Three-dimensional nanofabrication with rubber stamps and conformable photomasks

Advanced Materials

Volumn 16, Issue 15 SPEC. ISS., 2004, Pages 1369-1373

  Jeon, Seokwoo ^a   Menard, Etienne ^a   Park, Jang Ung ^a   Maria, Joana ^a   Meitl, Matthew ^a   Zaumseil, Jana ^b   Rogers, John A ^a  

^a UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

^b LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COATINGS; CONFORMATIONS; LITHOGRAPHY; MULTILAYERS; OPTICAL RESOLVING POWER; PHOTOPOLYMERIZATION; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY;

NANOMANUFACTURING; PHOTOMASKS; PHOTOPOLYMERS; RUBBER STAMPS;

NANOTECHNOLOGY;

EID: 4544383496     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200400593     Document Type: Review

References (36)

1. Y.-L. Loo, R. L. Willett, K. Baldwin, J. A. Rogers, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 7654.
2. Y.-L. Loo, R. W. Willett, K. Baldwin, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 562.
3. J. Zaumseil, M. A. Meitl, J. W. P. Hsu, B. Acharya, K. W. Baldwin, Y.-L. Loo, J. A. Rogers, Nano Lett. 2003, 3, 1223.
4. E. Menard, L. Bilhaut, J. Zaumseil, J. A. Rogers, Langmuir 2004, 20, 6871.
5. S. Jeon, J.-U. Park, R. Cirelli, S. Yang, C. E. Heitzmann, P. V. Braun, P. Kenis, J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA, in press.
6. O. D. Velev, T. A. Jede, R. F. Lobo, A. M. Lenhoff, Nature 1997, 389, 447.
7. S. A. Johnson, P. J. Ollivier, T. E. Mallouk, Science 1999, 283, 963.
8. Y. A. Vlasov, X. Z. Bo, J. C. Sturm, D. J. Norris, Nature 2001, 414, 289.
9. Y. Fink, A. M. Urbas, M. G. Bawendi, J. D. Joannopoulos, E. L. Thomas, J. Lightwave Technol. 1999, 17, 1963.
10. F. S. Bates, Science 1991, 251, 898.
11. M. Park, C. Harrison, P. M. Chaikin, R. A. Register, D. H. Adamson, Science 1997, 276, 1401.
12. M. Boltau, S. Walheim, J. Mlynek, G. Krausch, U. Steiner, Nature 1998, 391, 877.
13. T. L. Morkved, P. Wiltzius, H. M. Jeager, D. G. Grier, T. A. Witten, Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 422.
14. H. Yang, N. Coombs, G. A. Ozin, Adv. Mater. 1997, 9, 811.
15. C. R. Martin, Acc. Chem. Res. 1995, 28, 61.
16. P. Hoyer, Adv. Mater. 1996, 8, 857.
17. H. O. Jacobs, A. R. Tao, A. Schwartz, D. H. Gracias, G. M. Whitesides, Science 2002, 296, 323.
18. H. J. J. Yeh, J. S. Smith, IEEE Photon. Technol. Lett. 1994, 6, 706.
19. N. B. Bowden, M. Weck, I. S. Choi, G. M. Whitesides, Acc. Chem. Res. 2001, 34, 231.
20. M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, A. J. Hirberfield, Nature 2000, 404, 53.
21. I. Divliansky, T. S. Mayer, K. S. Holliday, V. H. Crespi, Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 1667.
22. Y. Xia, J. A. Rogers, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Chem. Rev. 1999, 99, 1823.
23. See MRS Bull. 2001, 26(7).
24. J. E. Smay, J. Cesarano, J. A. Lewis, Langmuir 2002, 18, 5429.
25. A. Kumar, G. M. Whitesides. Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002.
26. C. Kim, M. Shtein, S. R. Forrest, Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 4051.
27. H. Schmid, H. Wolf, R. Allenspach, H. Riel, S. Karg, B. Michel, E. Delamarche, Adv. Funct. Mater. 2003, 13, 145.
28. X. Jiang, H. Zheng, S. Gourdin, P. T. Hammond, Langmuir 2002, 18, 2607.
29. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 13 583.
30. Y.-L. Loo, J. W. P. Hsu, R. L. Willett, K. W. Baldwin, K. W. West, J. A. Rogers, J. Vac. Sci. Technol. B 2002, 20, 2853.
31. G. S. Ferguson, M. K. Chaudhury, G. B. Sigal, G. M. Whitesides, Science 1991, 255, 776.
32. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. J. Jackman, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2658.
33. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. J. Jackman, G. M. Whitesides, J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 59.
34. J. Aizenberg, J. A. Rogers, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 3773.
35. J. Aizenberg, J. A. Rogers, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Appl. Opt. 1998, 37, 2145.
36. H. Schmid, H. Biebuyck, B. Michel, O. J. F. Martin, Appl. Phys. Lett. 1998, 72, 2379.