Synthesis and mechanical properties of cubic boron nitride/nanodiamond composite films

Chemical Vapor Deposition

Volumn 12, Issue 1, 2006, Pages 33-38

  Chong, Yat Ming ^a   Ma, Kwok Leung ^a   Leung, Kar Man ^a   Chan, Chit Yiu ^a   Ye, Qing ^a   Bello, Igor ^a   Zhang, Wenjun ^a   Lee, Shuit Tong ^a  

^a CITY UNIVERSITY OF HONG KONG   (Hong Kong)

Author keywords

Composite films; Cubic boron nitride; Mechanical properties; Nanodiamond

Indexed keywords

ADHESION; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COMPOSITE MATERIALS; DIAMONDS; FILMS; MECHANICAL PROPERTIES; SILICON; SYNTHESIS (CHEMICAL);

COMPOSITE FILMS; DIRECT GROWTH; NANOCRYSTALLINE DIAMOND; NANODIAMOND;

CUBIC BORON NITRIDE;

EID: 31644442898     PISSN: 09481907     EISSN: 15213862     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/cvde.200506422     Document Type: Review

References (53)

1. W. Muller Sebert, E. Worner, F. Fuchs, C. Wild, P. Koidl, Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 759.
2. P. K. Bachmann, W. van Enckevort, Diamond Relat. Mater. 1992, 1, 1021.
3. M. W. Cook, P. K. Bossom, Int. J. Refract. Met. Hard Mater. 2000, 18, 147.
4. K. Patel, K. Hashimoto, A. Fujishima, Denki Kagaku 1992, 60, 659.
5. H. C. Shih, C. P. Sung, W. L. Fan, C. K. Lee, Surf. Coating Technol. 1993, 57, 197.
6. J. H. Edgar, S. Strite, I. Akasaki, H. Amano, C. Wetze, Properties, Processing, and Applications of Gallium Nitride and Related Semiconductors, Vol. 23, IEE, INSPEC, London 1999.
7. N. Miyata, K. Moriki, O. Mishima, M. Fujisawa, T. Hattori, Phys. Rev. B 1989, 40, 12 028.
8. G. Davies, in Diamond Optics (Eds: A. Feldman, S. Holly), SPIE, Bellingham, WA 1988.
9. V. L. Solozhenko, V. Z. Turkevich, W. B. Holzapfel, J. Phys. Chem. B 1999, 103, 2903.
10. S. Ulrich, J. Schwan, W. Donner, H. Ehrhardt, Diamond Relat. Mater. 1996, 5, 548.
11. G. Demazeau, Diamond Relat. Mater. 1995, 4, 284.
12. H. C. Hwang, J. H. Henkel, Phys. Rev. B 1978, 17, 4100.
13. S. Bhattacharyya, O. Auciello, J. Birrell, J. A. Carlisle, L. A. Curtiss, A. N. Goyette, D. M. Gruen, A. R. Krauss, J. Schlueter, A. Sumant, P. Zapol, Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 1441.
14. N. M. Hwang, J. H. Hahn, D. Y. Yoon, J. Cryst Growth 1996, 162, 55.
15. T. Kawato, K. Kondo, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 1987, 26, 1429.
16. S. T. Lee, Z. D. Lin, X. Jiang, Mater. Sci. Eng. R-Rep. 1999, 25, 123.
17. D. M. Gruen, X. Z. Pan, A. R. Krauss, S. Z. Liu, J. S. Luo, C. M. Foster, J. Vac. Sci. Technol. A 1994, 12, 1491.
18. F. J. Gordillo-Vazquez, J. M. Albella, J. Appl. Phys. 2003, 94, 6085.
19. J. M. Lopez, F. J. Gordillo-Vazquez, J. M. Albella, Appl. Surf. Sci. 2002, 185, 321.
20. L. C. Hian, K. J. Grehan, R. G. Compton, J. S. Foord, F. Marken, J. Electrochem. Soc. 2003, 150, E59.
21. M. Satou, F. Fujimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 1983, 22, L171.
22. K. Bewilogua, Vide-Sci. Technol. Appl. 1996, 52, 213.
