Sub-10-nm nanochannels by self-sealing and self-limiting atomic layer deposition

Nano Letters

Volumn 10, Issue 9, 2010, Pages 3324-3329

  Nam, Sung Wook ^a,c   Lee, Min Hyun ^a   Lee, Seung Hyun ^a   Lee, Do Joong ^a   Rossnagel, S M ^b   Kim, Ki Bum ^a  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b IBM T J WATSON RESEARCH CENTER   (United States)

^c UNIVERSITY OF PENNSYLVANIA   (United States)

Author keywords

Atomic layer deposition; Electrofluidics; Nanochannel; Nanofluidics

Indexed keywords

CHANNEL DIAMETERS; CIRCUIT SYSTEMS; ELECTROFLUIDICS; FABRICATION METHOD; FILM STRUCTURE; FUNCTIONAL ELEMENTS; HIGH-K DIELECTRIC; NANO CHANNELS;

DEPOSITION; FABRICATION; FIELD EFFECT TRANSISTORS; NANOFLUIDICS; RUTHENIUM; TITANIUM DIOXIDE;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 79957797025     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl100999e     Document Type: Article

References (39)

1. Craighead, H. Nature 2006, 442, 387.
2. Siwy, Z.; Heins, E.; Harrell, C. C.; Kohli, P.; Martin, C. R. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 10850.
3. Schoch, R. B.; Han, J. Y.; Renaud, P. Rev. Med. Phys. 2008, 80, 839.
4. Karnik, R.; Fan, R.; Yue, M.; Li, D. Y.; Yang, P. D.; Majumdar, A. Nano Lett. 2005, 5, 943.
5. Stein, D.; Kruithof, M.; Dekker, C. Phys. Rev. Lett. 2004, 93, No. 035901.
6. Polonsky, S.; Rossnagel, S.; Stolovitzky, G. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 153103.
7. Wu, D. P.; Steckl, A. J. Lab Chip 2009, 9, 1890.
8. Jiang, Z.; Stein, D. Langmuir 2010, 26, 8161.
9. DeRocher, J. P.; Mao, P.; Han, J. Y.; Rubner, M. F.; Cohen, R. E. Macromolecules 2010, 43, 2430.
10. Li, J.; Stein, D.; McMullan, C; Branton, D.; Aziz, M. J.; Golovchenko, J. A. Nature 2001, 412, 166.
11. Dekker, C. Nat. Nanotechnol. 2007, 2, 209.
12. Liang, X. G.; Chou, S. Y. Nano Lett. 2008, 8, 1472.
13. Turner, S. W. P.; Cabodi, M.; Craighead, H. G. Phys. Rev. Lett. 2002, 88, 128103.
14. Clarke, J.; Wu, H. C.; Jayasinghe, L.; Patel, A.; Reid, S.; Bayley, H. Nat. Nanotechnol. 2009, 4, 265.
15. Sigalov, G.; Comer, J.; Timp, G.; Aksimentiev, A. Nano Lett. 2008, 8, 56.
16. Eid, J.; Fehr, A.; Gray.J.; Luong, K.; Lyle, J.; Otto, G.; Peluso, P.; Rank, D.; Baybayan, P.; Bettman, B.; Bibillo, A.; Bjornson, K.; Chaudhuri, B.; Christians, F.; Cicero, R.; Clark, S.; Dalal, R.; Dewinter, A.; Dixon, J.; Foquet, M.; Gaertner, A.; Hardenbol, P.; Heiner, C.; Hester, K.; Holden, D.; Kearns, G.; Kong, X. X.; Kuse, R.; Lacroix, Y.; Lin, S.; Lundquist, P.; Ma, C. C.; Marks, P.; Maxham, M.; Murphy, D.; Park, L; Pham, T.; Phillips, M.; Roy, J.; Sebra, R.; Shen, G.; Sorenson, J.; Tomaney, A.; Travers, K; Trulson, M.; Vieceli, J.; Wegener, J.; Wu, D.; Yang, A.; Zaccarin, D.; Zhao, P.; Zhong, F.; Korlach, J.; Turner, S. Science 2009, 323, 133.
17. Keyser, U. F.; Koeleman, B. N.; Van Dorp, S.; Krapf, D.; Smeets, R. M. M.; Lemay, S. G.; Dekker, N. H.; Dekker, C. Nat. Phys. 2006, 2, 473.
18. Peng, H. B.; Ling, X. S. S. Nanotechnology 2009, 20, 185101.
19. Service, R. F. Science 2006, 311, 1544.
20. Stern, E.; Klemic, J. F.; Routenberg, D. A.; Wyrembak, P. N.; Turner-Evans, D. B.; Hamilton, A. D.; LaVan, D. A.; Fahmy, T. M.; Reed, M. A. Nature 2007, 445, 519.
21. Li, Z.; Chen, Y.; Li, X.; Kamins, T. L; Nauka, K.; Williams, R. S. Nano Lett. 2004, 4, 245.
22. Nam, S. W.; Rooks, M. J.; Kim, K. B.; Rossnagel, S. M. Nano Lett. 2009, 9, 2044.
23. Fan, R.; Huh, S.; Yan, R.; Arnold, J.; Yang, P. D. Nat. Mater. 2008, 7, 303.
24. Vlassiouk, I.; Siwy, Z. S. Nano Lett. 2007, 7, 552.
25. Kalman, E. B.; Vlassiouk, I.; Siwy, Z. S. Adv. Mater. 2008, 20, 293.
26. Cheng, L. J.; Guo, L. J. ACS Nano 2009, 3, 575.
27. Levy, S. L.; Craighead, H. G. Chem. Soc. Rev. 2010, 39, 1133.
28. Siwy, Z. S.; Howorka, S. Chem. Soc. Rev. 2010, 39, 1115.
29. Bocquet, L.; Charlaix, E. Chem. Soc. Rev. 2010, 39, 1073.
30. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Science 1996, 272, 85.
31. Lee, H. S.; Kim, B. S.; Kim, H. M.; Wi, J. S.; Nam, S. W.; Jin, K. B.; Arai, Y.; Kim, K. B. Adv. Mater. 2007, 19, 4189.
32. Yang, J. K. W.; Cord, B.; Duan, H. G.; Berggren, K. K.; Klingfus, J.; Nam, S. W.; Kim, K. B.; Rooks, M. J. J. Vac. Sci. Technol., B 2009, 27, 2622.
33. Storm, A. J.; Chen, J. H.; Ling, X. S.; Zandbergen, H. W.; Dekker, C. Nat. Mater. 2003, 2, 537.
34. Fischbein, M. D.; Drndic, M. Nano Lett. 2007, 7, 1329.
35. Chou, S. Y.; Xia, Q. F. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 295.
36. Xia, Q. F.; Morton, K.J.; Austin, R. H.; Chou, S. Y. NanoLett. 2008, 8, 3830.
37. Kim, S. K.; Choi, G. J.; Lee, S. Y.; Seo, M.; Lee, S. W.; Han, J. H.; Ahn, H. S.; Han, S.; Hwang, C. S. Adv. Mater. 2008, 20, 1429.
38. Lee, D. J.; Yim, S. S.; Kim, K. S.; Kim, S. H.; Kim, K. B. J. Appl. Phys. 2010, 107, No. 013707.
39. Taur, Y. IBM J. Res. Dev. 2002, 46, 213.