SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Journal of Materials Chemistry

Volumn 21, Issue 38, 2011, Pages 14461-14465

Atomic layer deposition of metal fluorides through oxide chemistry

(4) Putkonen, Matti a,b Szeghalmi, Adriana c Pippel, Eckhard c Knez, Mato c

a Beneq Oy (Finland)

b AALTO UNIVERSITY (Finland)

c MAX PLANCK INSTITUTE OF MICROSTRUCTURE PHYSICS (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC LAYER DEPOSITION; ATOMIC SPECTROSCOPY; ATOMS; CALCIUM; FLUORINE; FLUORINE COMPOUNDS; LANTHANUM OXIDES; MAGNESIUM; METALLIC COMPOUNDS; OZONE; REFRACTIVE INDEX; RUTHERFORD BACKSCATTERING SPECTROSCOPY; STOICHIOMETRY;

DETECTION LIMITS; FILM STOICHIOMETRY; FLUORINE SOURCE; LANTHANUM FLUORIDE; METAL FLUORIDE; METAL PRECURSOR; METAL-OXIDE FORMATION; OXYGEN CONTENT; OXYGEN SOURCES;

METALS;

EID: 81855172289 PISSN: 09599428 EISSN: 13645501 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c1jm11825k Document Type: Article

Times cited : (34)

References (24)

1
- 0028439272
- M. Ylilammi T. Ranta-aho J. Electrochem. Soc. 1994 141 1278
- (1994) J. Electrochem. Soc. , vol.141 , pp. 1278
- Ylilammi, M.¹ Ranta-Aho, T.²

2
- 38349149076
- K. M. Fan C. S. Lai H. K. Peng S. J. Lin C. Y. Lee J. Electrochem. Soc. 2008 155 G51
- (2008) J. Electrochem. Soc. , vol.155 , pp. 51
- Fan, K.M.¹ Lai, C.S.² Peng, H.K.³ Lin, S.J.⁴ Lee, C.Y.⁵

3
- 67149107336
- M. Putkonen T. Sajavaara P. Rahkila L. Xu S. Cheng L. Niinistö H. J. Whitlow Thin Solid Films 2009 517 5819
- (2009) Thin Solid Films , vol.517 , pp. 5819
- Putkonen, M.¹ Sajavaara, T.² Rahkila, P.³ Xu, L.⁴ Cheng, S.⁵ Niinistö, L.⁶ Whitlow, H.J.⁷

4
- 0005354242
- K. Kukli M. Peussa L.-S. Johansson E. Nykänen L. Niinistö Mater. Sci. Forum 1999 315 216
- (1999) Mater. Sci. Forum , vol.315 , pp. 216
- Kukli, K.¹ Peussa, M.² Johansson, L.-S.³ Nykänen, E.⁴ Niinistö, L.⁵

5
- 77951886455
- S. K. Sarkar J. Y. Kim D. N. Goldstein N. R. Neale K. Zhu M. Elliott A. J. Frank S. M. George J. Phys. Chem. C 2010 114 8032
- (2010) J. Phys. Chem. C , vol.114 , pp. 8032
- Sarkar, S.K.¹ Kim, J.Y.² Goldstein, D.N.³ Neale, N.R.⁴ Zhu, K.⁵ Elliott, M.⁶ Frank, A.J.⁷ George, S.M.⁸

6
- 1242298519
- O. Nilsen H. Fjellvåg A. Kjekshus Thin Solid Films 2004 450 240
- (2004) Thin Solid Films , vol.450 , pp. 240
- Nilsen, O.¹ Fjellvåg, H.² Kjekshus, A.³

7
- 33746863663
- J. W. Elam A. B. F. Martinson M. J. Pellin J. T. Hupp Chem. Mater. 2006 18 3571
- (2006) Chem. Mater. , vol.18 , pp. 3571
- Elam, J.W.¹ Martinson, A.B.F.² Pellin, M.J.³ Hupp, J.T.⁴

8
- 36749069552
- T. Pilvi T. Hatanpaa E. Puukilainen K. Arstila M. Bischoff U. Kaiser N. Kaiser M. Leskelä M. Ritala J. Mater. Chem. 2007 17 5077
- (2007) J. Mater. Chem. , vol.17 , pp. 5077
- Pilvi, T.¹ Hatanpaa, T.² Puukilainen, E.³ Arstila, K.⁴ Bischoff, M.⁵ Kaiser, U.⁶ Kaiser, N.⁷ Leskelä, M.⁸ Ritala, M.⁹

