SU8 diaphragm micropump with monolithically integrated cantilever check valves

Lab on a Chip

Volumn 11, Issue 19, 2011, Pages 3320-3325

  Ezkerra, Aitor ^a   Fernández, Luis José ^a   Mayora, Kepa ^a   Ruano López, Jesús Miguel ^a  

^a IK4 IKERLAN   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARTICLE; CANTILEVER CHECK VALVE; DEVICE; ELECTROPHORESIS; MICROFLUIDICS; POLYMERASE CHAIN REACTION; PRIORITY JOURNAL; PUMP; SU8 DIAPHRAGM MICROPUMP;

EID: 80052530009     PISSN: 14730197     EISSN: 14730189     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c1lc20324j     Document Type: Article

References (59)

1. J. Kang J. V. Mantese G. W. Auner J. Micromech. Microeng. 2008 18 125021
2. L. Cao S. Mantell D. Polla Sens. Actuators, A 2001 94 117 125
3. C. S. Liao G. B. Lee J. J. Wu C. C. Chang T. M. Hsieh F. C. Huang C. H. Luo Biosens. Bioelectron. 2005 20 1341 1348
4. E. Zordan F. Amirouche Y. Zhou Biomed. Microdevices 2010 12 55 62
5. D. J. Laser J. G. Santiago J. Micromech. Microeng. 2004 5 2 R35 64
6. B. D. Iverson S. V. Garimella Microfluid. Nanofluid. 2008 14 145 174
7. L. Chen S. Lee J. Choo E. K. Lee J. Micromech. Microeng. 2008 18 013001
8. Q. Cui C. Liu X. F. Zha Microfluid. Nanofluid. 2007 3 4 377 390
9. I. Izzo D. Accoto A. Menciassi L. Schmitt P. Dario Sens. Actuators, A 2007 133 1 128 140
10. Y. S. Kim J. H. Kim K. H. Na K. Rhee Proc. Inst. Mech. Eng., Part C 2005 219 10 1139 1145
11. A. Doll M. Heinrichs F. Goldschmidtboeing H. J. Schrag U. T. Hopt P. Woias Sens Actuators A 2006 130-131 445 453
12. R. Zengerle, A. Richter, H. Sandmaier, 1992, Procs MEMS, Travemünde (Germany), pp 19-24
13. A. Machauf Y. Nemirovsky U. Dinnar J. Micromech. Microeng. 2005 15 12 2309 2316
14. A. A. Astle H. S. Kim L. P. Bernal K. Najafi P. D. Washabaugh Sens. Actuators, A 2007 134 1 245 256
15. J. H. Kim K. H. Na C. J. Kang Y. S. Kim Sens. Actuators, A 2005 120 2 365 369
16. R. Boden M. Lehto U. Simu G. Thornell K. Hjort J. A. Schweitz Sens. Actuators, A 2006 127 1 88 93
17. D. D. Shin K. P. Mohanchandra G. P. Carman Sens. Actuators, A 2005 119 1 151 156
18. H. J. Zhang C. J. Qiu Mater Sci Eng A 2006 438-440 1106 1109
19. H. T. Chang C. Y. Lee C. Y. Wen Microsyst. Technol. 2007 13 11-12 1615 1622
20. C. Yamahata F. Lacharme Y. Burri M. A. M. Gijs Sens. Actuators, B 2005 110 1 1 7
21. T. Pan S. J. McDonald E. M. Kai B. Ziaie J. Micromech. Microeng. 2005 15 5 1021 1026
22. J. J. Nagel G. Mikhail H. Noh J. Koo Procs. SPIE: Smart Structures and Materials 2006 6172 617213
23. S. Haeberle N. Schmitt R. Zengerle J. Ducree Sens. Actuators, A 2007 135 1 28 33
24. A. Geipel A. Doll P. Jantscheff N. Esser U. Massing P. Woias F. Goldschmidtboeing J. Micromech. Microeng. 2007 17 5 949 959
25. L. S. Jang Y. J. Li S. J. Lin Y. C. Hsu W. S. Yao M. C. Tsai C. C. Hou Biomed. Microdevices 2007 9 2 185 194
26. O. C. Jeong S. W. Park S. S. Yang J. J. Pak Sens. Actuators A 2005 123-124 453 458
27. C. W. Huang S. B. Huang G. B. Lee J. Micromech. Microeng. 2006 16 11 2265 2272