23. H. Hofsass, C. Ronning, U. Griesmeier, M. Gross, S. Reinke, M. Kuhr, J. Zweck, R. Fischer, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 1995, 106, 153.
24. M. Okamoto, Y. Utsumi, Y. Osaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 1990, 29, L1004.
25. W. J. Zhang, C. Y. Chan, K. M. Chan, I. Bello, Y. Lifshitz, S. T. Lee, Appl. Phys. A-Mater. Sci. Process. 2003, 76, 953.
26. H. Saitob, W. A. Yarbrough, Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 2482.
27. H. Saitoh, W. A. Yarbrough, Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 2228.
28. X. Y. Ma, J. S. Yue, D. Y. He, G. G. Chen, Mater. Lett. 1998, 36, 206.
29. M. Okamoto, H. Yokoyama, Y. Osaka, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 1990, 29, 930.
30. M. Keunecke, K. Yamamoto, K. Bewilogua, Thin Solid Films 2001, 398, 142.
31. P. B. Mirkarimi, D. L. Medlin, K. F. McCarty, J. C. Barbour, Appl. Phys. Lett. 1995, 66, 2813.
32. W. Otano-Rivera, R. Messier, L. J. Pilione, J. J. Santiago, G. Lamaze, Diamond Relat. Mater. 2004, 13, 1690.
33. K. Yamamoto, M. Keunecke, K. Bewilogua, Thin Solid Films 2000, 377, 331.
34. Y. Setsuhara, T. Suzuki, Y. Tanaka, S. Miyake, M. Suzuki, M. Kumagai, K. Ogata, M. Kohata, K. Higeta, T. Einishi, Y. Suzuki, Y. Shimoitani, Y. Motonami, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. 1997, 127, 851.
35. Y. Setsuhara, M. Kumagai, M. Suzuki, T. Suzuki, S. Miyake, Surf Coating Technol. 1999, 119, 100.
36. Y. K. Yap, T. Aoyama, Y. Wada, M. Yoshimura, Y. Mori, T. Sasaki, Diamond Relat. Mater. 2000, 9, 592.
37. S. F. Wong, C. W. Ong, G. K. H. Pang, Q. Li, W. M. Lau, Diamond Relat. Mater. 2004, 13, 1632.
38. W. J. Zhang, I. Bello, Y. Lifshitz, K. M. Chan, X. M. Meng, Y. Wu, C. Y. Chan, S. T. Lee, Adv. Mater. 2004, 16, 1405.
39. X. W. Zhang, H. G. Boyen, N. Deyneka, P. Ziemann, F. Banhart, M. Schreck, Nat. Mater. 2003, 2, 312.
40. T. S. Yang, Y. P. Cheng, C. L. Cheng, M. S. Wong, Thin Solid Films 2004, 447, 136.
41. W. J. Zhang, S. Matsumoto, J. Mater. Res. 2000, 15, 2677.
42. S. Matsumoto, W. J. Zhang, Diamond Relat. Mater. 2001, 10, 1868.
43. S. Matsumoto, W. J. Zhang, New Diamond Front. Carbon Technol. 2001, 11, 1.
44. M. Lu, A. Bousetta, R. Sukach, A. Bensaoula, K. Walters, K. Eiperssmith, A. Schultz, Appl. Phys. Lett. 1994, 64, 1514.
45. A. C. Ferrari, J. Robertson, Phys. Rev. B 2001, 67, 121 405.
46. S. Reich, A. C. Ferrari, R. Arenal, A. Loiseau, I. Bello, J. Robertson, Phys. Rev. B 2005, 205 201.
47. W. J. Zhang, S. Matsumoto, J. Mater. Res. 2001, 16, 3430.
48. K. M. Chan, M. Phil Thesis, City University of Hong Kong 2004.
49. C. Y. Chan, W. J. Zhang, S. Matsumoto, I. Bello, S. T. Lee, J. Cryst. Growth 2003, 247, 438.
50. M. A. Djouadi, O. Banakh, A. Soltani, R. Sanjines, F. Levy, Thin Solid Films 2001, 398, 205.
51. A. Karimi, Y. Wang, T. Cselle, M. Morstein, Thin Solid Films 2002, 420, 275.
52. K. M. Leung, C. Y. Chan, Y. M. Chong, Y. Yao, K. L. Ma, I. Bello, W. J. Zhang, S. T. Lee, J. Phy. Chem. B 2005, 109, 16 272.
53. C. Sun, W. J. Zhang, N. Wang, C. Y. Chan, I. Bello, C. S. Lee, S. T. Lee, J. Appl. Phys. 2000, 88, 3354.