Mass analysis of growth of AL 2O 3 thin films from low-temperature atomic layer deposition on woven cotton

Chemical Vapor Deposition

Volumn 16, Issue 7-9, 2010, Pages 248-253

  Hojo, Daisuke ^a   Adschiri, Tadafumi ^a  

^a TOHOKU UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

Aluminum oxide; Atomic layer deposition; Conformal coatings; Cotton; Three dimensional structures

Indexed keywords

3D OBJECT; ALUMINUM OXIDES; ATOMIC LAYER; COMPLEX SURFACE; CONFORMAL COATINGS; EARLY GROWTH; LOW TEMPERATURES; MASS ANALYSIS; NONLOCAL; QUANTITATIVE ANALYSIS; THIN COATING; THREE-DIMENSIONAL (3D) NETWORKS; THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE; UNIQUE FEATURES; WOVEN STRUCTURE;

ALUMINUM; ATOMIC LAYER DEPOSITION; ATOMS; COATINGS; COTTON; DEPOSITION; OXIDES; THREE DIMENSIONAL; WEAVING;

ALUMINUM COATINGS;

EID: 77956424679     PISSN: 09481907     EISSN: 15213862     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/cvde.201006854     Document Type: Article

References (33)

1. H. Kim, H.-B.-R. Lee, W.-J. Maeng, Thin Solid Films 2009, 517, 2563.
2. B. Min, J. S. Lee, J. W. Hwang, K. H. Keem, M. I. Kang, K. Cho, M. Y. Sung, S. Kim, M.-S. Lee, S. O. Park, J. T. Moon, J. Cryst. Growth 2003, 252, 565.
3. J. S. Lee, B. Min, K. Cho, S. Kim, J. Park, Y. T. Lee, N. S. Kim, M. S. Lee, S. O. Park, J. T. Moon, J. Cryst. Growth 2003, 254, 443.
4. D. B. Farmer, R. G. Gordon, Nano Lett. 2006, 6, 699.
5. Y.-S. Min, E. J. Bae, K. S. Jeong, Y. J. Cho, J.-H. Lee, W. B. Choi, G.-S. Park, Adv. Mater. 2003, 15, 1019.
6. C.-C. Wang, C.-C. Kei, Y.-W. Yu, T.-P. Perng, Nano Lett. 2007, 7, 1566.
7. H. W. Kim, S. H. Shim, Appl. Surf. Sci. 2006, 253, 510.
8. M. Daub, M. Knez, U. Gösele, K. Nielsch, J. Appl. Phys. 2007, 101, 09J111.
9. L. F. Hakim, J. A. McCormick, G.-D. Zhan, A. W. Weimer, J. Am. Ceram. Soc. 2006, 89, 3070.
10. C. A. Wilson, R. K. Grubbs, S. M. George, Chem. Mater. 2005, 17, 5625.
11. M. Kemell, V. Pore, M. Ritala, M. Leskelä, M. Lindén, J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 14178.
12. G. K. Hyde, K. J. Park, S. M. Stewart, J. P. Hinestroza, G. N. Parsons, Langmuir 2007, 23, 9844.
13. G. Scarel, G. K. Hyde, D. Hojo, G. N. Parsons, J. Appl. Phys. 2008, 104, 094314.
14. G. K. Hyde, G. Scarel, J. C. Spagnola, Q. Peng, K. Lee, B. Gong, K. G. Roberts, K. M. Roth, C. A. Hanson, C. K. Devine, M. Stewart, D. Hojo, J.-S. Na, J. S. Jur, G. N. Parsons, Langmuir 2010, 26, 2550.
15. Q. Peng, X.-Y. Sun, J. C. Spagnola, G. K. Hyde, R. J. Spontak, G. N. Parsons, Nano Lett. 2007, 7, 719.
16. T. F. Baumann, J. Biener, Y. M. M. Wang, S. O. Kucheyev, E. J. Nelson, J. H. Satcher, J. W. Elam, M. J. Pellin, A. V. Hamza, Chem. Mater. 2006, 18, 6106.
17. J. W. Elam, J. A. Libera, M. J. Pellin, A. V. Zinovev, J. P. Greene, J. A. Nolen, Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 053124.
18. Y. Zhang, M. L. Dunn, K. Gall, J. W. Elam, S. M. George, J. Appl. Phys. 2004, 95, 8216.
19. T. M. Mayer, J. W. Elam, S. M. George, P. G. Kotula, R. S. Goeke, Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 2883.
20. T. Watanabe, S. Hoffmann-Eifert, S. Mi, C. Jia, R. Waser, J. Appl. Phys. 2007, 101, 014114.
21. M. K. Tripp, C. Stampfer, D. C. Miller, T. Helbling, C. F. Herrmann, C. Hierold, K. Gall, S. M. George, V. M. Bright, Sens. Actuators A 2006, 130-131, 419.
22. R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 2004, 95, 4777.
23. R. L. Puurunen, W. Vandervorst, J. Appl. Phys. 2004, 96, 7686.
24. R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 2005, 97, 121301.
25. R. Matero, A. Rahtu, M. Ritala, M. Leskelä, T. Sajavaara, Thin Solid Films 2000, 368, 1.
26. L. G. Gosset, J.-F. Damlencourt, O. Renault, D. Rouchon, P. Holliger, A. Ermolieff, I. Trimaille, J.-J. Ganem, F. Martin, M.-N. Séméria, J. Non-Cryst. Solids 2002, 303, 17.
27. M. D. Groner, F. H. Fabreguette, J. W. Elam, S. M. George, Chem. Mater. 2004, 16, 639.
28. Y. Dong, Z. Bai, R. Liu, T. Zhu, Atmos. Environ. 2007, 41, 3182.
29. J. W. Weaver, Analytical Methods for a Textile Laboratory, AATCC, Research Triangle Park, NC 1984, pp. 300-301.
30. S. Cava, S. M. Tebcherani, S. A. Pianaro, C. A. Paskocimas, E. Longo, J. A. Varela, Mater. Chem. Phys. 2006, 97, 102.
31. S. Ito, N. Umehara, H. Takata, T. Fujii, Solid State Ionics 2004, 172, 403.
32. Z. Q. Yang, L. L. He, Z. X. Jin, H. Q. Ye, J. Phys.: Condens. Matter. 2001, 13, 8475.
33. V. V. Hoang, S. K. Oh, J. Phys.: Condens. Matter. 2005, 17, 3025.