Arbitrarily shaped Si nanostructures by glancing angle ion beam sputter deposition

Physica Status Solidi (B) Basic Research

Volumn 247, Issue 6, 2010, Pages 1310-1321

  Patzig, Christian ^a   Miessler, André ^a   Karabacak, Tansel ^b   Rauschenbach, Bernd ^a,c  

^a LEIBNIZ INSTITUTE OF SURFACE ENGINEERING IOM   (Germany)

^b UNIVERSITY OF ARKANSAS AT LITTLE ROCK   (United States)

^c UNIVERSITY OF LEIPZIG   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 77954167971     PISSN: 03701972     EISSN: 15213951     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssb.200945525     Document Type: Article

References (52)

1. A. Lakhtakia and R. Messier, Sculptured Thin Films: Nanoengineered Morphology and Optics (SPIE, Bellingham, 2005).
2. N. Kaiser, Appl. Opt. 41(16), 3053 (2002).
3. L. Abelmann and C. Lodder, Thin Solid Films 305(1-2), 1 (1997).
4. Y. P. Zhao, D. X. Ye, G. C. Wang, and T. M. Lu, Proc. SPIE 5219, 59 (2003).
5. N. O. Young and J. Kowal, Nature 183(4654), 104 (1959).
6. K. Robbie, L. J. Friedrich, S. K. Dew, T. Smy, and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. A 13(3), 1032 (1995).
7. K. Robbie, M. J. Brett, and A. Lakhtakia, J. Vac. Sci. Technol. A 13(6), 2991 (1995).
8. K. Robbie, M. J. Brett, and A. Lakhtakia, Nature 384(6610), 616 (1996).
9. M. M. Hawkeye and M. J. Brett, J. Vac. Sci. Technol. A 25(5), 1317 (2007).
10. S. R. Kennedy, M. J. Brett, O. Toader, and S. John, Nano Lett. 2(1), 59 (2002).
11. D. A. Gish, M. A. Summers, and M. J. Brett, Photon. Nanostruct.: Fundam. Appl. 4(1), 23 (2006).
12. M. A. Summers and M. J. Brett, Nanotechnology 19(41), 415203 (2008).
13. A. C. van Popta, M. J. Brett, and J. C. Sit, J. Appl. Phys. 98(8), 083517 (2005).
14. P. C. P. Hrudey, B. Szeto, and M. J. Brett, Appl. Phys. Lett. 88(25), 251106 (2006).
15. M. F. Schubert, J. Q. Xi, J. K. Kim, and E. F. Schubert, Appl. Phys. Lett. 90(14), 141115 (2007).
16. J. Q. Xi, M. F. Schubert, J. K. Kim, E. F. Schubert, M. F. Chen, S. Y. Lin, W. Liu, and J. A. Smart, Nature Photonics 1(3), 176 (2007).
17. M. M. Hawkeye and M. J. Brett, J. Appl. Phys. 100(4), 044322 (2006).
18. J. J. Steele, A. C. van Popta, M. M. Hawkeye, J. C. Sit, and M. J. Brett, Sens. Actuators B 120(1), 213 (2006).
19. M. Suzuki, K. Nakajima, K. Kimura, T. Fukuoka, and Y. Mori, Anal. Sci. 23(7), 829 (2007).
20. Y. Liu, Y.-P. Zhao, S. Shanmukh, and R. A. Dluhy, Appl. Phys. Lett. 89(17), 173134 (2006).
21. S. Shanmukh, L. Jones, J. Driskell, Y.-P. Zhao, R. A. Dluhy, and R. A. Tripp, Nano Lett. 6(11), 2630 (2006).
22. I. Abdulhalim, A. Karabchevsky, C. Patzig, B. Rauschenbach, B. Fuhrmann, E. Eltzov, R. S. Marks, J. Xu, F. Zhang, and A. Lakhtakia, Appl. Phys. Lett. 94(6), 063106 (2009).
23. R. J. Martin-Palma, C. G. Pantano, and A. Lakhtakia, Appl. Phys. Lett. 93(8), 083901 (2008).
24. J. J. Steele and M. J. Brett, J. Mater. Sci.: Mater. Electron. 18(4), 367 (2007).
