High-throughput nanofabrication of infrared plasmonic nanoantenna arrays for vibrational nanospectroscopy

Nano Letters

Volumn 10, Issue 7, 2010, Pages 2511-2518

  Aksu, Serap ^a,b   Yanik, Ahmet A ^a,b   Adato, Ronen ^a,b   Artar, Alp ^a,b   Huang, Min ^a,b   Altug, Hatice ^a,b  

^a Boston University   (United States)

^b BOSTON UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

Infrared spectroscopy; Nanostencil lithography; Near field enhancement; Optical nanoantennas; Shadow mask; Surface plasmons

Indexed keywords

NANOANTENNAS; NANOSTENCIL LITHOGRAPHY; NANOSTENCILS; NEAR-FIELD ENHANCEMENT; SHADOW MASK; SURFACE PLASMONS;

ANTENNA ARRAYS; ELECTRON BEAMS; FABRICATION; LITHOGRAPHY; NANOPHOTONICS; NANORODS; PLASMONS; REUSABILITY; SUBSTRATES; THROUGHPUT;

INFRARED SPECTROSCOPY;

EID: 77955331450     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl101042a     Document Type: Article

References (53)

1. Ozbay, E. Science 2006, 311, 189-193
2. Maier, S. Plasmonics: Fundamentals and Applications; Springer: New York, 2007
3. Zia, R.; Schuller, J. A.; Brongersma, M. L. Mater. Today 2006, 9, 20-27
4. Barnes, W. L.; Dereux, A.; Ebbesen, T. W. Nature 2003, 424, 824-830
5. Lal, S.; Link, S.; Halas, N. J. Nat. Photonics 2007, 1, 641-648
6. Artar, A.; Yanik, A. A.; Altug, H. Appl. Phys. Lett. 2009, 95 051105
7. Yanik, A. A.; Huang, M.; Artar, A.; Chang, T. Y.; Altug, H. Appl. Phys. Lett. 2010, 96 021101
8. Kinkhabwala, A.; Yu, Z.; Fan, S.; Avlasevich, Y.; Mullen, K.; Moerner, W. E. Nat. Photonics 2009, 3, 654-657
9. Levene, M. J.; Korlach, J. S.; Turner, W.; Foquet, M.; Craighead, H. G.; Webb, H. G. Science 2003, 299, 682-686
10. Kneipp, K.; Wang, Y.; Kneipp, H.; Perelman, L. T.; Itzkan, I.; Dasari, R. R.; Feld, M. S. Phys. Rev. Lett. 1997, 78, 1667-1670
11. Lal, S.; Grady, N. K.; Goodrich, G. P.; Halas, N. J. Nano Lett. 2006, 6, 2338-2343
12. McFarland, A. D.; Young, M. A.; Dieringer, J. A.; Van Duyne, R. P. J. Phys. Chem. B 2005, 109, 11279-11285
13. Shamsaiea, A.; Heima, J.; Yanik, A. A.; Irudayaraj, J. Chem. Phys. Lett. 2008, 461, 131-135
14. Cubukcu, E.; Zhang, S.; Park, Y.-S.; Bartal, G.; Zhang, X. Appl. Phys. Lett. 2009, 95 043113
15. Kim, S.; Jin, J.; Kim, Y.-J.; Park, I.-Y.; Kim, Y.; Kim, S.-W. Nature 2008, 453, 757-760
16. Adato, R.; Yanik, A. A.; Amsden, J. J.; Kaplan, D. L.; Omenetto, F. G.; Hong, M. K.; Erramilli, S.; Altug, H. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2009, 106 (46) 19227-19232
17. Oulton, R. P.; Sorger, V. J.; Zentgraf, T.; Ma, R. M.; Gladden, C.; Dai, L.; Bartal, G.; Zhang, X. Nature 2009, 461, 629-632
18. Noginov, M. A.; Zhu, G.; Belgrave, A. M.; Bakker, R.; Shalaev, V. M.; Narimanov, E. E.; Stout, S.; Herz, E.; Suteewong, T.; Wiesner, U. Nature 2009, 460, 1110
19. Falk, A. L.; Koppens, F. H. L.; Yu, C.; Kang, K.; de Leon Snapp, N. P.; Akimov, A. V.; Jo, A. V.; Lukin, M. D.; Park, H. Nat. Phys. 2009, 5, 475-479
20. Taubner, T.; Korobkin, D.; Urzhumov, Y.; Shvets, G.; Hillenbrand, R. Science 2006, 313, 5793-1595
21. Fang, N.; Lee, H.; Sun, C.; Zhang, X. Science 2005, 308 (5721) 534-537
