Sub-10 nm device fabrication in a transmission electron microscope

Nano Letters

Volumn 7, Issue 5, 2007, Pages 1329-1337

  Fischbein, Michael D ^a   Drndić, Marija ^a  

^a UNIVERSITY OF PENNSYLVANIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

NANOCHANNELS; NANODISCS; NANOISLANDS;

HIGH RESOLUTION TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; INSULATING MATERIALS; MEMBRANES; METALLIC FILMS; NANOELECTRONICS; NANOFLUIDICS;

NANOSTRUCTURES;

EID: 34249651350     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl0703626     Document Type: Article

References (55)

1. Werner, W. S. M.; Tomastik, C.; Cabela, T.; Richter, G.; Störi, H. Surf. Sci. 2000, 470, L123.
2. Gurney, B. A.; Speriosu, V. S.; Nozieres, J.-P.; Lefakis, H.; Wilhoit, D. R.; Need, O. U. Phys. Rev. Lett. 1993, 13, 4023.
3. Bezryadin, A.; Lau, C. N.; Tinkham, M. Nature 2000, 404, 971.
4. Lau, C. N.; Markovic, N.; Bockrath, M.; Bezryadin, A.; Tinkham, M. Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 217003.
5. Zgirski, M.; Riikonen, K.-P.; Toubloltsev, V.; Arutyunov, K. Nano Lett. 2005, 5, 1029.
6. Beenakker, C. W. J.; van Houten, H. Phys. Rev. Lett. 1991, 66, 3056.
7. Tas, N. R.; Haneveld, J.; Jansen, H. V.; Elwenspoek, M.; van den Berg, A. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 3274.
8. Tan, H.-S.; Piletic, I. R.; Riter, R. E.; Levinger, N. E.; Fayer, M. D. Phys. Rev. Lett. 2005, 94, 057405.
9. Austin, R. H.; Tegenfeldt, J. O.; Cao, H.; Chou, S. Y.; Cox, E. C. IEEE Trans. Nanotechnol. 2002, 1, 12.
10. Cherns, D Philos. Mag. 1977, 36, 1429.
11. Cherns, D. Surf. Sci. 1979, 70, 339.
12. Cherns, D.; Hutchison, J. L.; Jenkins, M. L.; Hirsch, P. B. Nature 1980, 287, 314.
13. Isaacson, M.; Murray, A. J. Vac. Sci. Technol. 1981, 19, 1117.
14. Mochel, M. E.; Eades, J. A.; Metzger, M.; Meyer, J. I.; Mochel, J. M. Appl. Phys. Lett. 1984, 44, 502.
15. Mochel, M. E.; Humphreys, C. J.; Eades, J. A.; Mochel, J. M.; Petford, A. M. Appl. Phys. Lett. 1983, 42, 392.
16. Salisbury, I. G.; Timsit, R. S.; Berger, S. D.; Humphreys, C. J. Appl. Phys. Lett. 1984, 45, 1289.
17. Takeda, S.; Koto, K.; Iijima, S.; Ichihashi, T. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 2994.
18. Bysakh, S.; Shimojo, M.; Mitsuishi, K.; Furuya, K. J. Vac. Sci. Technol., B 2004, 22, 2620.
19. Storm, A. J.; Chen, J. H.; Ling, X. S.; Zandbergen, H. W.; Dekker, C. Nat. Mater. 2003, 2, 537.
20. Heng, J. B.; Ho, C.; Kim, T.; Timp, R.; Aksimentiev, A.; Grinkova, Y. V.; Sligar, S.; Schulten, K.; Timp, G. Biophys. J. 2004, 87, 2905.
21. Wu, M.-Y.; Krapf, D.; Zandbergen, M.; Zandbergen, H.; Batson, P. E. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 1131061.
22. Kizuka, T. Phys. Rev. Lett. 1998, 81, 4448.
23. Iijima, S.; Ichihashi, T. Phys. Rev. Lett. 1986, 56, 616.
24. Kondo, Y.; Takayanagi, K. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 3455.
