Graphoepitaxy of block-copolymer self-assembly integrated with single-step ZnO nanoimprinting

Small

Volumn 8, Issue 10, 2012, Pages 1563-1569

  Kim, Sarah ^a   Shin, Dong Ok ^b   Choi, Dae Geun ^a   Jeong, Jong Ryul ^c   Mun, Jeong Ho ^b   Yang, Yong Biao ^d   Kim, Jaeup U ^d   Kim, Sang Ouk ^b   Jeong, Jun Ho ^a  

^a Korea Institute of Machine and Materials   (South Korea)

^b Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST)   (South Korea)

^c Chungnam National University   (South Korea)

^d Ulsan National Institute of Science and Technology   (South Korea)

Author keywords

block copolymers; nanoimprinting; nanopatterning; self assembly; zinc oxide (ZnO)

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMER THIN FILMS; COMPLEX MORPHOLOGY; GRAPHOEPITAXY; HIGH THERMAL STABILITY; LATERAL ORDERING; NANO DOMAIN; NANO PATTERN; NANO-IMPRINTING; NANOCYLINDERS; NANOPATTERNING; NANOSCALE ASSEMBLIES; PATTERN SHAPE; SELF-ASSEMBLED; SELF-CONSISTENT-FIELD THEORY; SINGLE-STEP; SINGLE-STEP PROCESS; SOL-GEL PRECURSORS; TRENCH DEPTH; TUNABILITIES; ZINC OXIDE (ZNO); ZNO; ZNO SUBSTRATE;

BLOCK COPOLYMERS; MEAN FIELD THEORY; MOLECULAR ORBITALS; NANOIMPRINT LITHOGRAPHY; SELF ASSEMBLY; SOL-GEL PROCESS; SOL-GELS;

ZINC OXIDE;

EID: 84861117693     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.201101960     Document Type: Article

References (46)

