SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Nanoscale

Volumn 5, Issue 8, 2013, Pages 3352-3358

How do the electron beam writing and metal deposition affect the properties of graphene during device fabrication?

(3) Shen, Xiaonan a Wang, Haomin a Yu, Ting a,b,c

a NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY (Singapore)

b NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE (Singapore)

c National University of Singapore (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEVICE FABRICATIONS; E-BEAM IRRADIATION; ELECTRON BEAM WRITING; ELECTRON-BEAM EXPOSURE; FORMATION PROCESS; MEDIUM-ENERGY ELECTRON; METAL DEPOSITION; METALLIC CONTACTS;

AMORPHOUS CARBON; DEPOSITION; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; ELECTRON BEAMS; MONOLAYERS;

GRAPHENE;

EID: 84880896101 PISSN: 20403364 EISSN: 20403372 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c3nr33460k Document Type: Article

Times cited : (27)

References (44)

1
- 77958161102
- Y. H. Wu T. Yu Z. X. Shen J. Appl. Phys. 2010 108 071301
- (2010) J. Appl. Phys. , vol.108 , pp. 071301
- Wu, Y.H.¹ Yu, T.² Shen, Z.X.³

2
- 78149441176
- I. Childres L. A. Jauregui M. Foxe J. F. Tian R. Jalilian I. Jovanovic Y. P. Chen Appl. Phys. Lett. 2010 97 173109
- (2010) Appl. Phys. Lett. , vol.97 , pp. 173109
- Childres, I.¹ Jauregui, L.A.² Foxe, M.³ Tian, J.F.⁴ Jalilian, R.⁵ Jovanovic, I.⁶ Chen, Y.P.⁷

3
- 58149483882
- D. Teweldebrhan A. A. Balandin Appl. Phys. Lett. 2009 94 013101
- (2009) Appl. Phys. Lett. , vol.94 , pp. 013101
- Teweldebrhan, D.¹ Balandin, A.A.²

4
- 77956162276
- D. Teweldebrhan A. A. Balandin Appl. Phys. Lett. 2009 95 246102
- (2009) Appl. Phys. Lett. , vol.95 , pp. 246102
- Teweldebrhan, D.¹ Balandin, A.A.²

5
- 79960791770
- Y. H. He L. Wang X. L. Chen Z. F. Wu W. Li Y. Cai N. Wang Appl. Phys. Lett. 2011 99 033109
- (2011) Appl. Phys. Lett. , vol.99 , pp. 033109
- He, Y.H.¹ Wang, L.² Chen, X.L.³ Wu, Z.F.⁴ Li, W.⁵ Cai, Y.⁶ Wang, N.⁷

6
- 51749084221
- K. J. Kim J. H. Choi H. Lee H. K. Lee T. H. Kang Y. H. Han B. C. Lee S. Kim B. Kim J. Phys. Chem. C 2008 112 13062 13064
- (2008) J. Phys. Chem. C , vol.112 , pp. 13062-13064
- Kim, K.J.¹ Choi, J.H.² Lee, H.³ Lee, H.K.⁴ Kang, T.H.⁵ Han, Y.H.⁶ Lee, B.C.⁷ Kim, S.⁸ Kim, B.⁹

7
- 77953489505
- M. S. Xu D. Fujita N. Hanagata Nanotechnology 2010 21 265705
- (2010) Nanotechnology , vol.21 , pp. 265705
- Xu, M.S.¹ Fujita, D.² Hanagata, N.³

8
- 77950521525
- J. D. Jones K. K. Mahajan W. H. Williams P. A. Ecton Y. Mo J. M. Perez Carbon 2010 48 2335 2340
- (2010) Carbon , vol.48 , pp. 2335-2340
- Jones, J.D.¹ Mahajan, K.K.² Williams, W.H.³ Ecton, P.A.⁴ Mo, Y.⁵ Perez, J.M.⁶

9
- 67249162996
- J. H. Chen W. G. Cullen C. Jang M. S. Fuhrer E. D. Williams Phys. Rev. Lett. 2009 102 236805
- (2009) Phys. Rev. Lett. , vol.102 , pp. 236805
- Chen, J.H.¹ Cullen, W.G.² Jang, C.³ Fuhrer, M.S.⁴ Williams, E.D.⁵

10
- 77955066779
- K. M. McCreary K. Pi A. G. Swartz W. Han W. Bao C. N. Lau F. Guinea M. I. Katsnelson R. K. Kawakami Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2010 81 115453
- (2010) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.81 , pp. 115453
- McCreary, K.M.¹ Pi, K.² Swartz, A.G.³ Han, W.⁴ Bao, W.⁵ Lau, C.N.⁶ Guinea, F.⁷ Katsnelson, M.I.⁸ Kawakami, R.K.⁹

