Spherical nanoindentation and deformation mechanisms in freestanding GaN films

Journal of Applied Physics

Volumn 101, Issue 8, 2007, Pages

  Basu, Sandip ^a   Barsoum, Michel W ^a   Williams, Adrian D ^b   Moustakas, T D ^b  

^a Drexel University   (United States)

^b Boston University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DEFORMATION; DISLOCATIONS (CRYSTALS); ELASTIC MODULI; NANOINDENTATION; SEMICONDUCTING FILMS; STRESS-STRAIN CURVES;

GAN FILMS; INCIPIENT KINK BANDS; SPHERICAL NANOINDENTATION; SURFACE DEFECT CONCENTRATIONS;

GALLIUM NITRIDE;

EID: 34247613018     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2719016     Document Type: Conference Paper

References (39)

1. S. J. Pearton, J. C. Zolper, R. J. Shul, and F. Ren, J. Appl. Phys. 86, 1 (1999).
2. S. J. Pearton, F. Ren, A. P. Zhang, G. Dang, X. A. Cao, and K. P. Lee, Mater. Sci. Eng., B 82, 227 (2001).
3. C. H. Oxley, Solid-State Electron. 48, 1197 (2004).
4. L. Liu and J. H. Edgar, Mater. Sci. Eng., R. 37, 61 (2002).
5. H. M. Kim, J. E. Oh, and T. W. Kang, Mater. Lett. 47, 276 (2001).
6. K. Motoki, T. Okahisa, S. Nakahata, A. Matsumoto, H. Kimura, and H. Kasai, Mater. Sci. Eng., B 93, 123 (2002).
7. R. P. Vaudo, G. R. Brandes, J. S. Flynn, X. Xu, M. F. Chriss, C. S. Christos, D. M. Keogh, and F. D. Tamweber, IWN 2000., IPAP Conference Series C1, Nagoya, Japan, 2000, p. 15.
8. Y. Oshima, T. Eri, M. Shibata, H. Sunakawa, K. Kaboyashi, T. Ichihashi, and A. Usui, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 42, L1 (2003).
9. G. Yu, H. Ishikawa, T. Egawa, T. Soga, J. Watanabe, T. Jimbo, and M. Umeno, J. Cryst. Growth 189/190, 701 (1998).
10. S. O. Kucheyev, J. E. Bradby, J. S. Williams, C. Jagadish, and M. V. Swain, Appl. Phys. Lett. 77, 3373 (2000).
11. R. Navamathavan, Y. T. Moon, G. S. Kim, T. G. Lee, J. H. Hahn, and S. J. Park, Mater. Chem. Phys. 99, 410 (2006).
12. D. Caceres, I. Vergara, R. Gonzalez, E. Monroy, F. Calle, E. Munoz, and F. Omnes, J. Appl. Phys. 86, 6773 (1999).
13. R. Nowak, M. Pessa, M. Suganuma, M. Leszczynski, I. Grzegory, S. Porowski, and F. Yoshida, Appl. Phys. Lett. 75, 2070 (1999).
14. J. E. Bradby, S. O. Kucheyev, J. S. Williams, J. Wong-Leung, M. V. Swain, P. Munroe, G. Li, and M. R. Phillips, Appl. Phys. Lett. 80, 383 (2002).
15. S. Basu and M. W. Barsoum, J. Mater. Res. (Submitted).
16. A. Murugaiah, M. W. Barsoum, S. R. Kalidindi, and T. Zhen, J. Mater. Res. 19, 1139 (2004).
17. S. Basu, A. Moseson, and M. W. Barsoum, J. Mater. Res. 21, 2628 (2006).
18. S. Basu, M. W. Barsoum, and S. R. Kalidindi, J. Appl. Phys. 99, 063501 (2006).
19. M. W. Barsoum, A. Murugaiah, S. R. Kalidindi, and T. Zhen, Phys. Rev. Lett. 92, 255508 (2004).
20. M. W. Barsoum, A. Murugaiah, S. R. Kalidindi, and Y. Gogotsi, Carbon 42, 1435 (2004).
21. E. G. Herbert, G. M. Pharr, W. C. Oliver, B. N. Lucas, and J. L. Hay, Thin Solid Films 398-399, 331 (2001).
22. N. Iwashita, M. V. Swain, J. S. Field, N. Ohta, and S. Bitoh, Carbon 39, 1525 (2001).
23. C. R. Eddy, T. D. Moustakas, and J. Scanlon, J. Appl. Phys. 73, 448 (1993).
24. A. D. Williams and T. D. Moustakas, J. Cryst. Growth 300, 37 (2007).
25. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 19, 3 (2004).
26. J. S. Field and M. V. Swain, J. Mater. Res. 10, 101 (1995).
27. D. Tabor, Hardness of Metals (Clarendon, Oxford, U. K., 1951).
28. U. Ozgur, Y. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S. J. Cho, and H. Morkoc, J. Appl. Phys. 98, 041301 (2005).
29. J. J. Vlassak and W. D. Nix, J. Mech. Phys. Solids 42, 1223 (1994).
30. M. D. Drory, J. W. Ager III, T. Suski, I. Grzegory, and S. Porowski, Appl. Phys. Lett. 69, 4044 (1996).
31. R. Nowak, C. L. Li, and M. V. Swain, Mater. Sci. Eng., A 253, 167 (1998).
32. V. A. Coleman, J. E. Bradby, C. Jagadish, P. Munroe, Y. W. Heo, S. J. Pearton, D. P. Norton, M. Inoue, and M. Yano, Appl. Phys. Lett. 86, 203105 (2005).
33. M. W. Barsoum, T. Zhen, A. Zhou, S. Basu, and S. R. Kalidindi, Phys. Rev. B 71, 134101 (2005).
34. M. W. Barsoum, T. Zhen, S. R. Kalidindi, M. Radovic, and A. Murugahiah, Nat. Mater. 2, 107 (2003).
35. F. C. Frank and A. N. Stroh, Proc. Phys. Soc. London, Sect. B 65, 811 (1952).
36. A. G. Zhou, M. W. Barsoum, S. Basu, S. R. Kalidindi, and T. El-Raghy, Acta Mater. 54, 1631 (2006).
37. M. Hermann, D. Gogova, D. Siche, M. Schmidbauer, B. Monemar, M. Stutzmann, and M. Eickhoff, J. Cryst. Growth 293, 462 (2006).
38. J. M. Molina-Aldareguia, J. Emmerlich, J. Palmquist, U. Jansson, and L. Hultman, Scr. Mater. 49, 155 (2003).
39. B. J. Kooi, R. J. Poppen, N. J. M. Carvalho, J. T. M. DeHosson, and M. W. Barsoum, Acta Mater. 51, 2859 (2003).