25. Lee, J.-G.; Lee, J.; Tanaka, T.; Mori, H. Phys. Rev. Lett. 2006, 96, 075504.
26. Yokota, T. Murayama, M.; Howe, J. M. Phys. Rev. Lett. 2003, 91, 265504.
27. Hiraki, J.; Mori, H.; Taguchi, E.; Yasuda, H.; Kinoshita, H.; Ohmae, N. App. Phys. Lett. 2005, 86, 223101.
28. Chen, G. S.; Boothroyd, C. B.; Humphreys, C. J. Appl. Phys. Lett. 1993, 62,1949.
29. Zandbergen, H. W.; van Duuren, R. J. A.; Alkemade, P. F. A.; Lientschnig, G.; Vasquez, O.; Dekker, C.; Tichelaar, F. D. Nano Lett. 2005, 5, 549.
30. Terrones, M.; Bannart, F.; Grobert, N.; Charlier, J.-C.; Terrones, H.; Ajayan, P. M. Phys. Rev. Lett. 2002, 89, 075505.
31. Xu, S.; Tian, M.; Wang, J.; Xu, J.; Redwing, J. M.; Chan, M. H. W. Small 2005, 1, 1221.
32. Remeika, M.; Bezryadin, A. Nanotechnology 2005, 16, 1172.
33. Grant, A. W.; Hu, Q.-H.; Kasemo, B. Nanotechnology 2004, 15, 1175.
34. 35
35. Ma, T. P IEEE Trans. Electron. Devices 1998, 45, 680.
36. Broers, A.N. IBM. J. Res. Dev. 1998, 32, 502.
37. Fischbein, M. D.; Drndić, M. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 063116.
38. Lee, C. S.; Lee, H.;Westervelt, R. M. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 3308.
39. Drndic, M.; Johnson, K. S.; Thywissen, J. H.; Prentiss, M.; Westervelt, R. M. Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 2906.
40. Reichel, J. Sci. Am. 2005, 262, 46.
41. Leanhardt, A. E.; Shin, Y.; Chikkatur, A. P.; Kielpinski, D.; Ketterle, W. Phys. Rev. Lett. 2003, 90, 100404.
42. Dekker, N. H.; Lee, C. S.; Lorent, V.; Thywissen, J. H.; Smith, S. P.; Drndic, M.; Westervelt, R. M.; Prentiss, M. Phys. Rev. Lett. 2000, 84, 1124.
43. Ott, H.; Fortagh, J.; Schlotterbeck, G.; Grossmann, A.; Zimmermann, C. Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 230401.
44. Hansel, W.; Hommelhoff, P.; Hansch, T. W.; Reichel, J. Nature 2001, 413, 498.
45. Schumm, T.; Hofferberth, S.; Andersson, L. M.; Wildermuth, W.; Groth, S.; Bar-Joseph, I.; Schmiedmayer, J.; Kureger, P. Nat. Phys. 2005, 1, 57.
46. Natelson, D.; Willet, R. L.; West, K. W.; Pfeiffer, L. N. Solid-State Commun. 2000, 115, 269.
47. Li, J.; Stein, D.; McMullan, D.; Branton, E.; Aziz, M. J.; Golovchenko, J. A. Nature 2001, 412, 166.
48. Bezrukov, S. M.; Vodyanoy, I.; Parsegian, V. A. Nature 2004, 370, 279.
49. Meller, A.; Nivon, L.; Branton, D. Phys. Rev. Lett. 2001, 86, 3435.
50. Li, J.; Gershow, M.; Stein, D.; Brandin, E.; Golovchenko, J. A. Nat. Mater. 2003, 2, 611.
51. Kasianowicz, J. J.; Brandin, E.; Branton, D.; Deamer, D. W. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 1996, 93, 13770.
52. Storm, A. J.; Storm, C.; Chen, J.; Zandbergen, H.; Joanny, J.-F.; Dekker, C. Nano Lett. 2005, 5, 1193.
53. Vercoutere, W.; Winters-Hilt, S.; Olsen, H.; Deamer, D.; Haussler, D.; Akeson, M. Nat. Biotechnol. 2001, 19, 248.
54. King, G. M.; Golovchenko, J. A. Phys. Rev. Lett. 2005, 95, 2161031.
55. Lagerqvist, J.; Zwolak, M.; Di Ventra, M. Nano Lett. 2006, 6, 779.