Nondestructive analysis of threading dislocations in GaN by electron channeling contrast imaging

Applied Physics Letters

Volumn 91, Issue 9, 2007, Pages

  Picard, Y N ^a   Caldwell, J D ^a   Twigg, M E ^a   Eddy Jr , C R ^a   Mastro, M A ^a   Henry, R L ^a   Holm, R T ^a   Neudeck, P G ^b   Trunek, A J ^c   Powell, J A ^d  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b NASA GLENN RESEARCH CENTER   (United States)

^c OHIO AEROSPACE INSTITUTE   (United States)

^d Sest Inc   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DISLOCATIONS (CRYSTALS); LUMINESCENT DEVICES; NONDESTRUCTIVE EXAMINATION; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

DISLOCATION DENSITY; ELECTRON CHANNELING CONTRAST IMAGING; THREADING DISLOCATIONS;

GALLIUM NITRIDE;

EID: 34548427409     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2777151     Document Type: Article

References (20)

1. S. J. Rosner, E. C. Carr, M. J. Ludowise, G. Girolami, and H. I. Erikson, Appl. Phys. Lett. 70, 420 (1997).
2. J. S. Speck and S. J. Rosner, Physica B 274, 24 (1999).
3. N. D. Bassim, M. E. Twigg, C. R. Eddy, Jr., J. C. Culbertson, M. A. Mastro, R. L. Henry, R. T. Holm, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and J. A. Powell, Appl. Phys. Lett. 86, 021902 (2005).
4. J. D. Caldwell, M. A. Mastro, K. D. Hobart, O. J. Glembocki, C. R. Eddy, Jr., N. D. Bassim, R. T. Holm, R. L. Henry, M. E. Twigg, F. Kub, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and J. A. Powell, Appl. Phys. Lett. 88, 263509 (2006).
5. T. Hino, S. Tomiya, T. Miyajima, K. Yanashima, S. Hashimoto, and M. Ikeda, Appl. Phys. Lett. 76, 3421 (2000).
6. J. F. Falth, M. N. Gurusinghe, X. Y. Liu, T. G. Andersson, I. G. Ivanov, B. Monemar, H. H. Yao, and S. C. Wang, J. Cryst. Growth 278, 406 (2005).
7. V. M. Kaganer, O. Brandt, A. Trampert, and K. H. Ploog, Phys. Rev. B 72, 045423 (2005).
8. S. J. Rosner, G. Girolami, H. Marchand, P. T. Fini, J. P. Ibbetson, L. Zhao, S. Keller, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 74, 2035 (1999).
9. N. Pauc, M. R. Phillips, V. Aimez, and D. Drouin, Appl. Phys. Lett. 89, 161905 (2006).
10. C. Trager-Cowan, E. Sweeney, P. W. Trimby, A. P. Day, A. Gholinia, N.-H. Schmidt, P. J. Parbrook, A. J. Wilkinson, and I. M. Watson, Phys. Rev. B 75, 085301 (2007).
11. Y. N. Picard, M. E. Twigg, J. D. Caldwell, C. R. Eddy, Jr., P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and J. A. Powell, Appl. Phys. Lett. 90, 234101 (2007).
12. J. A. Powell, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, G. M. Beheim, L. G. Matus, R. W. Hoffman, and L. J. Keys, Appl. Phys. Lett. 77, 1449 (2000).
13. N. D. Bassim, M. E. Twigg, C. R. Eddy, Jr., R. L. Henry, R. T. Holm, J. C. Culbertson, R. E. Stahlbush, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and J. A. Powell, Appl. Phys. Lett. 84, 5216 (2004).
14. R. M. Stroud and T. J. Zega, Scanning 28, 67 (2006).
15. D. J. Prior, P. W. Trimby, U. D. Weber, and D. J. Dingley, Miner. Mag. 60, 859 (1996).
16. V. Potin, P. Ruterana, G. Nouet, R. C. Pond, and H. Morko̧, Phys. Rev. B 61, 5587 (2000).
17. A. J. Wilkinson and P. B. Hirsch, Philos. Mag. A 72, 81 (1995).
18. J. Y. Tsao, IEEE Circuits Syst. Mag. 20, 28 (2004).
19. T. Miyajima, T. Hino, S. Tomiya, K. Yanashima, H. Nakajima, T. Araki, Y. Nanishi, A. Satake, Y. Masumoto, K. Akimoto, T. Kobayashi, and M. Ikeda, Phys. Status Solidi B 228, 395 (2001).
20. A. Gustafsson, M. Pistol, L. Montelius, and L. Samuelson, J. Appl. Phys. 84, 1715 (1998).