Investigation of the interaction of a laser pulse with a preformed Gaussian Sn plume for an extreme ultraviolet lithography source

Journal of Applied Physics

Volumn 101, Issue 2, 2007, Pages

  Tao, Y ^a,b   Tillack, M S ^c   Harilal, S S ^c   Sequoia, K L ^c   Najmabadi, F ^c  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA SAN DIEGO   (United States)

^c NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GAUSSIAN FUNCTION; ION ACCELERATION; LASER ABSORPTION; LASER PLASMA INTERACTION;

ENERGY CONVERSION; KINETIC ENERGY; LIGHT SOURCES; LITHOGRAPHY;

LASER PULSES;

EID: 33847730710     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2426883     Document Type: Article

References (31)

1. P. J. Silverman, J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 4, 011006 (2005).
2. Y. Shimada, Appl. Phys. Lett. 86, 051501 (2005).
3. J. P. Allain, Proc. SPIE 5751, 1110 (2005).
4. P. Mora, Phys. Rev. Lett. 90, 185002 (2003).
5. P. Mora, Phys. Plasmas 12, 112102 (2005).
6. T. Grismayer and P. Mora, Phys. Plasmas 13, 032103 (2006).
7. A. J. Mackinnon, Phys. Rev. Lett. 86, 1769 (2001).
8. K. Matsukado, Phys. Rev. Lett. 91, 215001 (2003).
9. Y. Tao and M. S. Tillack, Appl. Phys. Lett. 89, 111502 (2006).
10. Y. Tao, S. S. Harilal, M. S. Tillack, K. L. Sequoia, B. O'Shay, and F. Najmabadi, Opt. Lett. 31, 2492 (2006).
11. A. Cummings, J. Phys. D 37, 2376 (2004).
12. G. O'Sullivan, Proc. SPIE 5196, 273 (2004).
13. C.-S. Koay, S. George, K. Takenoshita, R. Bernath, E. Fujiwara, M. Richardson, and V. Bakshi, Proc. SPIE 5751, 279 (2005).
14. J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
15. J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
16. J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
17. J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
18. M. S. Tillack, D. Blair, and S. S. Harilal, Nanotechnology 15, 390 (2004).
19. E. D. Palik, Handbook of Optical Constants of Solids III (Academic, San Diego, 1998).
20. Y. Tao, Appl. Phys. Lett. 86, 201501 (2005).
21. Y. Tao, Appl. Phys. Lett. 85, 1919 (2004).
22. T. Aota and T. Tomie, Phys. Rev. Lett. 94, 015004 (2005).
23. S. Fujioka, Phys. Rev. Lett. 95, 235004 (2005).
24. Y. Tao, Appl. Phys. Lett. 87, 241502 (2005).
25. W. L. Kruer, The Physics of Laser Plasma Interactions (Addison-Wesley, New York, 1988).
26. J. S. De Groot, S. M. Cameron, K. Mizunoa, K. G. Estabrook, R. P. Drake, W. L. Kruer, and P. E. Young, Phys. Fluids B 0899-8221 10.1063/1.859817 3, 1241 (1991); J. S. De Groot, K. G. Estabrook, W. L. Kruer, R. P. Drake, K. Mizuno, and S. M. Cameron, Phys. Fluids B 4, 701 (1992).
27. J. S. De Groot, S. M. Cameron, K. Mizunoa, K. G. Estabrook, R. P. Drake, W. L. Kruer, and P. E. Young, Phys. Fluids B 0899-8221 10.1063/1.859817 3, 1241 (1991); J. S. De Groot, K. G. Estabrook, W. L. Kruer, R. P. Drake, K. Mizuno, and S. M. Cameron, Phys. Fluids B 4, 701 (1992).
28. T. Okuno, Appl. Phys. Lett. 88, 161501 (2006).
29. S. S. Harilal, M. S. Tillack, Y. Tao, B. O'Shay, R. Paguio, and A. Nikroo, Opt. Lett. 31, 1549 (2006).
30. H. W. Choi, J. Opt. Soc. Am. B 17, 1616 (2000).
31. G. D. O'Sullivan and R. Faulkner, Opt. Eng. (Bellingham) 33, 3978 (1994).