11
- 70349089725
- K. Pi K. M. McCreary W. Bao W. Han Y. F. Chiang Y. Li S. W. Tsai C. N. Lau R. K. Kawakami Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2009 80 075406
- (2009) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.80 , pp. 075406
- Pi, K.¹ McCreary, K.M.² Bao, W.³ Han, W.⁴ Chiang, Y.F.⁵ Li, Y.⁶ Tsai, S.W.⁷ Lau, C.N.⁸ Kawakami, R.K.⁹

12
- 34948892768
- Z. H. Ni H. M. Wang T. Yu Z. X. Shen Nano Lett. 2007 7 2758 2763
- (2007) Nano Lett. , vol.7 , pp. 2758-2763
- Ni, Z.H.¹ Wang, H.M.² Yu, T.³ Shen, Z.X.⁴

13
- 33750459007
- A. C. Ferrari J. C. Meyer V. Scardaci C. Casiraghi M. Lazzeri F. Mauri S. Piscanec D. Jiang K. S. Novoselov S. Roth A. K. Geim Phys. Rev. Lett. 2006 97 187401
- (2006) Phys. Rev. Lett. , vol.97 , pp. 187401
- Ferrari, A.C.¹ Meyer, J.C.² Scardaci, V.³ Casiraghi, C.⁴ Lazzeri, M.⁵ Mauri, F.⁶ Piscanec, S.⁷ Jiang, D.⁸ Novoselov, K.S.⁹ Roth, S.¹⁰ Geim, A.K.¹¹

14
- 57749090769
- J. C. Meyer C. Kisielowski R. Erni M. D. Rossell M. F. Crommie A. Zettl Nano Lett. 2008 8 3582 3586
- (2008) Nano Lett. , vol.8 , pp. 3582-3586
- Meyer, J.C.¹ Kisielowski, C.² Erni, R.³ Rossell, M.D.⁴ Crommie, M.F.⁵ Zettl, A.⁶

15
- 4344607594
- A. Hashimoto K. Suenaga A. Gloter K. Urita S. Iijima Nature 2004 430 870 873
- (2004) Nature , vol.430 , pp. 870-873
- Hashimoto, A.¹ Suenaga, K.² Gloter, A.³ Urita, K.⁴ Iijima, S.⁵

16
- 29644445226
- L. Li S. Reich J. Robertson Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2005 72 184109
- (2005) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.72 , pp. 184109
- Li, L.¹ Reich, S.² Robertson, J.³

17
- 77956148625
- J. D. Jones P. A. Ecton Y. Mo J. M. Perez Appl. Phys. Lett. 2009 95 246101
- (2009) Appl. Phys. Lett. , vol.95 , pp. 246101
- Jones, J.D.¹ Ecton, P.A.² Mo, Y.³ Perez, J.M.⁴

18
- 79952259831
- G. X. Liu D. Teweldebrhan A. A. Balandin IEEE Trans. Nanotechnol. 2011 10 865 870
- (2011) IEEE Trans. Nanotechnol. , vol.10 , pp. 865-870
- Liu, G.X.¹ Teweldebrhan, D.² Balandin, A.A.³

19
- 0242603790
- A. C. Ferrari J. Robertson Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2000 61 14095 14107
- (2000) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.61 , pp. 14095-14107
- Ferrari, A.C.¹ Robertson, J.²

20
- 41349109320
- J. C. Meyer C. O. Girit M. F. Crommie A. Zettl Appl. Phys. Lett. 2008 92 123110
- (2008) Appl. Phys. Lett. , vol.92 , pp. 123110
- Meyer, J.C.¹ Girit, C.O.² Crommie, M.F.³ Zettl, A.⁴

21
- 14944341740
- H. W. Conru P. C. Laberge J. Phys. E: Sci. Instrum. 1975 8 136 138
- (1975) J. Phys. E: Sci. Instrum. , vol.8 , pp. 136-138
- Conru, H.W.¹ Laberge, P.C.²

22
- 59149091893
- D. C. Elias R. R. Nair T. M. G. Mohiuddin S. V. Morozov P. Blake M. P. Halsall A. C. Ferrari D. W. Boukhvalov M. I. Katsnelson A. K. Geim K. S. Novoselov Science 2009 323 610 613
- (2009) Science , vol.323 , pp. 610-613
- Elias, D.C.¹ Nair, R.R.² Mohiuddin, T.M.G.³ Morozov, S.V.⁴ Blake, P.⁵ Halsall, M.P.⁶ Ferrari, A.C.⁷ Boukhvalov, D.W.⁸ Katsnelson, M.I.⁹ Geim, A.K.¹⁰ Novoselov, K.S.¹¹

