Direct measurement of the spatial extent of the in situ developed latent image by neutron reflectivity

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 25, Issue 6, 2007, Pages 2514-2520

  Prabhu, Vivek M ^a   Vogt, Bryan D ^a   Kang, Shuhui ^a   Rao, Ashwin ^a   Lin, Eric K ^a   Satija, Sushil K ^a  

^a NATIONAL INSTITUTE OF STANDARDS AND TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

HYDROXIDE DISSOLUTION; NEUTRON REFLECTIVITY; RESIDUAL SWELLING FRACTION;

LITHOGRAPHY; NEUTRONS;

PHOTORESISTS;

EID: 37149000307     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2800329     Document Type: Article

References (32)

1. H. Ito, Adv. Polym. Sci. 172, 37 (2005).
2. M. Chandhok, S. H. Lee, and T. Bacuita, J. Vac. Sci. Technol. B 22, 2966 (2004).
3. W. Hinsberg, F. A. Houle, J. Hoffnagle, M. Sanchez, G. Wallraff, M. Morrison, and S. Frank, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3689 (1998).
4. A. R. Pawloski, A. Acheta, H. J. Levinson, T. B. Michaelson, A. Jamieson, Y. Nishimura, and C. G. Willson, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 5, 023001 (2006).
5. A. Pawloski, A. Acheta, I. Lalovic, B. LaFontaine, and H. Levinson, Proc. SPIE 5376, 414 (2004).
6. J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, M. I. Sanchez, and F. A. Houle, Opt. Lett. 27, 1776 (2002).
7. J. A. Hoffnagle, W. D. Hinsberg, F. A. Houle, and M. I. Sanchez, J. Photopolym. Sci. Technol. 16, 373 (2003).
8. G. M. Schmid, M. D. Stewart, S. D. Burns, and C. G. Willson, J. Electrochem. Soc. 151, G155 (2004).
9. P. C. Tsiartas, L. W. Flanagin, W. D. Hinsberg, C. L. Henderson, I. C. Sanchez, R. T. Bonnecaze, and C. G. Willson, Macromolecules 30, 4656 (1997).
10. G. M. Gallatin, F. A. Houle, and J. L. Cobb, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 3172 (2003).
11. D. Van Steenwinckel, J. H. Lammers, T. Koehler, R. L. Brainard, and P. Trefonas, J. Vac. Sci. Technol. B 24, 316 (2006).
12. W. Hinsberg, F. A. Houle, S. W. Lee, H. Ito, and K. Kanazawa, Macromolecules 38, 1882 (2005).
13. W. D. Hinsberg, F. A. Houle, H. Ito, K. Kanazawa, and S. W. Lee, Proceedings of the 13th International Conference on Photopolymers, Advances in Imaging Materials and Processes, RETEC, pp. 193-206 (2003).
14. W. D. Hinsberg, F. A. Houle, and H. Ito, Proc. SPIE 5376, 352 (2004).
15. F. A. Houle, W. D. Hinsberg, and M. I. Sanchez, Macromolecules 35, 8591 (2002).
16. M. D. Stewart, M. H. Somervell, H. V. Tran, S. V. Postnikov, and C. G. Willson, Proc. SPIE 3999, 665 (2000).
17. M. D. Stewart, H. V. Tran, G. M. Schmid, T. B. Stachowiak, D. J. Becker, and C. G. Willson, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 2946 (2002).
18. B. D. Vogt, S. Kang, V. M. Prabhu, E. K. Lin, S. K. Satija, K. Turnquest, and W. Wu, Macromolecules 39, 8311 (2006).
19. B. D. Vogt, S. Kang, V. M. Prabhu, A. Rao, E. K. Lin, W. L. Wu, S. K. Satija, and K. Turnquest, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 175 (2006).
20. V. Sarris, G. P. Patsis, V. Constantoudis, A. G. Boudouvis, and E. Gogolides, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 44, 7400 (2005).
21. J. Meiring, T. B. Michaelson, A. Jamieson, and G. M. Schmid, Proc. SPIE 5753, 350 (2005).
22. S. Kang, V. M. Prabhu, B. D. Vogt, E. K. Lin, W. L. Wu, and K. Turnquest, Polymer 47, 6293 (2006).
23. V. M. Prabhu, B. D. Vogt, W. L. Wu, J. F. Douglas, E. K. Lin, S. K. Satija, D. L. Goldfarb, and H. Ito, Langmuir 21, 6647 (2005).
24. L. G. Parratt, Phys. Rev. 95, 359 (1954).
25. V. M. Prabhu, E. J. Amis, D. P. Bossev, and N. Rosov, J. Chem. Phys. 121, 4424 (2004).
26. A. Rao, S. Kang, B. D. Vogt, V. M. Prabhu, E. K. Lin, W. L. Wu, and M. Muthukumar, Langmuir 22, 10009 (2006).
27. S. Kang, B. D. Vogt, W. L. Wu, V. M. Prabhu, D. L. VanderHart, A. Rao, E. K. Lin, and K. Turnquest, Macromolecules 40, 1497 (2007).
28. F. A. Houle, W. D. Hinsberg, M. Morrison, M. I. Sanchez, G. Wallraff, C. Larson, and J. Hoffnagle, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 1874 (2000).
29. R. Dammel, Diazonaphthoquinone-Based Resists, Tutorial Text in Optical Engineering (SPIE, Bellingham, WA, 1993), Vol. TT 11.
30. J. P. Huang, T. K. Kwei, and A. Reiser, Macromolecules 22, 4106 (1989).
31. L. Garcia-Tarres and E. Guardia, J. Phys. Chem. B 102, 7448 (1998).
32. J. Turner, A. K. Soper, and J. L. Finney, Mol. Phys. 70, 679 (1990).