메뉴 건너뛰기




Volumn 101, Issue 2, 2007, Pages

Investigation of the interaction of a laser pulse with a preformed Gaussian Sn plume for an extreme ultraviolet lithography source

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GAUSSIAN FUNCTION; ION ACCELERATION; LASER ABSORPTION; LASER PLASMA INTERACTION;

EID: 33847730710     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2426883     Document Type: Article
Times cited : (61)

References (31)
  • 14
    • 32444442560 scopus 로고    scopus 로고
    • 0003-6951 10.1063/1.2172406
    • J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
    • (2006) Appl. Phys. Lett. , vol.88 , pp. 061111
    • Ren, J.1    Yin, X.2    Orlov, S.S.3    Hesselink, L.4
  • 15
    • 0002001011 scopus 로고    scopus 로고
    • 0003-6951 10.1063/1.125894
    • J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
    • (2000) Appl. Phys. Lett. , vol.76 , pp. 783
    • Yoo, J.H.1    Jeong, S.H.2    Mao, X.L.3    Greif, R.4    Russo, R.E.5
  • 16
    • 0000775563 scopus 로고    scopus 로고
    • 0021-8979 10.1063/1.373865
    • J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
    • (2000) J. Appl. Phys. , vol.88 , pp. 1638
    • Yoo, J.H.1    Jeong, S.H.2    Mao, X.L.3    Greif, R.4    Russo, R.E.5
  • 17
    • 79956041274 scopus 로고    scopus 로고
    • J. Ren, X. Yin, S. S. Orlov, and L. Hesselink, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2172406 88, 061111 (2006); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.125894 76, 783 (2000); J. H. Yoo, S. H. Jeong, X. L. Mao, R. Greif, and R. E. Russo, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.373865 88, 1638 (2000); Q. Lu, S. S. Mao, and R. E. Russo, Appl. Phys. Lett. 80, 3072 (2002).
    • (2002) Appl. Phys. Lett. , vol.80 , pp. 3072
    • Lu, Q.1    Mao, S.S.2    Russo, R.E.3


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.