Atomic layer deposition of W on nanoporous carbon aerogels

Applied Physics Letters

Volumn 89, Issue 5, 2006, Pages

  Elam, J W ^a   Libera, J A ^a   Pellin, M J ^a   Zinovev, A V ^a   Greene, J P ^a   Nolen, J A ^a  

^a ARGONNE NATIONAL LABORATORY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC LAYER DEPOSITION (ALD); CARBON AEROGELS; NANOPOROUS MATERIALS; SURFACE AREA MATERIALS;

ASPECT RATIO; CARBON; COATING TECHNIQUES; DEPOSITION; POROUS MATERIALS;

AEROGELS;

EID: 33748445736     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2245216     Document Type: Article

References (33)

1. S. Berthon-Fabry, D. Langohr, P. Achard, D. Charrier, D. Djurado, and F. Ehrburger-Dolle, J. Non-Cryst. Solids 350, 136 (2004).
2. Bock, O. Nilsson, J. Blumm, and J. Fricke, J. Non-Cryst. Solids 185, 233 (1995).
3. J. Gross and J. Fricke, J. Non-Cryst. Solids 186, 301 (1995).
4. T. Horikawa, J. I. Hayashi, and K. Muroyama, Carbon 42, 169 (2004).
5. F. M. Kong, J. D. LeMay, S. S. Hulsey, C. T. Alviso, and R. W. Pekala, J. Mater. Res. 8, 3100 (1993).
6. W.-C. Li, A.-H. Lu, and S.-C. Guo, J. Colloid Interface Sci. 254, 153 (2002).
7. G. Reichenauer, A. Emmerling, J. Fricke, and R. W. Pekala, J. Non-Cryst. Solids 225, 210 (1998).
8. D. Wu, R. Fu, Z. Sun, and Z. Yu, J. Non-Cryst. Solids 351, 915 (2005).
9. R. Zhang, Y. Lue, Q. Meng, L. Zhan, G. Wu, K. Li, and L. Ling, J. Porous Mater. 10, 57 (2003).
10. S. J. Kim, S. W. Hwang, and S. H. Hyun, J. Mater. Sci. 40, 725 (2005).
11. N. Yoshizawa, H. Hatori, Y. Soneda, Y. Hanzawa, K. Kaneko, and M. S. Dresselhaus, J. Non-Cryst. Solids 330, 99 (2003).
12. S.-W. Hwang and S.-H. Hyun, J. Non-Cryst. Solids 347, 238 (2004).
13. T. F. Baumann, G. A. Fox, J. H. Satcher, Jr., N. Yoshizawa, R. Fu, and M. S. Dresselhaus, Langmuir 18, 7073 (2002).
14. R. Fu, T. F. Baumann, S. Cronin, G. Dresselhaus, M. S. Dresselhaus, and J. H. Satcher, Jr., Langmuir 21, 2647 (2005).
15. F. J. Maldonado-Hodar, C. Moreno-Castilla, and A. F. Perez-Cadenas, Appl. Catal., B 54, 217 (2004).
16. C. Moreno-Castilla, F. J. Maldonado-Hodar, and A. F. Perez-Cadenas, Langmuir 19, 5650 (2003).
17. S. Lukic, F. Gevaert, A. Kelic, M. V. Ricciardi, K. H. Schmidt, and O. Yordanov, Los Alamos National Laboratory, Report No. nucl-ex/0601031, 2006 (unpublished).
18. T. Fritioff, J. Cederkaell, L. Weissman, C. J. Barton, K. A. Connell, D. Duniec, O. Kester, T. Lamy, T. Nilsson, P. Jardin, P. Sortais, and G. Transtroemer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A 556, 31 (2006).
19. U. Koster, T. Behrens, C. Clausen, P. Delahaye, V. N. Fedoseyev, L. M. Fraile, R. Gernhuuser, T. J. Giles, A. Ionan, T. Kroll, H. Mach, B. Marsh, M. Seliverstov, T. Sieber, E. Siesling, E. Tengborn, F. Wenander, and J. Van de Walle, CERN-EP/2005-033, 2005 (unpublished).
20. M. Ritala and M. Leskelä, Handbook of Thin Film Materials edited by H. S. Nalwa (Academic, San Diego, CA, 2001), Vol. 1, p. 103.
21. J. Elam, D. Routkevitch, P. Mardilovich, and S. George, Chem. Mater. 15, 3507 (2003).
22. M. J. Pellin, P. C. Stair, G. Xiong, J. W. Elam, J. Birell, L. Curtiss, S. M. George, C. Y. Han, L. Iton, H. Kung, M. Kung, and H.-H. Wang, Catal. Lett. 102, 127 (2005).
23. S. O. Kucheyev, J. Biener, Y. M. Wang, T. F. Baumann, K. J. Wu, T. van Buuren, A. V. Hamza, J. H. Satcher, Jr., J. W. Elam, and M. J. Pellin, Appl. Phys. Lett. 86, 083108 (2005).
24. A. Johansson, J. Lu, J. O. Carlsson, and M. Boman, J. Appl. Phys. 96, 5189 (2004).
25. A. Johansson, T. Torndahl, L. M. Ottosson, M. Boman, and J. O. Carlsson, Mater. Sci. Eng., C 23, 823 (2003).
26. J. W. Elam, C. E. Nelson, R. K. Grubbs, and S. M. George, Thin Solid Films 386, 41 (2001).
27. J. W. Klaus, S. Ferro, and S. M. George, Thin Solid Films 360, 145 (2000).
28. J. W. Elam, C. E. Nelson, R. K. Grubbs, and S. M. George, Surf. Sci. 479, 121 (2001).
29. R. K. Grubbs, C. E. Nelson, N. J. Steinmetz, and S. M. George, Thin Solid Films 467, 16 (2004).
30. Z. A. Sechrist, F. H. Fabreguette, O. Heintz, T. M. Phung, D. C. Johnson, and S. M. George, Chem. Mater. 17, 3475 (2005).
31. F. H. Fabreguette, Z. A. Sechrist, J. W. Elam, and S. M. George, Thin Solid Films 488, 103 (2005).
32. J. Elam, M. Groner, and S. George, Rev. Sci. Instrum. 73, 2981 (2002).
33. S. Lowell and J. E. Shields, Powder Surface Area and Porosity (Chapman and Hall, New York, 1991), p. 14.