23
- 79952690467
- Z. Q. Luo T. Yu Z. H. Ni S. H. Lim H. L. Hu J. Z. Shang L. Liu Z. X. Shen J. Y. Lin J. Phys. Chem. C 2011 115 1422 1427
- (2011) J. Phys. Chem. C , vol.115 , pp. 1422-1427
- Luo, Z.Q.¹ Yu, T.² Ni, Z.H.³ Lim, S.H.⁴ Hu, H.L.⁵ Shang, J.Z.⁶ Liu, L.⁷ Shen, Z.X.⁸ Lin, J.Y.⁹

24
- 4243722301
- A. M. Lanzillotto T. E. Madey R. A. Baragiola Phys. Rev. Lett. 1991 67 232 235
- (1991) Phys. Rev. Lett. , vol.67 , pp. 232-235
- Lanzillotto, A.M.¹ Madey, T.E.² Baragiola, R.A.³

25
- 77955402155
- O. Lehtinen J. Kotakoski A. V. Krasheninnikov A. Tolvanen K. Nordlund J. Keinonen Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2010 81 153401
- (2010) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.81 , pp. 153401
- Lehtinen, O.¹ Kotakoski, J.² Krasheninnikov, A.V.³ Tolvanen, A.⁴ Nordlund, K.⁵ Keinonen, J.⁶

26
- 80053251948
- J. Y. Fan J. M. Michalik L. Casado S. Roddaro M. R. Ibarra J. M. De Teresa Solid State Commun. 2011 151 1574 1578
- (2011) Solid State Commun. , vol.151 , pp. 1574-1578
- Fan, J.Y.¹ Michalik, J.M.² Casado, L.³ Roddaro, S.⁴ Ibarra, M.R.⁵ De Teresa, J.M.⁶

27
- 0016069485
- R. J. Hawryluk A. M. Hawryluk H. I. Smith J. Appl. Phys. 1974 45 2551 2566
- (1974) J. Appl. Phys. , vol.45 , pp. 2551-2566
- Hawryluk, R.J.¹ Hawryluk, A.M.² Smith, H.I.³

28
- 0016519734
- R. J. Hawryluk H. I. Smith A. Soares A. M. Hawryluk J. Appl. Phys. 1975 46 2528 2537
- (1975) J. Appl. Phys. , vol.46 , pp. 2528-2537
- Hawryluk, R.J.¹ Smith, H.I.² Soares, A.³ Hawryluk, A.M.⁴

29
- 41849142983
- A. Das S. Pisana B. Chakraborty S. Piscanec S. K. Saha U. V. Waghmare K. S. Novoselov H. R. Krishnamurthy A. K. Geim A. C. Ferrari A. K. Sood Nat. Nanotechnol. 2008 3 210 215
- (2008) Nat. Nanotechnol. , vol.3 , pp. 210-215
- Das, A.¹ Pisana, S.² Chakraborty, B.³ Piscanec, S.⁴ Saha, S.K.⁵ Waghmare, U.V.⁶ Novoselov, K.S.⁷ Krishnamurthy, H.R.⁸ Geim, A.K.⁹ Ferrari, A.C.¹⁰ Sood, A.K.¹¹

30
- 0025502517
- K. Reichelt X. Jiang Thin Solid Films 1990 191 91 126
- (1990) Thin Solid Films , vol.191 , pp. 91-126
- Reichelt, K.¹ Jiang, X.²

31
- 85004503553
- T. Asano N. Uetake K. Suzuki J. Nucl. Sci. Technol. 1992 29 1194 1200
- (1992) J. Nucl. Sci. Technol. , vol.29 , pp. 1194-1200
- Asano, T.¹ Uetake, N.² Suzuki, K.³

32
- 48249135493
- G. Giovannetti P. A. Khomyakov G. Brocks V. M. Karpan J. van den Brink P. J. Kelly Phys. Rev. Lett. 2008 101 026803
- (2008) Phys. Rev. Lett. , vol.101 , pp. 026803
- Giovannetti, G.¹ Khomyakov, P.A.² Brocks, G.³ Karpan, V.M.⁴ Van Den Brink, J.⁵ Kelly, P.J.⁶

33
- 80053600386
- N. Peimyoo T. Yu J. Z. Shang C. X. Cong H. P. Yang Carbon 2012 50 201 208
- (2012) Carbon , vol.50 , pp. 201-208
- Peimyoo, N.¹ Yu, T.² Shang, J.Z.³ Cong, C.X.⁴ Yang, H.P.⁵

34
- 67649414628
- P. A. Khomyakov G. Giovannetti P. C. Rusu G. Brocks J. van den Brink P. J. Kelly Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2009 79 195425
- (2009) Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. , vol.79 , pp. 195425
- Khomyakov, P.A.¹ Giovannetti, G.² Rusu, P.C.³ Brocks, G.⁴ Van Den Brink, J.⁵ Kelly, P.J.⁶

