Electron channeling contrast imaging of atomic steps and threading dislocations in 4H-SiC

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 23, 2007, Pages

  Picard, Y N ^a   Twigg, M E ^a   Caldwell, J D ^a   Eddy Jr , C R ^a   Neudeck, P G ^b   Trunek, A J ^c   Powell, J A ^d  

^a NAVAL RESEARCH LABORATORY   (United States)

^b NASA GLENN RESEARCH CENTER   (United States)

^c OHIO AEROSPACE INSTITUTE   (United States)

^d Sest Inc   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC FORCE MICROSCOPY; CARRIER MOBILITY; CRYSTALLINE MATERIALS; DISLOCATIONS (CRYSTALS); EPITAXIAL FILMS; FILM GROWTH;

CRYSTALLINE SURFACES; ELECTRON CHANNELING CONTRAST IMAGING (ECCI); THREADING DISLOCATIONS;

SILICON CARBIDE;

EID: 34250743630     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2746075     Document Type: Article

References (17)

1. L. Liu and J. H. Edgar, Mater. Sci. Eng., R. 37, 61 (2002).
2. S. Tanaka, R. S. Kern, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 66, 37 (1995).
3. N. D. Bassim, M. E. Twigg, M. A. Mastro, C. R. Eddy, Jr., T. J. Zega, R. L. Henry, J. C. Culbertson, R. T. Holm, P. Neudeck, J. A. Powell, and A. J. Trunek, J. Cryst. Growth 304, 103 (2007).
4. J. A. Powell, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, G. M. Beheim, L. G. Matus, R. W. Hoffman, Jr., and L. J. Keys, Appl. Phys. Lett. 77, 1449 (2000).
5. N. D. Bassim, M. E. Twigg, C. R. Eddy, J. C. Culbertson, M. A. Mastro, R. L. Henry, R. T. Holm, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and J. A. Powell, Appl. Phys. Lett. 86, 021902 (2005).
6. J. D. Caldwell, M. A. Mastro, K. D. Hobart, O. J. Glembocki, C. R. Eddy, N. D. Bassim, R. T. Holm, R. L. Henry, M. E. Twigg, F. Kub, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and J. A. Powell, Appl. Phys. Lett. 88, 263509 (2006).
7. P. G. Neudeck, J. A. Powell, G. M. Beheim, E. L. Benavage, P. B. Abel, A. J. Trunek, D. J. Spry, M. Dudley, and W. M. Vetter, J. Appl. Phys. 92, 2391 (2002).
8. C. Trager-Cowan, F. Sweeney, P. W. Trimby, A. P. Day, A. Gholinia, N.-H. Schmidt, P. J. Parbrook, A. J. Wilkinson, and I. M. Watson, Phys. Rev. B 75, 085301 (2007).
9. P. Morin, M. Pitaval, D. Besnard, and G. Fontaine, Philos. Mag. A 40, 511 (1979).
10. J. Ahmed, A. J. Wilkinson, and S. G. Roberts, J. Microsc. 195, 197 (1999).
11. B. C. Ng, B. A. Simkin, and M. A. Crimp, Ultramicroscopy 75, 137 (1998).
12. A. J. Wilkinson, G. R. Anstis, J. T. Czernuszka, N. J. Long, and P. B. Hirsch, Philos. Mag. A 68, 59 (1993).
13. J. A. Powell, P. G. Neudeck, A. J. Trunek, and P. B. Abel, Mater. Sci. Forum 483-485, 753 (2005).
14. I. Horcas, R. Fernandez, J. M. Gomez-Rodriguez, J. Colchero, J. Gomez-Herrero, and A. M. Baro, Rev. Sci. Instrum. 78, 013705 (2007).
15. O. C. Wells, Appl. Phys. Lett. 16, 151 (1970).
16. H. Morko̧, S. Strite, G. B. Gao, M. E. Lin, B. Sverdlov, and M. Burns, J. Appl. Phys. 76, 1363 (1994).
17. P. W. Trimby and D. J. Prior, Tectonophysics 303, 71 (1999).