All-additive fabrication of inorganic logic elements by liquid embossing

Applied Physics Letters

Volumn 79, Issue 10, 2001, Pages 1525-1527

  Bulthaup, Colin A ^a   Wilhelm, Eric J ^a   Hubert, Brian N ^a   Ridley, Brent A ^a   Jacobson, Joseph M ^a  

^a MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0346789803     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1383269     Document Type: Article

References (30)

1. B. A. Ridley, B. Nivi, and J. M. Jacobson, Science 286, 746 (1999).
2. B. Ridley, B. Nivi, B. Hubert, C. Bulthaup, E. Wilhelm, and J. Jacobson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 581, 115 (1999).
3. C. Bulthaup, E. Wilhelm, B. Hubert, B. Ridley, and J. Jacobson, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 625, 135 (2000).
4. Y. Xia and G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 28, 153 (1998).
5. Z. Bao, J. A. Rogers, and H. E. Katz, J. Mater. Chem. 9, 1895 (1999).
6. A. Kumar, H. A. Biebuyck, and G. M. Whitesides, Langmuir 10, 1498 (1994).
7. Y. Xia, X.-M. Zhao, E. Kim, and G. M. Whitesides, Chem. Mater. 7, 2332 (1995).
8. Y. Xia, E. Kim, and G. M. Whitesides, J. Electrochem. Soc. 143, 1070 (1996).
9. Y. Xia, E. Kim, M. Mrksich, and G. M. Whitesides, Chem. Mater. 3, 601 (1996).
10. L. B. Goetting, T. Deng, and G. M. Whitesides, Langmuir 15, 1182 (1999).
11. T. K. Whidden, D. K. Ferry, M. N. Kozicki, E. Kim, A. Kumar, J. Wilbur, and G. M. Whitesides, Nanotechnology 7, 447 (1996).
12. D. Wang, S. G. Thomas, K. L. Wang, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 70, 1593 (1997).
13. P. M. St. John and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 68, 1022 (1996).
14. J. Hu, R. G. Beck, T. Deng, R. M. Westervelt, K. D. Maranowski, A. C. Gossard, and G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 71, 2020 (1997).
15. J. Hu, R. G. Beck, R. M. Westervelt, and G. M. Whitesides, Adv. Mater. 10, 574 (1998).
16. N. L. Jeon, J. Hu, G. M. Whitesides, M. K. Erhardt, and R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 10, 1466 (1998).
17. S. Chou, P. Krauss, and P. Renstrom, Science 272, 85 (1996).
18. L. Guo, P. R. Krauss, and S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 71, 1881 (1997).
19. Z. Yu, S. J. Schablitsky, and S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 74, 2381 (1999).
20. P. C. Hidber, W. Helbig, E. Kim, and G. M. Whitesides, Langmuir 12, 1375 (1996).
21. J. Wang, X. Sun, L. Chen, and S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 75, 2767 (1999).
22. J. A. Rogers, Z. Bao, and L. Dhar, Appl. Phys. Lett. 73, 294 (1998).
23. E. Kim, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Nature (London) 376, 581 (1995).
24. J. A. Rogers, Z. Bao, and V. R. Raju, Appl. Phys. Lett. 72, 2716 (1998).
25. C. Marzolin, S. P. Smith, M. Prentiss, and G. M. Whitesides, Adv. Mater. 10, 571 (1998).
26. O. Schuler, G. M. Whitesides, J. A. Rogers, M. Meier, and A. Dodabalapur, Appl. Opt. 38, 5799 (1999).
27. N. L. Jeon, I. S. Choi, B. Xu, and G. M. Whitesides, Adv. Mater. 11, 946 (1999).
28. W. S. Beh, I. T. Kim, D. Qin, Y. Xia, and G. M. Whitesides, Adv. Mater. 11, 1038 (1999).
29. H.-C. Scheer, H. Schulz, T. Hoffmann, and C. M. Sotomayor Torres, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3917 (1998).
30. C. Hayashi, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 1375 (1987).