22. Smith, D. R.; Pendry, J. B.; Wiltshire, M. C. K. Science 2004, 305, 788-792
23. Shalaev, V. M.; Cai, W.; Chettiar, U. K.; Yuan, H. K.; Sarychev, A. K.; Drachev, V. P.; Kildishev, A. V. Opt. Lett. 2005, 30, 24-3356
24. Chen, H. T.; Padilla, W. J.; Cich, M. J.; Azad, A. K.; Averitt, R. D.; Taylor, A. J. Nat. Photonics 2009, 3, 148
25. MacDonald, K. F.; Sa'mson, Z. L.; Stockman, M. I.; Zheludev, N. I. Nat. Photonics 2009, 3, 55
26. Brewer, G. R. Electron beam technology in microelectronic fabrication; Academic Press: New York, 1980.
27. Melngailis, J. J. Vac. Sci. Technol., B 1987, 5 (2) 469-495
28. Auguié, B.; Barnes, W. L. Phys. Rev. Lett. 2008, 101, 143902
29. Sun, X.; Zhuang, L.; Zhang, W.; Chou, S. Y. J. Vac. Sci. Technol., B 1998, 16 (6) 3922-3925
30. Solak, H. H.; Ekinci, Y. J. Vac. Sci. Technol., B 200725, 6) 2123-2126
31. Henzie, J.; Lee, J.; Lee, M. H.; Hasan, W.; Odom, T. W. Annu. Rev. Phys. Chem. 2009, 60, 147-165
32. Boltasseva, A. J. Opt. A: Pure Appl. Opt. 2009, 11, 114001
33. Aksu, S.; Altug, H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2010, 1208E
34. Haynes, C. L.; Van Duyne, R. P. J. Phys. Chem. B 2001, 105, 5599-5611
35. Prikulis, J.; Hanarp, P.; Olofsson, L.; Sutherland, D.; Kall, M. Nano Lett. 2004, 4, 1003-1007
36. Burger, G. J.; Smuldersa, E. J. T.; Berenschota, J. W.; Lammerinka, T. S. J.; Fluitmana, J. H. J.; Imaib, S. Sens. Actuators, A 1996, 54 (1-3) 669-673
37. Yan, X.-M.; Contreras, A. M.; Koebel, M. M.; Liddle, J. A.; Somorjai, G. A. Nano Lett. 2005, 5 (6) 1129-1134
38. Gross, L.; Schlittler, R. R.; Meyer, G.; Vanhaverbeke, A.; Allenspach, R. Appl. Phys. Lett. 2007, 90 093121
39. Vazquez-Mena, O.; Villanueva, G.; Savu, V.; Sidler, K.; van den Boogaart, M. A. F.; Brugger, J. Nano Lett. 2008, 8 (11) 3675-3682
40. Selvarasah, S.; Chao, S. H.; Chen, C.-L.; Sridhar, S.; Busnaina, A.; Khademhosseini, A.; Dokmeci, M. R. Sens. Actuators A 2008, 145, 306-315
41. Champagne, A. R.; Couture, A. J.; Kuemmeth, F.; Ralph, D. C. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 1111
42. Novotny, L. Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 266802
43. Lee, K.-S.; El-Sayed, M. A. J. Phys. Chem. B 2006, 110, 19220-19225
44. Adato, R.; Yanik, A. A.; Wu, C. H.; Shvets, G.; Altug, H. Opt. Express 2010, 18 (5) 4526-4537
45. Zou, S.; Schatz, G. C. Nanotechnology 2006, 17, 2813-2820
46. Lamprecht, B.; Schider, G.; Lechner, R.; Ditlbacher, H.; Krenn, J.; Leitner, A.; Aussenegg, F. Phys. Rev. Lett. 2000, 84, 4721
47. Huang, M.; Yanik, A. A.; Chang, T. Y.; Altug, H. Opt. Express 2009, 17 (26) 24224-24233
48. Altug, H.; Englund, D.; Vuckovic, J. Nat. Phys. 2006, 2, 484-487
49. Yanik, A. A.; Adato, R.; Erramilli, S.; Altug, H. Opt. Express 2009, 17 (23) 20900-20910
50. Yanik, A. A.; Wang, X.; Erramilli, S.; Hong, M. K.; Altug, H. Appl. Phys. Lett. 2008, 93 081104
51. Cubukcu, E.; Capasso, F. Appl. Phys. Lett. 2009, 95, 201101
52. Harris, D. C. Materials for infrared windows and domes: properties and performance; SPIE: Bellingham, WA, 1999.
53. Atwater, H. A.; Polman, A. Nat. Mater. 2010, 9, 205-213