Adsorption-desorption noise influence on mass sensitivity and dynamic range of nanoresonators with rough surfaces

Journal of Applied Physics

Volumn 101, Issue 7, 2007, Pages

  Palasantzas, G ^a  

^a UNIVERSITY OF GRONINGEN   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ADSORPTION-DESORPTION NOISE; MASS SENSITIVITY; NANORESONATORS; ROUGHNESS RATIO;

CORRELATION METHODS; NANOTECHNOLOGY; SPURIOUS SIGNAL NOISE; SURFACE ROUGHNESS;

RESONATORS;

EID: 34247234052     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2714792     Document Type: Article

References (48)

1. M. L. Routes, Phys. World 14, 25 (2001).
2. A. N. Cleland and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 69, 2653 (1996).
3. A. Cleland, Foundations of Nanomechanics (Springer, New York, 2003).
4. K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005);
5. K. L. Ekinci, Y. T. Yang, and M. L. Roukes, J. Appl. Phys. 95, 2682 (2004).
6. A. N. Cleland and M. L. Roukes, J. Appl. Phys. 92, 2758 (2002).
7. K. C. Schwab and M. L. Roukes, Phys. Today 36 (2005).
8. V. Sazonova, Y. Yaish, H. Ustunel, D. Roundy, T. A. Arias, and P. L. McEuen, Nature (London) 431, 284 (2004).
9. A. B. Hutchinson, P. A. Truitt, K. C. Schwab, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and J. E. Butler, Appl. Phys. Lett. 84, 972 (2004).
10. D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, Appl. Phys. Lett. 75, 920 (1999);
11. L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, T. Reygelson, B. H. Houston, and J. E. Butler, ibid. 81, 4455 (2002).
12. S. Evoy, A. Olkhovets, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and D. W. Carr, Appl. Phys. Lett. 77, 2397 (2000).
13. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 9, 117 (2000).
14. M. L. Roukes, 14, 25 (2001);
15. in Technical Digest of the 2000 Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head, SC, 4 June 2000.
16. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, and D. Rugar, Proceedings of the Solid-State Sensor and Actuator Workshop, Hilton Head Island, SC (IEEE, New York, 1998), p. 65.
17. J. Yang, T. Ono, and M. Esashi, Appl. Phys. Lett. 77, 3860 (2000).
18. X. M. H. Huang, C. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, Nature (London) 421, 496 (2003).
19. K. L. Ekinci, Y. T. Yang, X. M. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 81, 2253 (2002).
20. M. L. Roukes, Physica B 263, 1 (1999).
21. R. B. Bhiladvala and Z. J. Wang, Phys. Rev. E 69, 036307 (2004).
22. X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005);
23. H. E. Bömmel and R. Dransfeld, Phys. Rev. 117, 1245 (1960);
24. C. Zener, ibid. 53, 90 (1938).
25. X. M. H. Huang, Ph.D. thesis, California Institute of Technology, 2004.
26. G. Palasantzas, Appl. Phys. Lett. 90, 041914 (2007).
27. Y. K. Yong and J. R. Vig, IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control 36, 452 (1989);
28. Y. K. Yong and J. R. Vig, ibid. 37, 543 (1990).
29. B. N. J. Persson and E. J. Tosatti, J. Chem. Phys. 115, 5597 (2001).
30. G. Palasantzas and J. Th. M. DeHosson, Phys. Rev. E 67, 021604 (2003);
31. G. Palasantzas, ibid. 56, 1254 (1997).
32. P. Meakin, Phys. Rep. 235, 1991 (1994);
33. J. Krim and G. Palasantzas, Int. J. Mod. Phys. B 9, 599 (1995);
34. Y.-P. Zhao, G.-C. Wang, and T.-M. Lu, Characterization of Amorphous and Crystalline Rough Surfaces: Principles and Applications, Experimental Methods in the Physical Science Vol. 37 (Academic, New York, 2001).
35. G. Palasantzas, Phys. Rev. B 48, 14472 (1993);
36. 49, 5785 (1994).
37. S. K. Sinha, E. B. Sirota, S. Garoff, and H. B. Stanley, Phys. Rev. B 38, 2297 (1988);
38. H. N. Yang and T. M. Lu, ibid. 51, 2479 (1995).
39. G. Palasantzas, Phys. Rev. E 56, 1254 (1997).
40. A. Groß, B. Hammer, M. Scheffler, and W. Brenig, Phys. Rev. Lett. 73, 3121 (1994);
41. A. Groß, J. Chem. Phys. 102, 5045 (1995).
42. G. R. Darling and S. Holloway, Surf. Sci. 304, L461 (1994).
43. D. S. Greywall, B. Yurke, P. A. Busch, A. N. Pargellis, and R. L. Willett, Phys. Rev. Lett. 72, 2992 (1994);
44. K. L. Turner, S. A. Miller, P. G. Hartwell, N. C. MacDonald, S. H. Strogatz, and S. G. Adams, Nature (London) 396, 149 (1998);
45. M. F. Yu, G. J. Wagner, R. S. Ruoff, and M. J. Dyer, Phys. Rev. B 66, 073406 (2002).
46. D. W. Carr, S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, Appl. Phys. Lett. 77, 1545 (2000);
47. D. V. Scheible, A. Erbe, R. H. Blick, and G. Corso, ibid. 81, 1884 (2002);
48. R. Lifshitz and M. C. Cross, Phys. Rev. B 67, 134302 (2003).