9
- 34547325103
- T. Pilvi K. Arstila M. Leskelä M. Ritala Chem. Mater. 2007 19 3387
- (2007) Chem. Mater. , vol.19 , pp. 3387
- Pilvi, T.¹ Arstila, K.² Leskelä, M.³ Ritala, M.⁴

10
- 0001607585
- R. L. Johnson J. Barth M. Cardona D. Fuchs A. M. Bradshaw Rev. Sci. Instrum. 1989 60 2209
- (1989) Rev. Sci. Instrum. , vol.60 , pp. 2209
- Johnson, R.L.¹ Barth, J.² Cardona, M.³ Fuchs, D.⁴ Bradshaw, A.M.⁵

11
- 84943009184
- SIMNRA Simulation Program
- SIMNRA Simulation Program,

12
- 33750811388
- J. W. Elam A. Zinovev C. Y. Han H. H. Wang U. Welp J. N. Hryn M. J. Pellin Thin Solid Films 2006 515 1664
- (2006) Thin Solid Films , vol.515 , pp. 1664
- Elam, J.W.¹ Zinovev, A.² Han, C.Y.³ Wang, H.H.⁴ Welp, U.⁵ Hryn, J.N.⁶ Pellin, M.J.⁷

13
- 0036710283
- J. Huo R. Solanki J. Mater. Res. 2002 17 2394
- (2002) J. Mater. Res. , vol.17 , pp. 2394
- Huo, J.¹ Solanki, R.²

14
- 64549130928
- D. Y. Moon W. S. Kim T. S. Kim B. W. Kang J. W. Park J. Korean Phys. Soc. 2009 54 1330
- (2009) J. Korean Phys. Soc. , vol.54 , pp. 1330
- Moon, D.Y.¹ Kim, W.S.² Kim, T.S.³ Kang, B.W.⁴ Park, J.W.⁵

15
- 70349934313
- D. N. Goldstein S. M. George Appl. Phys. Lett. 2009 95 143106/1
- (2009) Appl. Phys. Lett. , vol.95
- Goldstein, D.N.¹ George, S.M.²

16
- 27544492474
- W. Bontinck Physica 1958 24 650
- (1958) Physica , vol.24 , pp. 650
- Bontinck, W.¹

17
- 84978558119
- D. L. Deadmore J. S. Machin A. W. Allen J. Am. Ceram. Soc. 1961 44 105
- (1961) J. Am. Ceram. Soc. , vol.44 , pp. 105
- Deadmore, D.L.¹ MacHin, J.S.² Allen, A.W.³

18
- 0342374993
- M. Reichling M. Huisinga S. Gogoll C. Barth Surf. Sci. 1999 439 181
- (1999) Surf. Sci. , vol.439 , pp. 181
- Reichling, M.¹ Huisinga, M.² Gogoll, S.³ Barth, C.⁴

19
- 0035897237
- M. Nieminen M. Putkonen L. Niinisto Appl. Surf. Sci. 2001 174 155
- (2001) Appl. Surf. Sci. , vol.174 , pp. 155
- Nieminen, M.¹ Putkonen, M.² Niinisto, L.³

20
- 33847649921
- J. H. Correia A. R. Emadi R. F. Wolffenbuttel ECS Trans. 2006 4 141
- (2006) ECS Trans. , vol.4 , pp. 141
- Correia, J.H.¹ Emadi, A.R.² Wolffenbuttel, R.F.³

21
- 0036603450
- B. von Blackenhagen D. Tanova J. Ullmann Appl. Opt. 2002 41 3137
- (2002) Appl. Opt. , vol.41 , pp. 3137
- Von Blackenhagen, B.¹ Tanova, D.² Ullmann, J.³

22
- 33645322126
- M. Yang A. Gatto N. Kaiser Appl. Opt. 2006 45 1359
- (2006) Appl. Opt. , vol.45 , pp. 1359
- Yang, M.¹ Gatto, A.² Kaiser, N.³

23
- 0030284420
- D. Riihelä M. Ritala R. Matero M. Leskelä Thin Solid Films 1996 289 250
- (1996) Thin Solid Films , vol.289 , pp. 250
- Riihelä, D.¹ Ritala, M.² Matero, R.³ Leskelä, M.⁴

24
- 65249141156
- A. Szeghalmi M. Helgert R. Brunner F. Heyroth U. Gosele M. Knez Appl. Opt. 2009 48 1727
- (2009) Appl. Opt. , vol.48 , pp. 1727
- Szeghalmi, A.¹ Helgert, M.² Brunner, R.³ Heyroth, F.⁴ Gosele, U.⁵ Knez, M.⁶

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.