25. C. M. Zhou and D. Gall, Appl. Phys. Lett. 88(20), 203117 (2006).
26. C. M. Zhou and D. Gall, Thin Solid Films 515(3), 1223 (2006).
27. C. M. Zhou and D. Gall, J. Vac. Sci. Technol. A 25(2), 312 (2007).
28. M. Suzuki, K. Nagai, S. Kinoshita, K. Nakajima, K. Kimura, T. Okano, and K. Sasakawa, J. Vac. Sci. Technol. A 25(4), 1098 (2007).
29. M. Suzuki, K. Nagai, S. Kinoshita, K. Nakajima, K. Kimura, T. Okano, and K. Sasakawa, Appl. Phys. Lett. 89(13), 133103 (2006).
30. T. Karabacak, J. P. Singh, Y.-P. Zhao, G. C. Wang, and T. M. Lu, Phys. Rev. B 68(12), 125408 (2003).
31. E. Schubert, T. Höche, F. Frost, and B. Rauschenbach, Appl. Phys. A, Mater. Sci. Process. 81(3), 481 (2005).
32. E. Schubert, J. Fahlteich, T. Höche, G. Wagner, and B. Rauschenbach, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 244(1), 40 (2006).
33. E. Schubert, J. Fahlteich, B. Rauschenbach, M. Schubert, M. Lorenz, M. Grundmann, and G. Wagner, J. Appl. Phys. 100(1), 016107 (2006).
34. M. Zeuner, F. Scholze, B. Dathe, and H. Neumann, Surf. Coat. Technol. 142, 39 (2001).
35. H. H. Andersen and H. L. Bay, in: Sputtering by Particle Bombardment I, Topics in Applied Physics, Vol. 47, edited by R. Behrisch (Springer, Berlin, 1981), pp. 145-218, chapter 4.
36. SPIP. The Scanning Probe Image Processor. Image metrology. www.imagemet.com.
37. G. M. Pharr, W. C. Oliver, and F. R. Brotzen, J. Mater. Res. 7(3), 613 (1992).
38. C. Patzig and B. Rauschenbach, J. Vac. Sci. Technol. A 26(4), 881 (2008).
39. A. Amassian, K. Kaminska, M. Suzuki, L. Martinu, and K. Robbie, Appl. Phys. Lett. 91(17), 173114 (2007).
40. T. Smy, D. Vick, M. J. Brett, S. K. Dew, A. T. Wu, J. C. Sit, and K. D. Harris, J. Vac. Sci. Technol. A 18(5), 2507 (2000).
41. R. N. Tait, T. Smy, and M. J. Brett, Thin Solid Films 226(2), 196 (1993).
42. K. Hara, M. Kamiya, T. Hashimoto, K. Okamoto, and H. Fujiwara, J. Magn. Magn. Mater. 73(2), 161 (1988).
43. Y. Zhao, G. C. Wang, and T. M. Lu, Characterization of Amorphous and Crystalline Rough Surfaces: Principles and Applications (Academic Press, San Diego, 2001).
44. T. Karabacak, G. C. Wang, and T. M. Lu, J. Vac. Sci. Technol. A 22(4), 1778 (2004).
45. T. Karabacak, G. C. Wang, and T. M. Lu, J. Appl. Phys. 94(12), 7723 (2003).
46. T. Karabacak, Y. P. Zhao, G. C. Wang, and T. M. Lu, Phys. Rev. B 64(8), 085323 (2001).
47. C. Patzig, T. Karabacak, B. Fuhrmann, and B. Rauschenbach, J. Appl. Phys. 104(9), 094318 (2008).
48. J. P. Singh, D. L. Liu, D. X. Ye, R. C. Picu, T. M. Lu, and G. C. Wang, Appl. Phys. Lett. 84(18), 3657 (2004).
49. M. W. Seto, K. Robbie, D. Vick, M. J. Brett, and L. Kuhn, J. Vac. Sci. Technol. B 17(5), 2172 (1999).
50. D. L. Liu, D. X. Ye, F. Khan, F. Tang, B. K. Lim, R. C. Picu, G. C. Wang, and T. M. Lu, J. Nanosci. Nanotechnol. 3(6), 492 (2003).
51. M. W. Seto, B. Dick, and M. J. Brett, J. Micromech. Microeng. 11(5), 582 (2001).
52. L. Gan, B. Ben-Nissan, and A. Ben-David, Thin Solid Films 362, 290-291 (1996).