Gas diffusion barriers on polymers using multilayers fabricated by Al 2O3 and rapid SiO2 atomic layer deposition

Journal of Physical Chemistry C

Volumn 112, Issue 12, 2008, Pages 4573-4580

  Dameron, Arrelaine A ^a,d   Davidson, Stephen D ^c   Burton, Beau B ^a   Carcia, Peter F ^b   Scott McLean, R ^b   George, Steven M ^a,c  

^a UNIVERSITY OF COLORADO   (United States)

^b DUPONT COMPANY   (United States)

^c University of Colorado   (United States)

^d Dynamic Organic Light   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GAS DIFFUSION;

DIFFUSION BARRIERS; OPTICAL DESIGN;

ALUMINUM;

EID: 47049095504     PISSN: 19327447     EISSN: 19327455     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp076866+     Document Type: Article

References (45)

1. Burrows, P. E.; Bulovic, V.; Forrest, S. R.; Sapochak, L. S.; McCarty, D. M.; Thompson, M. E. Appl. Phys. Lett. 1994, 65, 2922.
2. Lewis, J. S.; Weaver, M. S. IEEE J. Quantum Electron. 2004, 10, 45.
3. Liew, Y. F.; Aziz, H.; Hu, N. X.; Chan, H. S. O.; Xu, G.; Popovic, Z. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 2650.
4. Weaver, M. S.; Michalski, L. A.; Rajan, K.; Rothman, M. A.; Silvernail, J. A.; Brown, J. J.; Burrows, P. E.; Graff, G. L.; Gross, M. E.; Martin, P. M.; Hall, M.; Mast, E.; Bonham, C.; Bennett, W.; Zumhoff, M. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 2929.
5. Burrows, P. E.; Graff, G. L.; Gross, M. E.; Martin, P. M.; Shi, M. K.; Hall, M.; Mast, E.; Bonham, C.; Bennett, W.; Sullivan, M. B. Displays 2001, 22, 65.
6. Chatham, H. Surf. Coat. Technol. 1996, 78, 1.
7. Groner, M. D.; Elam, J. W.; Fabreguette, F. H.; George, S. M. Thin Solid Films 2002, 413, 186.
8. Ritala, M.; Leskela, M.; Dekker, J. P.; Mutsaers, C.; Soininen, P. J.; Skarp, J. Chem. Vap. Deposition 1999, 5, 7.
9. Ghosh, A. P.; Gerenser, L. J.; Jarman, C. M.; Fornalik, J. E. Appl. Phys. Lett. 2005, 86,
10. Park, S. H. K.; Oh, J.; Hwang, C. S.; Lee, J. I.; Yang, Y. S.; Chu, H. Y. Electrochem. Solid-State Lett. 2005, 8, H21.
11. Yun, S. J.; Ko, Y. W.; Lim, J. W. Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 4896.
12. Potscavage, W. J.; Yoo, S.; Domercq, B.; Kippelen, B. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 253511.
13. Ferrari, S.; Perissinotti, F.; Peron, E.; Fumagalli, L.; Natali, D.; Sampietro, M. Org. Electron. 2007, 8, 401.
14. Langereis, E.; Creatore, M.; Heil, S. B. S.; Van de Sanden, M. C. M.; Kessels, W. M. M. Appl. Phys. Lett. 2006, 89,
15. Groner, M. D.; George, S. M.; McLean, R. S.; Carcia, P. F. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 051907.
16. Carcia, P. F.; McLean, R. S.; Reilly, M. H.; Groner, M. D.; George, S. M. Appl. Phys. Lett. 2006, 89, 031915.
17. Graff, G. L.; Williford, R. E.; Burrows, P. E. J. Appl. Phys. 2004, 96, 1840.
18. George, S. M.; Ott, A. W.; Klaus, J. W. J. Phys. Chem. 1996, 100, 13121.
19. Dillon, A. C.; Ott, A. W.; Way, J. D.; George, S. M. Surf. Sci. 1995, 322, 230.
20. Groner, M. D.; Fabreguette, F. H.; Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater. 2004, 16, 639.
21. Ott, A. W.; McCarley, K. C.; Klaus, J. W.; Way, J. D.; George, S. M. Appl. Surf. Sci. 1996, 107, 128.
22. Wilson, C. A.; Grubbs, R. K.; George, S. M. Chem. Mater. 2005, 17, 5625.
23. Hausmann, D.; Becker, J.; Wang, S. L.; Gordon, R. G. Science 2002, 298, 402.
24. Burton, B. B.; George, S. M. Unpublished work.
25. Elam, J. W.; Groner, M. D.; George, S. M. Rev. Sci. Instrum. 2002, 73, 2981.
26. Coulter, A. R.; Deeken, R. A.; Zentner, G. M. J. Membrane Sci. 1992, 65, 269.
27. Hansen, C. M.; Just, L. Prog. Org. Coat. 2002, 44, 259.
28. Kim, T. W.; Yan, M.; Erlat, G.; McConnelee, P. A.; Pellow, M.; Deluca, J.; Feist, T. P.; Duggal, A. R.; Schaepkens, M. J. Vac. Sci. Technol., A 2005, 23, 971.
29. Paetzold, R.; Winnacker, A.; Henseler, D.; Cesari, V.; Heuser, K. Rev. Sei. Instrum. 2003, 74, 5147.
30. Ott, A. W.; Klaus, J. W.; Johnson, J. M.; George, S. M.; McCarley, K. C.; Way, J. D. Chem. Mater. 1997, 9, 707.
31. Candau, J. F. C.; Conner, W. C. J. Catal. 1987, 106, 378.
32. Doremus, R. H. J. Appl. Phys. 2006, 100.
33. Nahar, R. K. Sens. Actuators, B 2000, 63, 49.
34. Nahar, R. K. J. Vac. Sci. Technol., B 2002, 20, 382.
35. da Silva Sobrinho, A. S.; Czeremuszkin, G.; Latreche, M.; Wertheimer, M. R. J. Vac. Sci. Technol., A 2000, 18, 149.
36. da Silva Sobrinho, A. S.; Latreche, M.; Czeremuszkin, G.; Klemberg-Sapieha, J. E.; Wertheimer, M. R. J. Vac. Sci. Technol., A 1998, 16, 3190.
37. Erlat, A. G.; Spontak, R. J.; Clarke, R. P.; Robinson, T. C.; Haaland, P. D.; Tropsha, Y.; Harvey, N. G.; Vogler, E. A. J. Phys. Chem. B 1999, 103, 6047.
38. de Rouffignac, P.; Li, Z. W.; Gordon, R. G. Electrochem. Solid-State Lett. 2004, 7, G306.
39. Cairns, D. R.; Witte, R. P.; Sparacin, D. K.; Sachsman, S. M.; Paine, D. C.; Crawford, G. P.; Newton, R. R. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1425.
40. Leterrier, Y.; Andersons, J.; Pitton, Y.; Manson, J. A. E. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 1997, 35, 1463.
41. Suo, Z.; Ma, E. Y.; Gleskova, H.; Wagner, S. Appl. Phys. Lett. 1999, 74, 1177.
42. Cordero, N.; Yoon, J.; Suo, Z. G. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 111910.
43. Cometto-Muniz, J. E.; Cain, W. S.; Abraham, M. H. Chem. Sens. 2003, 28, 467.
44. Conner, W. C.; Falconer, J. L. Chem. Rev. 1995, 95, 759.
45. Martin, D.; Duprez, D. J. Phys. Chem. B 1997, 101, 4428.