28. J. L. Loverich I. Kanno H. Kotera Lab Chip 2006 6 1147 1154
29. Y. Tanaka K. Morishima T. Shimizu A. Kikuchi M. Yamato T. Okano T. Kitamori Lab Chip 2006 6 362 368
30. J. Ni F. Huang b. Wang B. Li Q. Lin J. Micromech. Microeng. 2011 20 9 095033
31. J. Shao L. Wu J. Wu Y. Zhen H. Zhao Q. Jin J. Zhao Lab Chip 2009 9 3118 3125
32. J. Y. Kim H. Park K. H. Kwon J. Y. Park J. Y. Baek T. S. Lee H. R. Song Y. D. Park S. H. Lee Biomed. Microdevices 2008 10 11 20
33. T. Kofidis A. Lenz J. Boublik P. Akhyari B. Wachsmann K. Mueller-Stahl M. Hofmann A. Haverich Biomaterials 2003 24 5009 2014
34. M. H. Wu S. B. Huang Z. Cui Z. Cui G. B. Lee Biomed. Microdevices 2008 10 309 319
35. M. Agirregabiria F. J. Blanco J. Berganzo M. T. Arroyo K. Mayora J. M. Ruano-Lopez Lab Chip 2005 5 545 552
36. M. Agirregabiria, D. Verdoy, J. Berganzo, L. J. Fernandez, G. Olabarria, J. Berganza, M. Pascual de Zulueta, P. Aldamiz-Echevarria, K. Mayora, J. M. Ruano-López, 2007, Procs. microTAS, 7th-11th October, Paris (France)
37. M. Agirregabiria F. J. Blanco J. Berganzo A. Fullaondo A. M. Zubiaga K. Mayora J. M. Ruano-López Electrophoresis 2006 27 18 3627 3634
38. R. Vilares C. Hunter I. Ugarte I. Aranburu J. Berganzo J. Elizalde L. J. Fernández Sens. Actuators, B 2010 147 411 417
39. A. Ezkerra L. J. Fernández K. Mayora J. M. Ruano-López J. Micromech. Microeng. 2007 17 2264 2271
40. A. Ezkerra L. J. Fernández K. Mayora J. M. Ruano-López Sens. Actuators B 2011 155 2 505 511
41. A. Ezkerra P. A. Wilson K. Mayora J. M. Ruano-López J. Micromech. Microeng. 2008 18 095011
42. L. J. Fernández, M. Tijero Serna, 2007, PCT patent number PXWO00622, 2 Nov
43. J. Kang J. V. Mantese G. W. Auner J. Micromech. Microeng. 2008 18 125021
44. R. Linnemann, P. Woias, C. D. Senfft, J. A. Ditterich, 1998, MEMS'98, (Piscataway, USA)
45. M. Richter R. Linnemann P. Woias Sens. Actuators, A 1998 68 480 486
46. P. Dario N. Croce M. C. Carrozza G. Varallo J. Micromech. Microeng. 1996 6 95 98
47. E. Stemme G. Stemme Sensors and Actuators A 1993 50 81 86
48. A. Olsson G. Stemme E. Stemme Sens. Actuators, A 1995 47 547 556
49. M. Koch N. Harris A. G. R. Evans N. M. White A. Brunnschweiler J. Micromech. Microeng. 1998 8 119 122
50. T. Pan S. J. McDonald E. M. Kai B. Ziaie J. Micromech. Microeng. 2005 15 5 1021 1026
51. C. Grosjean, Y. C. Tai, 1999, Proc. Transducers, Sendai (Japan)
52. M. A. Unger H. P. Chou T. Thorsen A. Scherer S. R. Quake Science 2000 288 113 116
53. J. M. Berg Sens. Actuators, A 2003 104 6 10
54. E. Meng, X. Q. Wang, H. Mak, Y. C. Tay, 2000, MEMS'00, pp. 62-67
55. W. Inman K. Domansky J. Serdy B. Owens D. Trumper L. G. Griffith J. Micromech. Microeng. 2007 17 5 891 899
56. P. Rapp W. K. Schomburg D. Maas J. Schulz W. Stark Sens. Actuators, A 1994 40 57 61
57. W. H. Grover A. M. Skelley C. N. Liu E. T. Lagally R. A. Mathie Sens. Actuators, B 2003 89 315 323
58. L. S. Jang Y. C. Yu Microsyst. Technol. 2008 14 241 248
59. EP11382112.8 Núcleo de Impulsión para Microbomba de Fluidos, 2011, Ikerlan S. Coop., Fundació Privada Institut de Reerca Biomédica