Fabrication and device characteristics of Schottky-type bulk GaN-based "visible-blind" ultraviolet photodetectors

Applied Physics Letters

Volumn 90, Issue 12, 2007, Pages

  Zhou, Yi ^a   Ahyi, Claude ^a   Tin, Chin Che ^a   Williams, John ^a   Park, Minseo ^a   Kim, Dong Joo ^b   Cheng, An Jen ^b   Wang, Dake ^c   Hanser, Andrew ^d   Preble, Edward A ^d   Williams, N Mark ^d   Evans, Keith ^d  

^a AUBURN UNIVERSITY   (United States)

^b AUBURN UNIVERSITY   (United States)

^c FURMAN UNIVERSITY   (United States)

^d KYMA TECHNOLOGIES INC   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GALLIUM NITRIDE; MICROFABRICATION; RAPID THERMAL ANNEALING; SCHOTTKY BARRIER DIODES; THERMAL EFFECTS; WAVELENGTH;

BROADBAND ILLUMINATION; OPEN-CIRCUIT VOLTAGE; SEMITRANSPARENT SCHOTTKY CONTACTS; ULTRAVIOLET (UV) PHOTODETECTORS;

ULTRAVIOLET DETECTORS;

EID: 33947582426     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2715114     Document Type: Article

References (25)

1. E. Monroy, E. Munoz, F. J. Sanchez, F. Calle, E. Calleja, B. Beaumont, P. Gibart, J. A. Munoz, and F. Cusso, Semicond. Sci. Technol. 43, 1042 (1998).
2. D. Walker, A. Saxier, P. Kung, X. Zhang, M. Hamilton, J. Diaz, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 72, 3303 (1998).
3. A. Osinsky, S. Gangopadhyay, R. Gaska, B. Williams, M. A. Khan, D. Kukenkov, and H. Temkin, Appl. Phys. Lett. 71, 2334 (1997).
4. D. Walker, E. Monroy, P. Kung, J. Wu, M. Hamilton, F. J. Sanchez, J. Diaz, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 74, 762 (1999).
5. J. C. Carrano, T. Li, P. A. Grudowski, C. J. Eiting, R. D. Dupuis, and J. C. Campbell, J. Appl. Phys. 83, 6148 (1998).
6. Y. Chiou, J. Electrochem. Soc. 152, G639 (2005).
7. E. Monroy, F. Calle, E. Munoz, F. Omnes, P. Gibart, and J. A. Munoz, Appl. Phys. Lett. 73, 2146 (1998).
8. M. L. Lee, J. K. Sheu, W. C. Lai, S. J. Chang, Y. K. Su, M. G. Chen, C. J. Kao, G. C. Chi, and J. M. Tsai, Appl. Phys. Lett. 82, 2913 (2003).
9. O. Katz, G. Bahir, and J. Salzman, Appl. Phys. Lett. 84, 4092 (2004).
10. S. Butun, M. Gokkavas, H. Yu, and E. Ozbay, Appl. Phys. Lett. 89, 073503 (2006).
11. J. B. Limb, D. Yoo, J. H. Ryou, W. Lee, S. C. Shen, R. D. Dupuis, M. L. Reed, C. J. Collins, M. Wraback, D. Hanser, E. Preble, N. M. Williams, and K. Evans, Appl. Phys. Lett. 89, 011112 (2006).
12. J. K. Kim, H. W. Jang, C. M. Jeon, and J. Lee, Appl. Phys. Lett. 81, 4655 (2002).
13. M. L. Lee, J. K. Sheu, W. C. Lai, Y. K. Su, S. J. Chang, C. J. Kao, C. J. Tun, M. G. Chen, W. H. Chang, G. C. Chi, and J. M. Tsai, J. Appl. Phys. 94, 1753 (2003).
14. J. W. P. Hsu and M. J. Manfra, Appl. Phys. Lett. 81, 79 (2002).
15. J. E. Northrup, Appl. Phys. Lett. 78, 2288 (2001).
16. H. Zhang, E. J. Miller, and E. T. Yu, J. Appl. Phys. 99, 023703 (2006).
17. Y. Zhou, M. Li, D. Wang, C. Ahyi, C.-C. Tin, J. Williams, M. Park, N. M. Williams, and A. Hanser, Appl. Phys. Lett. 88, 113509 (2006).
18. T. Sawada, Y. Ito, K. Imai, K. Suzuki, H. Tomozawa, and S. Sakai, Appl. Surf. Sci. 159/160, 449 (2000).
19. D. J. As, S. Potthast, J. Fernandez, J. Schormann, K. Lischka, H. Nagasawa, and M. Abe, Appl. Phys. Lett. 88, 152112 (2006).
20. N. G. Weimann, L. F. Eastman, D. Doppalapudi, H. M. Ng, and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. 83, 3656 (1998).
21. H. M. Ng, D. Doppalapudi, T. D. Moustakas, N. G. Weimann, and L. F. Eastman, Appl. Phys. Lett. 73, 821 (1998).
22. M. Misra, A. V. Sampath, and T. D. Moustakas, Appl. Phys. Lett. 76, 1045 (2000).
23. O. Katz, V. Garber, B. Meyler, G. Bahir, and J. Salzman, Appl. Phys. Lett. 80, 347 (2002).
24. J. D. Guo, F. M. Pan, M. S. Feng, R. J. Guo, P. F. Chou, and C. Y. Chang, J. Appl. Phys. 80, 1623 (1996).
25. O. Katz, V. Garber, B. Meyler, G. Bahir, and J. Salzman, Appl. Phys. Lett. 79, 1417 (2001).