Kinetic control of Ge(Si)/Si(100) dome cluster composition

Applied Physics Letters

Volumn 87, Issue 22, 2005, Pages 1-3

  McDaniel, E P ^a   Jiang, Qian ^a   Crozier, P A ^a   Drucker, Jeff ^a   Smith, David J ^a  

^a ARIZONA STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CLUSTERS; DEPOSITION RATES; DOME CLUSTERS; INTERDIFFUSION;

DEPOSITION; DIFFUSION; ELECTRON ENERGY LOSS SPECTROSCOPY; GERMANIUM; MOLECULAR BEAM EPITAXY; OPTICAL RESOLVING POWER; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY;

REACTION KINETICS;

EID: 27944446429     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2135870     Document Type: Article

References (26)

1. J. Drucker, IEEE J. Quantum Electron. 38, 975 (2002).
2. G. Medeiros-Ribeiro, T. I. Kamins, D. A. A. Ohlberg, and R. S. Williams, Phys. Rev. B 58, 3533 (1998).
3. Y.-W. Mo, D. E. Savage, B. S. Swartzentruber, and M. G. Lagally, Phys. Rev. Lett. 65, 1020 (1990).
4. G. Medeiros-Ribeiro, A. M. Bratkovski, T. I. Kamins, D. A. A. Ohlberg, and R. S. Williams, Science 279, 535 (1998).
5. M. Tomitori, K. Watanabe, M. Kobayashia, and O. Nishikawa, Appl. Surf. Sci. 76, 322 (1994).
6. S. Chaparro, J. Drucker, D. Chandrasekhar, M. R. McCartney, and D. J. Smith, Phys. Rev. Lett. 83, 1199 (1999).
7. S. A. Chaparro, Y. Zhang, J. Drucker, D. Chandrasekhar, and D. J. Smith, J. Appl. Phys. 87, 2245 (2000).
8. J. Drucker, Y. Zhang, S. A. Chaparro, D. Chandrasekhar, M. R. McCartney, and D. J. Smith, Surf. Rev. Lett. 7, 527 (2000).
9. M. Floyd, Y. Zhang, K. P. Driver, J. Drucker, P. A. Crozier, and D. J. Smith, Appl. Phys. Lett. 82, 1473 (2003).
10. J. Wan, Y. H. Luo, Z. M. Jiang, G. Jin, J. L. Liu, K. L. Wang, X. Z. Liao, and J. Zou, J. Appl. Phys. 90, 4290 (2001).
11. G. Capellini, M. DeSeta, and F. Evangelisti, Appl. Phys. Lett. 78, 303 (2001).
12. X. Z. Liao, J. Zou, D. J. H. Cockayne, J. Wan, Z. M. Jiang, G. Jin, and K. L. Wang, Phys. Rev. B 65, 153306 (2002).
13. R. Magalhães-Paniago, G. Medeiros-Ribeiro, A. Malachias, S. Kycia, T. I. Kamins, and R. S. Williams, Phys. Rev. B 66, 245312 (2002).
14. A. Malachias, S. Kycia, G. Medeiros-Ribeiro, R. Magalhães-Paniago, T. I. Kamins, and R. S. Williams, Phys. Rev. Lett. 91, 176101 (2003).
15. M. De Seta, G. Capellini, F. Evangelisti, and C. Spinella, J. Appl. Phys. 92, 614 (2002).
16. U. Denker, M. Stoffel, and O. G. Schmidt, Phys. Rev. Lett. 90, 196102 (2003).
17. T. U. Schulli, J. Stangl, Z. Zhong, R. T. Lechner, M. Sztucki, T. H. Metzger, and G. Bauer, Phys. Rev. Lett. 90, 066105 (2003).
18. A. Malachias, S. Kycia, G. Medeiros-Ribeiro, R. Magalhaes-Paniago, T. I. Kamins, and R. S. Williams, Phys. Rev. Lett. 91, 176101 (2003).
19. J. A. Stroscio and D. T. Pierce, Phys. Rev. B 49, 8522 (1994).
20. D. D. Vvendensky, Phys. Rev. B 62, 15435 (2000).
21. C. Ratsch, A. Zangwill, P. Smilauer, and D. D. Vvedensky, Phys. Rev. Lett. 72, 3194 (1994).
22. G. Capellini, M. De Seta, and F. Evangelisti, J. Appl. Phys. 93, 291 (2003).
23. B. Cho, T. Schwarz-Selinger, K. Ohmori, D. G. Cahill, and J. E. Greene, Phys. Rev. B 66, 195407 (2002).
24. J. Drucker and S. Chaparro, Appl. Phys. Lett. 71, 614 (1997).
25. R. F. Egerton, Electron Energy-Loss Spectroscopy in the Electron Microscope (Plenum, New York, 1986).
26. J. A. Floro, G. A. Lucadamo, E. Chason, L. B. Freund, M. Sinclair, R. D. Twesten, and R. Q. Hwang, Phys. Rev. Lett. 80, 4717 (1998).