Determination of coupled acid catalysis-diffusion processes in a positive-tone chemically amplified photoresist

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 18, Issue 4, 2000, Pages 1874-1885

  Houle, F A ^a   Hinsberg, W D ^a   Morrison, M ^a   Sanchez, M I ^a   Wallraff, G ^a   Larson, C ^a   Hoffnagle, J ^a  

^a IBM ALMADEN RESEARCH CENTER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 23044522106     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (15)

1. G. M. Wallraff and W. D. Hinsberg, Chem. Rev. 99, 1801 (1999).
2. J. Nakamura, H. Ban, K. Deguchi, and A. Tanaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part l 30, 2619 (1991).
3. L. Schlegel, T. Ueno, N. Hayashi, and T. Iwayanagi, J. Vac. Sci. Technol. B 9, 278 (1991).
4. L. Ocola, D. S. Fryer, G. Reynolds, A. Krasnaperova, and F. Cerrina, Appl. Phys. Lett. 68, 717 (1996).
5. D. R. McKean, U. Schaedeli, and S. A. MacDonald, J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 27, 3927 (1989).
6. J. W. Thackeray, T. Adams, M. F. Cronin, M. Denison, T. H. Fedynyshyn, J. Georger, J. M. Mon, G. W. Orsula, and R. Sinta, J. Photopolym. Sci. Technol. 3, 619 (1994).
7. H. Watanabe, H. Sumitani, T. Kumada, M. Inoue, K. Marumoto, and Y. Matsui, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 6780 (1995).
8. M. Zuniga, G. Wallraff, and A. R. Neureuther, Proc. SPIE 2438, 113 (1995).
9. T. Itani, H. Yoshino, S. Hashimoto, M. Yamana, N. Samoto, and K. Kasama, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4226 (1996).
10. T. Itani, H. Yoshino, S. Hashimoto, M. Yamana, N. Samoto, and K. Kasama J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2541 (1997).
11. T. Itani, H. Yoshino, S. Hashimoto, M. Yamana, N. Samoto, and K. Kasama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 35, 6501 (1996).
12. A. A. Krasnaperova, M. Khan, S. Rhyner, J. W. Taylor, Y. Zhu, and F. Cerrina, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3900 (1994).
13. C. Coenjarts, J. Cameron, N. Deschamps, D. Hambly, G. Pohlers, J. C. Scaiano, R. Sinta, S. Virdee, and A. Zampini, Proc. SPIE 3678, 1062 (1999).
14. J. S. Petersen, C. A. Mack, J. Sturtevant, J. D. Byers, and D. A. Miller, Proc. SPIE 2438, 167 (1995).
15. M. A. Zuniga and A. R. Neureuther, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 4221 (1996).