Device fabrication by easy soft imprint nano-lithography

Chemistry of Materials

Volumn 20, Issue 14, 2008, Pages 4595-4601

  Moran, Isaac W ^b   Briseno, Alejandro L ^a   Loser, Stephen ^b   Carter, Kenneth R ^b  

^a UNIVERSITY OF WASHINGTON   (United States)

^b UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACTIVE MATERIALS; DEVICE FABRICATIONS; NANO-LITHOGRAPHY; NANOSCALE PATTERNING; SOFT-IMPRINT;

OPTICAL DESIGN;

NANOIMPRINT LITHOGRAPHY;

EID: 49249116938     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm800480z     Document Type: Article

References (48)

1. Beinhoff, M.; Appapillai, A. T.; Underwood, L. D.; Frommer, J. E.; Carter, K. R. Langmuir 2006, 22, 2411-2414.
2. Guo, L. J. J. Phys. D-Appl. Phys. 2004, 37, R123-R141.
3. von Werne, T. A.; Germack, D. S.; Hagberg, E. C.; Sheares, V. V.; Hawker, C. J.; Carter, K. R. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 3831-3838.
4. Zankovych, S.; Hoffmann, T.; Seekamp, J.; Bruch, J. U.; Torres, C. M. S. Nanotechnology 2001, 12, 91-95.
5. Bailey, T.; Choi, B. J.; Colburn, M.; Meissl, M.; Shaya, S.; Ekerdt, J. G.; Sreenivasan, S. V.; Willson, C. G. J. Vac. Sci. Technol., B. 2000, 18, 3572.
6. Gates, B. D.; Xu, Q. B.; Stewart, M.; Ryan, D.; Willson, C. G.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 2005, 105, 1171-1196.
7. Xia, Y. N.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. 1998, 37, 551-575.
8. Xia, Y. N.; Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 1999, 99, 1823-1848.
9. Loo, Y. L.; Willett, R. L.; Baldwin, K. W.; Rogers, J. A. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 7654-7655.
10. Kumar, A.; Whitesides, G. M. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002-2004.
11. Xia, Y. N.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1995, 117, 3274-3275.
12. Xia, Y. N.; Whitesides, G. M. Annu. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153-184.
13. Felmet, K.; Loo, Y. L.; Sun, Y. M. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 3316-3318.
14. Lee, B. H.; Cho, Y. H.; Lee, H.; Lee, K. D.; Kim, S. H.; Sung, M. M. Adv. Mater. 2007, 19, 1714+.
15. Burdinski, D.; Blees, M. H. Chem. Mater. 2007, 19, 3933-3944.
16. Geissler, M.; Schmid, H.; Bietsch, A.; Michel, B.; Delamarche, E. Langmuir 2002, 18, 2374-2377.
17. Hur, S. H.; Khang, D. Y.; Kocabas, C.; Rogers, J. A. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 5730-5732.
18. Bender, M.; Plachetka, U.; Ran, J.; Fuchs, A.; Vratzov, B.; Kurz, H.; Glinsner, T.; Lindner, F. J. Vac. Sci. Technol., B 2004, 22, 3229-3232.
19. Choi, W. M.; Park, O. O. Microelectron. Eng. 2004, 73-74, 178-183.
20. Odom, T. W.; Love, J. C.; Wolfe, D. B.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Langmuir 2002, 18, 5314-5320.
21. Xia, Y. N.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. 1998, 37, 551-575.
22. Suh, K. Y.; Kim, Y. S.; Lee, H. H. Adv. Mater. 2001, 13, 1386-1389.
