Atomically stepped glass surface formed by nanoimprint

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters

Volumn 46, Issue 12-16, 2007, Pages

  Akita, Yasuyuki ^a   Watanabe, Takahiro ^a   Hara, Wakana ^a   Matsuda, Akifumi ^a   Yoshimoto, Mamoru ^a  

^a Tokyo Institute of Technology ^*  (Japan)

Author keywords

Imprint; Nanowave; Oxide glass; Oxide glass nanoimprint; Sapphire

Indexed keywords

MORPHOLOGY; SAPPHIRE; SINGLE CRYSTALS;

GLASS PLATE; OXIDE GLASS NANOIMPRINT;

GLASS;

EID: 34547900277     PISSN: 00214922     EISSN: 13474065     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/JJAP.46.L342     Document Type: Article

References (16)

1. S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 3114.
2. S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom: Science 272 (1996) 85.
3. B. Heidari, I. Maximov, E. L. Sarwe, and L. Montelius: J. Vac. Sci. Technol. B 17 (1999) 2961.
4. T. Morita, K. Watanabe, R. Kometani, K. Kanda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Tajima, and S. Matsui: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 3874.
5. Y. Hirai, K. Hanakugi, T. Yamaguchi, K. Yao, S. Kitagawa, and Y. Tanaka: Microelectron. Eng. 67-68 (2003) 237.
6. S. Y. Chou, P. R. Krauss, W. Zhang, L. Guo, and L. Zhuang: J. Vac. Sci. Technol. B 15 (1997) 2897.
7. S. W. Pang, T. Tamamura, M. Nakao, A. Ozawa, and H. Masuda: J. Vac. Sci. Technol. B 16 (1998) 1145.
8. S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom: J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 4129.
9. M. Li, J. Wang, L. Zhuang, and S. Y. Chou: Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 673.
10. K. Watanabe, T. Morita, R. Kometani, T. Hoshino, K. Kondo, K. Kaneda, Y. Haruyama, T. Kaito, J. Fujita, M. Ishida, Y. Ochiai, T. Tajima, and S. Matsui: J. Vac. Sci. Technol. B 22 (2004) 22.
11. F. Hua, Y. Sun, A. Gaur, M. A. Meitl, L. Bilhaut, L. Rotkina, J. Wang, P. Geil, M. Shim, J. A. Rogers, and A. Shim: Nano Lett. 4 (2004) 2467.
12. M. Yoshimoto, T. Maeda, T. Ohnishi, H. Koinuma, O. Ishiyama, M. Shinohara, M. Kubo, R. Miura, and A. Miyamoto: Appl. Phys. Lett. 67 (1995) 2615.
13. S. Akiba, W. Hara, T. Watanabe, A. Matsuda, M. Kasahara, and M. Yoshimoto: Appl. Surf. Sci. 253 (2007) 4512.
14. M. Takahashi, K. Sugimoto, and R. Maeda: Jpn. J. Appl. Phys. 44 (2005) 5600.
15. K. Ishihara, M. Fujita, I. Matsubara, T. Asano, and S. Noda: Jpn. J. Appl. Phys. 45 (2006) L210.
16. S. Y. Youn, M. Takahashi, H. Goto, and R. Maeda: J. Micromech. Microeng. 16 (2006) 2576.