Chem. Soc. 1943, 20, 81.
39. Shriver, D.; Atkins, P. Inorganic Chemistry, 3rd ed.; W. H. Freeman and Co.: New York, 1999; p 484.
40. Wengrovius, J. H.; Garbauskas, M. F.; Williams, E. A.; Going, R. C.; Donahue, P. E.; Smith, J. F. J. Am. Chem. Soc. 1986, 108, 982.
41. Folting, K.; Streib, W. E.; Caulton, K. G.; Poncelet, O.; Hubert-Pfalzgraf, L. G. Polyhedron 1991, 10, 1639. Turova, N. Ya.; Kozunov, V. A.; Yanovskii, A. I.; Bokii, N. G.; Struchkov, Yu. T.; Tarnopol'skii, B. L. J. Inorg. Nucl. Chem. 1979, 41, 5. Shiner, V. J., Jr.; Whittaker, D.; Fernandez, V. P. J. Am. Chem. Soc. 1963, 85, 2318.
42. Folting, K.; Streib, W. E.; Caulton, K. G.; Poncelet, O.; Hubert- Pfalzgraf, L. G. Polyhedron 1991, 10, 1639. Turova, N. Ya.; Kozunov, V. A.; Yanovskii, A. I.; Bokii, N. G.; Struchkov, Yu. T.; Tarnopol'skii, B. L. J. Inorg. Nucl. Chem. 1979, 41, 5. Shiner, V. J., Jr.; Whittaker, D.; Fernandez, V. P. J. Am. Chem. Soc. 1963, 85, 2318.
43. Folting, K.; Streib, W. E.; Caulton, K. G.; Poncelet, O.; Hubert- Pfalzgraf, L. G. Polyhedron 1991, 10, 1639. Turova, N. Ya.; Kozunov, V. A.; Yanovskii, A. I.; Bokii, N. G.; Struchkov, Yu. T.; Tarnopol'skii, B. L. J. Inorg. Nucl. Chem. 1979, 41, 5. Shiner, V. J., Jr.; Whittaker, D.; Fernandez, V. P. J. Am. Chem. Soc. 1963, 85, 2318.
44. Garbauskas, M. F.; Wengrovius, J. H.; Going, R. C.; Kasper, J. S. Acta Crystallogr. C 1984, 40, 1536.
45. Trentler, T. J.; Goel, S. C.; Hickman, K. M.; Viano, A. M.; Chiang, M. Y.; Beatty, A. M.; Gibbons, P. C.; Buhro, W. E. J. Am. Chem. Soc. 1997, 119, 2172.
46. Bradley, D. C.; Frigo, D. M.; Hursthouse, M. B.; Hussain, B. Organometallics 1988, 7, 1112.
47. Self, M. F.; McPhail, A. T.; Wells, R. L. J. Coord. Chem. 1993, 29, 27.
48. Dembowski, U.; Pape, T.; Herbst-Inner, R.; Pohl, E.; Roesky, H. W.; Sheldrick, G. M. Acta Crystallogr. C 1993, 49, 1309.
49. Rose, D. J.; Chang, Y. D.; Chen, Q.; Kettler, P. B.; Zubieta, J. Inorg. Chem. 1995, 34, 3973.
50. Jeffs, S. E.; Small, R. W. H.; Worrall, I. J. Acta Crystallogr. C 1984, 40, 1329.
51. Small, R. W. H.; Worrall, I. J. Acta Crystallogr. C 1982, 18, 932.
52. Leman, J. T.; Roman, H. A.; Barron, A. R. J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1992, 2183.
53. Atwood, D. A.; Jones, R. A.; Cowley, A. H.; Bott, S. G.; Atwood, J. L. J. Organomet. Chem. 1992, 434, 143.
54. Atwood, D. A.; Cowley, A. H.; Jones, R. A.; Atwood, J. L.; Bott, S. G. J. Coord. Chem. 1992, 26, 293.
55. Veith, M.; Recktenwald, O. J. Organomet. Chem. 1984, 264, 19.
56. Bradley, D. C.; Dawes, H.; Frigo, D. M.; Hursthouse, M. B.; Hussain, B. J. Organomet. Chem. 1987, 325, 55.
57. Kühner, S.; Hausen, H.-D.; Weidlein, J. Z. Anorg. Allg. Chem. 1998, 624, 13.
58. Jeong, J. I.; Moon, J. H.; Hong, J. H.; Kang, J.; Fukuda, Y.; Lee, Y. P. J. Vac. Sci. Technol. A 1996, 14, 293.
59. Barr, T. L.; Liu, Y. L. J. Phys. Chem. Solids 1989, 50, 657.