23. Bietsch, A.; Michel, B. J. Appl. Phys. 2000, 88, 4310-4318.
24. Clarson, S. J.; Semlyen, J. A. Siloxane polymers; Prentice Hall: Englewood Cliffs, NJ, 1993.
25. Saechtling, H. International Plastics Handbook: for the Technologist, Engineer, and User, 3rd ed.; Carl Hanser: Munich, 1995.
26. Drummond, C. J.; Chan, D. Y. C. Langmuir 1997, 13, 3890-3895.
27. van Krevelen, D. W.; Hoftyzer, P. J. Properties of polymers, their estimation and correlation with chemical structure, 2nd ed. (completely rev.); Elsevier Scientific Pub. Co.: Amsterdam, 1976.
28. Moran, I. W.; Cheng, D. F.; Jhaveri, S. B.; Carter, K. R. Soft Matter 2007, 4, 168-176.
29. Bruinink, C. M.; Péter, M.; Maury, P. A.; de Boer, M.; Kuipers, L.; Huskens, J.; Reinhoudt, D. N. Adv. Funct. Mater. 2006, 16, 1555-1565.
30. Lee, J. N.; Park, C.; Whitesides, G. M. Anal. Chem. 2003, 75, 6544-6554.
31. McDonald, J. C.; Duffy, D. C.; Anderson, J. R.; Chiu, D. T.; Wu, H. K.; Schueller, O. J. A.; Whitesides, G. M. Electrophoresis 2000, 21, 27-40.
32. Willson, C. G. In Introduction to Microlithography; Thompson, L. F., Willson, C. G., Bowden, M. J., Eds.; American Chemical Society: Washington, DC, 1994; pp 139-267.
33. Hoyle, C. E.; Lee, T. Y.; Roper, T. J. Polvm. Sci., Part A: Polym. Chem. 2004, 42, 5301-5338.
34. Cramer, N. B.; Scott, J. P.; Bowman, C. N. Macromolecules 2002, 35, 5361-5365.
35. Losic, D.; Mitchell, J. G.; Lal, R.; Voelcker, N. H. Adv. Funct. Mater. 2007, 17, 2439-2446.
36. Lee, H.; Hong, S. H.; Yang, K. Y.; Choi, K. W. Appl. Phys. Lett. 2006, 88.
37. Kim, S. H.; Yang, Y.; Kim, M.; Nam, S. W.; Lee, K. M.; Lee, N. Y.; Kim, Y. S.; Park, S. Advanced Funct. Mater. 2007, 17, 3493-3498.
38. Kim, Y. S.; Lee, N. Y.; Lim, J. R.; Lee, M. J.; Park, S. Chem. Mater. 2005, 17, 5867-5870.
39. Park, J.; Kim, Y. S.; Hammond, P. T. Nano Lett. 2005, 5, 1347-1350.
40. Hagberg, E. C.; Malkoch, M.; Ling, Y. B.; Hawker, C. J.; Carter, K. R. Nano Lett. 2007, 7, 233-237.
41. Smith, G. W. Mol. Cryst. Liq. Cryst. 1991, 196, 89-102.
42. Pinto-Iguanero, B.; Olivares-Perez, A.; Fuentes-Tapia, I. Opt. Mater. 2002, 20, 225-232.
43. Trimbach, D. C.; Al-Hussein, M.; de Jeu, W. H.; Deere, M.; Broer, D. J.; Bastiaansen, C. W. M. Langmuir 2004, 20, 4738-4742.
44. Delamarche, E.; Donzel, C.; Kamounah, F. S.; Wolf, H.; Geissler, M.; Stutz, R.; Schmidt-Winkel, P.; Michel, B.; Mathieu, H. J.; Schaumburg, K. Langmuir 2003, 19, 8749-8758.
45. Delamarche, E.; Geissler, M.; Bernard, A.; Wolf, H.; Michel, B.; Hilborn, J.; Donzel, C. Adv. Mater. 2001, 13, 1164-1167.
46. Jacobine, A. F.; Glaser, D. M.; Grabek, P. J.; Mancini, D.; Masterson, M.; Nakos, S. T.; Rakas, M. A.; Woods, J. G. J. Appl. Polym. Sci. 1992, 45, 471-485.
47. Odian, G. Principles of Polymerization, 4th ed.; John Wiley & Sons, Inc.: Hoboken, NJ, 2004.
48. Panzer, M. J.; Frisbie, C. D. J. Am. Chem. Soc. 2007, 129, 6599-6607.