Sub-10 nm self-enclosed self-limited nanofluidic channel arrays

Nano Letters

Volumn 8, Issue 11, 2008, Pages 3830-3833

  Xia, Qiangfei ^a   Morton, Keith J ^a   Austin, Robert H ^b   Chou, Stephen Y ^a  

^a Princeton University   (United States)

^b PRINCETON UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHANNEL SIZES; CHANNEL WIDTHS; DNA MOLECULES; NANO-IMPRINT LITHOGRAPHIES; NANO-SCALE; NANOFLUIDIC CHANNELS; SELF LIMITEDS; THERMAL OXIDATIONS; ULTRAFAST LASER PULSE;

NANOIMPRINT LITHOGRAPHY; NUCLEIC ACIDS; PULSED LASER APPLICATIONS; ULTRAFAST PHENOMENA;

NANOFLUIDICS;

DNA; NANOMATERIAL; SILICON DIOXIDE;

ARTICLE; CHEMISTRY; METHODOLOGY; MICROARRAY ANALYSIS; OXIDATION REDUCTION REACTION; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; TEMPERATURE; TRANSITION TEMPERATURE; ULTRASTRUCTURE;

DNA; MICROARRAY ANALYSIS; MICROSCOPY, ELECTRON, SCANNING; NANOSTRUCTURES; OXIDATION-REDUCTION; SILICON DIOXIDE; TEMPERATURE; TRANSITION TEMPERATURE;

EID: 58149308805     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl802219b     Document Type: Article

References (27)

1. Austin, R. H.; Brody, J. P.; Cox, E. C.; Duke, T.; Volkmuth, W. Phys. Today 1997, 50, 32-38.
2. Austin, R. H.; Tegenfeldt, J. O.; Cao, H.; Chou, S. Y.; Cox, E. C. IEEE Trans. Nanotechnol 2002, 1, 12-18.
3. Harnett, C. K.; Coates, G. W.; Craighead, H. G. J. Vac. Sci. Technol., B 2001, 19, 2842-2845.
4. Asoh, H.; Nishio, K.; Nakao, M.; Yokoo, A.; Tamamura, T.; Masuda, H. J. Vac. Sci. Technol., B 2001, 19, 569-572.
5. Cannon, D. M.; Flachsbart, B. R.; Shannon, M. A.; Sweedler, J. V.; Bohn, P. W. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 1241-1243.
6. O'Brien, M. J., II; Bisong, P.; Ista, L. K.; Rabinovich, E. M. J. Vac. Sci Technol., B 2003, 21, 2941-2945.
7. Cao, H.; Yu, Z.; Wang, J.; Tegenfeldt, J. O.; Austin, R. H. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 174-176.
8. Guo, L. J.; Cheng, X.; Chou, C. F. Nano Lett. 2004, 4, 69-73.
9. Reisner, W.; Morton, K. J.; Riehn, R.; Wang, Y. M.; Yu, Z.; Rosen, M.; Sturm, J. C.; Chou, S. Y.; Frey, E.; Austin, R. H. Phys. Rev. Lett. 2005, 94, 196101.
10. Liang, X.; Morton, K. J.; Austin, R. H.; Chou, S. Y. Nano Lett. 2007, 7, 3774-3780.
11. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114-3116.
12. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Renstrom, P. J. Science 1996, 272, 85-87.
13. Chou, S. Y.; Krauss, P. R.; Zhang, W.; Guo, L. J.; Zhuang, L. J. Vac. Sci. Technol., B 1997, 15, 2897-2904.
14. Chou, H. P.; Spence, C.; Scherer, A.; Quake, S. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 1999, 96, 11-13.
15. Stjernstrom, M.; Roeraade, J. J. Micromech. Microeng. 1998, 8, 33-38.
16. Li, W. L.; Tegenfeldt, J. O.; Chen, L.; Austin, R. H.; Chou, S. Y.; Kohl, P. A.; Krotine, J.; Sturm, J. C. Nanotechnology 2003, 14, 578-583.
17. Turner, S. W.; Perez, A. M.; Lopez, A.; Craighead, H. G. J. Vac. Sci. Technol, B 1998, 16, 3835-3840.
18. Chou, S. Y.; Keimel, C.; Gu, J. Nature 2002, 417, 835-837.
19. Chou, S. Y.; Xia, Q. F. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 295-300.
20. Auston, D. H.; Golovchenko, J. A.; Simons, A. L.; Surko, C. M.; Venkatesan, T. N. C. Appl. Phys. Lett. 1979, 34, 777-779.
21. Liu, H. I.; Biegelsen, D. K.; Johnson, N. M.; Ponce, F. A.; Pease, R. F. W. J. Vac. Sci. Technol., B 1993, 11, 2532-2537.
22. Liu, H. I.; Biegelsen, D. K.; Ponce, F. A.; Johnson, N. M.; Pease, R. F. W. Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1383-1385.
23. Smith, D. E.; Perkins, T. T.; Chu, S. Macromolecules 1996, 29, 1372-1373.
24. Stein, D.; van der Heyden, F. H. J.; Koopmans, W. J. A.; Dekker, C. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2006, 103, 15853-15858.
25. Tegenfeldt, J. O.; Prinz, C.; Cao, H.; Chou, S.; Reisner, W. W.; Riehn, R.; Wang, Y. M.; Cox, E. C.; Sturm, J. C.; Silberzan, P.; Austin, R. H. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2004, 101, 10979-10983.
26. McLachlan, A. D.; Meyer, F. P. Appl. Opt. 1987, 26, 1728-1731.
27. Armani, D. K.; Kippenberg, T. J.; Spillane, S. M.; Vahala, K. J. Nature 2003, 421, 925-928.