1. F. S. Bates, G. H. Fredrickson, Phys. Today 1999, 52, 32.
2. M. W. Matsen, in Soft Matter, Vol. 1: Polymer Melts and Mixtures (Eds:, G. Gompper, M. Schick,), Wiley-VCH, Weinheim, Germany, 2006.
3. R. A. Segalman, H. Yokoyama, E. J. Kramer, Adv. Mater. 2001, 13, 1152.
4. S. O. Kim, H. H. Solak, M. P. Stoykovich, N. J. Ferrier, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Nature 2003, 424, 411.
5. D. Sundrani, S. B. Darling, S. J. Sibener, Nano Lett. 2004, 4, 273.
6. M. P. Stoykovich, M. muller, S. O. Kim, H. H. Solak, E. W. Edwards, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Science 2005, 308, 1442.
7. S. M. Park, M. P. Stoykovich, R. Ruiz, Y. Zhang, C. T. Black, P. F. Nealey, Adv. Mater. 2007, 19, 607.
8. C. T. Black, R. Ruiz, G. Breyta, J. Y. Cheng, M. E. Colburn, K. W. Guarini, H.-C. Kim, Y. Zhang, IBM J. Res. Develop. 2007, 51, 605.
9. R. Ruiz, H. Kang, F. A. Detcheverry, E. Dobisz, D. S. Kercher, T. R. Albrecht, J. J. De Pablo, P. F. Nealey, Science 2008, 321, 936.
10. I. Bita, J. K. W. Yang, Y. S. Jung, C. A. Ross, E. L. Thomas, K. K. Berggren, Science 2008, 321, 939.
11. S. Park, D. H. Lee, J. Xu, B. Kim, S. W. Hong, U. Jeong, T. Xu, T. P. Russell, Science 2009, 323, 1039.
12. J. K. W. Yang, Y. S. Jung, J.-B. Chang, R. A. Mickiewicz, A. Alexnder-Katz, C. A. Ross, K. K. Berggren, Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 256.
13. S. O. Kim, B. H. Kim, D. Meng, D. O. Shin, C. M. Koo, H. H. Solak, Q. Wang, Adv. Mater. 2007, 19, 3271.
14. B. H. Kim, D. O. Shin, S.-J. Jeong, C. M. Koo, S. C. Jeon, W. J. Hwang, S. Lee, M. G. Lee, S. O. Kim, Adv. Mater. 2008, 20, 2303.
15. D. O. Shin, B. H. Kim, J. H. Kang, S.-J. Jeong, S. H. Park, Y.-H. Lee, S. O. Kim, Macromolecules 2009, 42, 1189.
16. D. O. Shin, D. H. Lee, H. S. Moon, S.-J. Jeong, J. Y. Kim, J. H. Mun, H. Cho, S. Park, S. O. Kim, Adv. Funct. Mater. 2011, 21, 250.
17. S.-J. Jeong, J. E. Kim, H.-S. Moon, B. H. Kim, S. M. Kim, J. B. Kim, S. O. Kim, Nano Lett. 2009, 9, 2300.
18. S. H. Park, D. O. Shin, B. H. Kim, D. K. Yoon, K. Kim, S. Y. Lee, S.-H. Oh, S.-W. Choi, S. C. Jeon, S. O. Kim, Soft Matter 2010, 6, 120.
19. S.-J. Jeong, H.-S. Moon, B. H. Kim, J. Y. Kim, J. Yu, S. Lee, M. G. Lee, H. Y. Cho, S. O. Kim, ACS Nano 2010, 4, 5181.
20. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Science 1996, 272, 85.
21. E. A. Costner, M. W. Lin, W.-L. Jen, C. G. Willson, Annu. Rev. Mater. Res. 2009, 39, 155.
22. H.-W. Li, W. T. S. Huck, Nano Lett. 2004, 4, 1633.
23. B. H. Kim, H. M. Lee, J.-H. Lee, S.-W. Son, S.-J. Jeong, S. M. Lee, D. I. Lee, S. W. Kwak, H. W. Jeong, H. J. Shin, J.-B. Yoon, O. D. Lavrentovich, S. O. Kim, Adv. Funct. Mater. 2009, 19, 2584.
24. H.-H. Park, D.-G. Choi, X. Zhang, S. Jeon, S.-J. Park, S.-W. Lee, S. Kim, K. D. Kim, J.-H. Choi, J. Lee, D. K. Yun, K. J. Lee, H.-H. Park, R. H. Hill, J.-H. Jeong, J. Mater. Chem. 2010, 20, 1921.
25. H.-H. Park, X. Zhang, S.-W. Lee, K.-D. Kim, D.-G. Choi, J.-H. Choi, J. Lee, E.-S. Lee, H.-H. Park, R. H. Hill, J.-H. Jeong, J. Mater. Chem. 2011, 21, 657.
26. S. Seraji, Y. Wu, N. E. Jewell-Larson, M. J. Forbess, S. J. Limmer, T. P. Chou, G. Cao, Adv. Mater. 2000, 12, 1421.
27. M. J. Hampton, S. S. Williams, Z. Zhou, J. Nunes, D.-H. Ko, J. L. Templeton, E. T. Samulski, J. M. DeSimone, Adv. Mater. 2008, 20, 2667.
28. S. S. Williams, S. Retterer, R. Lopez, R. Ruiz, E. T. Samulski, J. M. DeSimone, Nano Lett. 2010, 10, 1421.
29. M. A. van Dijk, R. van den Berg, Macromolecules 1995, 28, 6773.
30. M. J. Fasolka, P. Banerjee, A. M. Mayes, G. Pickett, A. C. Balazs, Macromolecules 2000, 33, 5702.
31. A. Knoll, A. Horvat, K. S. Lyakhova, G. Krausch, G. J. A. Sevink, A. V. Zvelindovsky, R. Magerle, Phys. Rev. Lett. 2002, 89, 035501.
32. E. Han, H. Kang, C. Liu, P. F. Nealey, P. Gopalan, Adv. Mater. 2010, 22, 4325.
33. M. W. Matsen, J. Phys.: Condens. Matter. 2002, 14, R21.
34. Y. Wu, G. Cheng, K. Katsov, S. W. Sides, J. Wang, J. Tang, G. H. Fredrickson, M. Moskovits, G. D. Stucky, Nat. Mater. 2004, 3, 816.
35. W. H. Li, R. A. Wickham, Macromolecules 2006, 39, 8492.
36. J. U. Kim, M. W. Matsen, Soft Matter 2009, 5, 2889.
37. N. Li, W. Wu, S.Y. Chou, Nano Lett. 2005, 6, 2626.
38. D. K. Yun, K.-D. Kim, S. Kim, J.-H. Lee, H.-H. Park, J.-H. Jeong, Y.-K. Choi, D.-G. Choi, Nanotechnology 2009, 20, 445305(1).
39. C. T. Black, O. Bezencenet, IEEE Trans. NanoTechnol. 2004, 3, 412.
40. S.-J. Jeong, H. S. Moon, J. H. Shin, B. H. Kim, D. O. Shin, J. Y. Kim, Y. H. Lee, J. U. Kim, S. O. Kim, Nano Lett. 2010, 10, 3500.
41. C.-S. Hong, H.-H. Park, J. Moon, H.-H. Park, Thin Solid Films 2006, 515, 957.
42. R. Drolet, G. H. Fredrickson, Phys. Rev. Lett. 1999, 83, 4317.
43. W. H. Press, S. A. Teukolsky, W. T. Vetterling, Numerical Recipes in C: the Art of Scientific Computing, Cambridge University Press, Cambridge, UK, 1993.
44. J. U. Kim, M. W. Matsen, Macromolecules 2008, 41, 246.
45. J. U. Kim, M. W. Matsen, Macromolecules 2008, 41, 4435.
46. J. Douglas Jr., Numerische Mathematik 1962, 4, 41.