-
1
-
-
0029774323
-
-
Schossler, C.; Kaya, A.; Kretz, J.; Weber, M.; Koops, H. W. P. Microelectron. Eng. 1996, 30, 471-474.
-
(1996)
Microelectron. Eng
, vol.30
, pp. 471-474
-
-
Schossler, C.1
Kaya, A.2
Kretz, J.3
Weber, M.4
Koops, H.W.P.5
-
2
-
-
20844457121
-
-
Yang, X.; Simpson, M. L.; Randolph, S. J.; Rack, P. D.; Baylor, L. R.; Cui, H.; Gardner, W. L. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 183106.
-
(2005)
Appl. Phys. Lett
, vol.86
, pp. 183106
-
-
Yang, X.1
Simpson, M.L.2
Randolph, S.J.3
Rack, P.D.4
Baylor, L.R.5
Cui, H.6
Gardner, W.L.7
-
3
-
-
29044443037
-
-
Brintlinger, T.; Fuhrer, M. S.; Melngailis, J.; Utke, I.; Bret, T.; Perentes, A.; Hoffmann, P.; Abourida, M.; Doppelt, P. J. Vac. Sci. Technol. B 2005, 23, 3174-3177.
-
(2005)
J. Vac. Sci. Technol. B
, vol.23
, pp. 3174-3177
-
-
Brintlinger, T.1
Fuhrer, M.S.2
Melngailis, J.3
Utke, I.4
Bret, T.5
Perentes, A.6
Hoffmann, P.7
Abourida, M.8
Doppelt, P.9
-
4
-
-
29044442172
-
-
Croitoru, M. D.; Bertsche, G.; Kern, D. R.; Burkhardt, C.; Bauerdick, S.; Sahakalkan, S.; Roth, S. J. Vac. Sci. Technol., B 2005, 23, 2789- 2792.
-
(2005)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.23
, pp. 2789-2792
-
-
Croitoru, M.D.1
Bertsche, G.2
Kern, D.R.3
Burkhardt, C.4
Bauerdick, S.5
Sahakalkan, S.6
Roth, S.7
-
5
-
-
0036648348
-
-
Lau, Y. M.; Chee, P. C.; Thong, J. T. L.; Ng, V. J. Vac. Sci. Technol., A 2002, 20, 1295-1302.
-
(2002)
J. Vac. Sci. Technol., A
, vol.20
, pp. 1295-1302
-
-
Lau, Y.M.1
Chee, P.C.2
Thong, J.T.L.3
Ng, V.4
-
6
-
-
31844431747
-
-
Mukawa, T.; Okada, S.; Kobayashi, R.; Fujita, J.; Ishida, M.; Ichihashi, T.; Ochiai, Y.; Kaito, T.; Matsui, S. Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 2005, 44, 5639-5641.
-
(2005)
Jpn. J. Appl. Phys. Part 1
, vol.44
, pp. 5639-5641
-
-
Mukawa, T.1
Okada, S.2
Kobayashi, R.3
Fujita, J.4
Ishida, M.5
Ichihashi, T.6
Ochiai, Y.7
Kaito, T.8
Matsui, S.9
-
7
-
-
29044450092
-
-
Liang, T.; Frendberg, E.; Lieberman, B.; Stivers, A. J. Vac. Sci. Technol., B 2005, 23, 3101-3105.
-
(2005)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.23
, pp. 3101-3105
-
-
Liang, T.1
Frendberg, E.2
Lieberman, B.3
Stivers, A.4
-
8
-
-
33750206624
-
-
Randolph, S. J.; Fowlkes, J. D.; Rack, P. D. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 2006, 31, 55-89.
-
(2006)
Crit. Rev. Solid State Mater. Sci
, vol.31
, pp. 55-89
-
-
Randolph, S.J.1
Fowlkes, J.D.2
Rack, P.D.3
-
9
-
-
49749114396
-
-
Utke, I.; Hoffmann, P.; Melngailis, J. J. Vac. Sci. Technol., B 2008, 26, 1197-1276.
-
(2008)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.26
, pp. 1197-1276
-
-
Utke, I.1
Hoffmann, P.2
Melngailis, J.3
-
11
-
-
3843080615
-
-
Thiberge, S.; Zik, O.; Moses, E. Rev. Sci. Instrum. 2004, 75, 2280- 2289.
-
(2004)
Rev. Sci. Instrum
, vol.75
, pp. 2280-2289
-
-
Thiberge, S.1
Zik, O.2
Moses, E.3
-
12
-
-
33748895082
-
-
Botman, A.; Mulders, J. J. L.; Weemaes, R.; Mentink, S. Nanotechnology 2006, 17, 3779-3785.
-
(2006)
Nanotechnology
, vol.17
, pp. 3779-3785
-
-
Botman, A.1
Mulders, J.J.L.2
Weemaes, R.3
Mentink, S.4
-
13
-
-
4944237530
-
-
Wang, S.; Sun, Y.-M.; Wang, Q.; White, J. M. J. Vac. Sci. Technol., B 2004, 22, 1803-1806.
-
(2004)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.22
, pp. 1803-1806
-
-
Wang, S.1
Sun, Y.-M.2
Wang, Q.3
White, J.M.4
-
14
-
-
34247626909
-
-
Langford, R. M.; Wang, T. X.; Ozkaya, D. Microelectron. Eng. 2007, 84, 784-788.
-
(2007)
Microelectron. Eng
, vol.84
, pp. 784-788
-
-
Langford, R.M.1
Wang, T.X.2
Ozkaya, D.3
-
15
-
-
0037415915
-
-
Lin, J. F.; Bird, J. P.; Rotkina, L.; Bennett, P. A. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 802-804.
-
(2003)
Appl. Phys. Lett
, vol.82
, pp. 802-804
-
-
Lin, J.F.1
Bird, J.P.2
Rotkina, L.3
Bennett, P.A.4
-
16
-
-
34247842728
-
-
Penate-Quesada, L.; Mitra, J.; Dawson, P. Nanotechnology 2007, 18, 215203.
-
(2007)
Nanotechnology
, vol.18
, pp. 215203
-
-
Penate-Quesada, L.1
Mitra, J.2
Dawson, P.3
-
17
-
-
0001372294
-
-
Tao, T.; Ro, J. S.; Melngailis, J.; Xue, Z. L.; Kaesz, H. D. J. Vac. Sci. Technol., B 1990, 8, 1826-1829.
-
(1990)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.8
, pp. 1826-1829
-
-
Tao, T.1
Ro, J.S.2
Melngailis, J.3
Xue, Z.L.4
Kaesz, H.D.5
-
18
-
-
0036505983
-
-
Telari, K. A.; Rogers, B. R.; Fang, H.; Shen, L.; Weller, R. A.; Braski, D. N. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 590-595.
-
(2002)
J. Vac. Sci. Technol., B
, vol.20
, pp. 590-595
-
-
Telari, K.A.1
Rogers, B.R.2
Fang, H.3
Shen, L.4
Weller, R.A.5
Braski, D.N.6
-
19
-
-
84869373361
-
-
dtsa2 accessed June 1
-
Ritchie, N. W. M. DTSA-II, 1795. http://www.cstl.nist.gov/div837/837.02/ epq/dtsa2 (accessed June 1, 2009).
-
(1795)
-
-
Ritchie, N.W.1
DTSA-II, M.2
|