35
- 84867761340
- N. Peimyoo J. W. Li J. Z. Shang X. N. Shen C. Y. Qiu L. H. Xie W. Huang T. Yu ACS Nano 2012 6 8878 8886
- (2012) ACS Nano , vol.6 , pp. 8878-8886
- Peimyoo, N.¹ Li, J.W.² Shang, J.Z.³ Shen, X.N.⁴ Qiu, C.Y.⁵ Xie, L.H.⁶ Huang, W.⁷ Yu, T.⁸

36
- 27344453539
- N. Ooi A. Rairkar J. B. Adams Carbon 2006 44 231 242
- (2006) Carbon , vol.44 , pp. 231-242
- Ooi, N.¹ Rairkar, A.² Adams, J.B.³

37
- 34548720429
- S. J. Sque R. Jones P. R. Briddon Phys. Status Solidi A 2007 204 3078 3084
- (2007) Phys. Status Solidi A , vol.204 , pp. 3078-3084
- Sque, S.J.¹ Jones, R.² Briddon, P.R.³

38
- 0017556846
- H. B. Michaelson J. Appl. Phys. 1977 48 4729 4733
- (1977) J. Appl. Phys. , vol.48 , pp. 4729-4733
- Michaelson, H.B.¹

39
- 67049088338
- C. X. Cong T. Yu Z. H. Ni L. Liu Z. X. Shen W. Huang J. Phys. Chem. C 2009 113 6529 6532
- (2009) J. Phys. Chem. C , vol.113 , pp. 6529-6532
- Cong, C.X.¹ Yu, T.² Ni, Z.H.³ Liu, L.⁴ Shen, Z.X.⁵ Huang, W.⁶

40
- 77958451518
- Y. Y. Wang Z. H. Ni H. L. Hu Y. F. Hao C. P. Wong T. Yu J. T. L. Thong Z. X. Shen Appl. Phys. Lett. 2010 97 163111
- (2010) Appl. Phys. Lett. , vol.97 , pp. 163111
- Wang, Y.Y.¹ Ni, Z.H.² Hu, H.L.³ Hao, Y.F.⁴ Wong, C.P.⁵ Yu, T.⁶ Thong, J.T.L.⁷ Shen, Z.X.⁸

41
- 76149137766
- H. Q. Zhou C. Y. Qiu Z. Liu H. C. Yang L. J. Hu J. Liu H. F. Yang C. Z. Gu L. F. Sun J. Am. Chem. Soc. 2010 132 944 946
- (2010) J. Am. Chem. Soc. , vol.132 , pp. 944-946
- Zhou, H.Q.¹ Qiu, C.Y.² Liu, Z.³ Yang, H.C.⁴ Hu, L.J.⁵ Liu, J.⁶ Yang, H.F.⁷ Gu, C.Z.⁸ Sun, L.F.⁹

42
- 33646169643
- L. G. Cancado K. Takai T. Enoki M. Endo Y. A. Kim H. Mizusaki A. Jorio L. N. Coelho R. Magalhaes-Paniago M. A. Pimenta Appl. Phys. Lett. 2006 88 163106
- (2006) Appl. Phys. Lett. , vol.88 , pp. 163106
- Cancado, L.G.¹ Takai, K.² Enoki, T.³ Endo, M.⁴ Kim, Y.A.⁵ Mizusaki, H.⁶ Jorio, A.⁷ Coelho, L.N.⁸ Magalhaes-Paniago, R.⁹ Pimenta, M.A.¹⁰

43
- 77958078134
- Z. H. Ni L. A. Ponomarenko R. R. Nair R. Yang S. Anissimova I. V. Grigorieva F. Schedin P. Blake Z. X. Shen E. H. Hill K. S. Novoselov A. K. Geim Nano Lett. 2010 10 3868 3872
- (2010) Nano Lett. , vol.10 , pp. 3868-3872
- Ni, Z.H.¹ Ponomarenko, L.A.² Nair, R.R.³ Yang, R.⁴ Anissimova, S.⁵ Grigorieva, I.V.⁶ Schedin, F.⁷ Blake, P.⁸ Shen, Z.X.⁹ Hill, E.H.¹⁰ Novoselov, K.S.¹¹ Geim, A.K.¹²

44
- 79960831055
- B. C. Huang M. Zhang Y. J. Wang J. Woo Appl. Phys. Lett. 2011 99 032107
- (2011) Appl. Phys. Lett. , vol.99 , pp. 032107
- Huang, B.C.¹ Zhang, M.² Wang, Y.J.³ Woo, J.⁴

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.