Evolution of photoluminescent defect clusters in proton- and copper-implanted silicon crystals during annealing

Journal of Applied Physics

Volumn 94, Issue 5, 2003, Pages 3075-3081

  Nakamura, Minoru ^a,b   Murakami, Susumu ^a  

^a HITACHI LTD   (Japan)

^b NONE   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; COPPER; CRYSTAL DEFECTS; PHONONS; PHOTOLUMINESCENCE; SILICON;

PRECURSORS;

ION IMPLANTATION;

EID: 0141608038     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1593801     Document Type: Article

References (41)

1. T. Y. Tan, Philos. Mag. A 44, 101 (1981).
2. S. Takeda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 30, L639 (1991).
3. P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jarai'z, J. M. Poate, H. S. Luftman, and T. E. Haynes, J. Appl. Phys. 81, 6031 (1997).
4. L. H. Zhang, K. S. Jones, P. H. Chi, and D. S. Simons, Appl. Phys. Lett. 67, 2025 (1995).
5. S. Takeda, M. Kohyama, and K. Ibe, Philos. Mag. A 70, 287 (1994).
6. P. B. Rasband, P. Clancy, and M. O. Thompson, J. Appl. Phys. 79, 8998 (1996).
7. N. Arai, S. Takeda, and M. Kohyama, Phys. Rev. Lett. 78, 4265 (1997).
8. M. Tang, L. Colombo, J. Zhu, and T. D. Rubia, Phys. Rev. B 55, 14 279 (1997).
9. B. J. Coomer, J. P. Goss, R. Jones, S. Öberg, and P. R. Briddon, Physica B 273/274, 505 (1999).
10. L. Colombo, Physica B 273/274, 458 (1999).
11. R. J. Needs, J. Phys.: Condens. Matter 11, 10437 (1999).
12. J. Kim, F. Kirchhoff, J. W. Wilkins, and F. S. Khan, Phys. Rev. Lett. 84, 503 (2000).
13. S. K. Estreicher, M. Gharaibeh, P. A. Fedders, and P. Ordejon, Phys. Rev. Lett. 86, 1247 (2001), and references therein.
14. J. W. Corbett, J. P. Karins, and T. Y. Tan, Nucl. Instrum. Methods 182/183, 457 (1981).
15. B. G. Svensson, K. Johnsson, D-X. Xu, J. H. Svensson, and J. L. Lindström, Radiat. Eff. Defects Solids 111/112(1-2), 439 (1989).
16. G. D. Watkins, in Deep Centers in Semiconductors, 2nd ed., edited by S. T. Pantelides (Gordon and Breach, New York, 1992), p. 177.
17. C. G. Kirkpatrick, J. R. Noonan, and B. G. Streetman, Radiat. Eff. 30, 97 (1976).
18. C. G. Kirkpatrick, D. R. Myers, and B. G. Streetman, Radiat. Eff. 31, 175 (1977).
19. V. D. Tkachev and A. V. Mudryi, Inst. Phys. Conf. Ser. 31, 231 (1977).
20. N. S. Minaev, A. V. Mudrii, and V. D. Tkachev, Phys. Status Solidi B 108, K89 (1981).
21. G. Davies, E. C. Lightowlers, and Z. E. Ciechanowska, J. Phys. C 20, 191 (1987).
22. N. Bürger, E. Irion, A. Teschner, K. Thonke, and R. Sauer, Phys. Rev. B 35, 3804 (1987).
23. M. Nakamura, S. Nagai, Y. Aoki, and H. Naramoto, Appl. Phys. Lett. 72, 1347 (1998).
24. M. Nakamura, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 40, L1000 (2001).
25. M. Nakamura and S. Nagai, Phys. Rev. B 66, 155 204 (2002).
26. B. J. Coomer, J. P. Goss, R. Jones, S. Öberg, and P. R. Briddon, J. Phys.: Condens. Matter 13, L1 (2001).
27. Z. Ciechanowska, G. Davies, and E. C. Lightowlers, Solid State Commun. 49, 427 (1984).
28. S. Coffa, S. Libertino, and C. Spinella, Appl. Phys. Lett. 76, 321 (2000).
29. D. C. Schmidt, B. G. Svensson, M. Seibt, C. Jagadish, and G. Davies, J. Appl. Phys. 88, 2309 (2000).
30. S. Libertino, S. Coffa, and J. L. Benton, Phys. Rev. B 63, 195 206 (2001).
31. J. F. Ziegler, J. P. Biersack, and U. Littmark, in The Stopping and Range of Ions in Solid, edited by J. F. Ziegler (Pergamon Press, New York, 1985).
32. M. Nakamura, A. S. Byne, E. Kitamura, T. Suzuki, S. Nagai, H. Sunaga, Y. Aoki, and H. Naramoto, J. Appl. Phys. 78, 4407 (1995).
33. K. Terashima, T. Ikarashi, M. Watanabe, and T. Kitano, Mater. Sci. Forum 258/263, 587 (1997).
34. G. Davies, Phys. Rep. 176, 83 (1989).
35. J. L. Benton, K. Halliburton, S. Libertino, D. J. Eaglesham, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 84, 4749 (1998).
36. R. C. Newman and D. H. J. Totterdell, J. Phys. C 8, 3944 (1975).
37. H. Weman, J. L. Lindstrom, G. S. Oehrlein, and B. G. Svensson, J. Appl. Phys. 67, 1013 (1990).
38. H. Weman, B. Monemar, G. S. Oehrlein, and S. J. Jeng, Phys. Rev. B 42, 3109 (1990).
39. N. M. Johnson, D. K. Biegelsen, M. D. Moyer, S, T. Chang, E. H. Poindexter, and J. Caplan, Appl. Phys. Lett. 43, 563 (1983).
40. S. Binetti, S. Pizzini, E. Leoni, R. Somaschini, A. Castaldini, and A. Cavallini, J. Appl. Phys. 92, 2437 (2002).
41. I. A. Buyanova, W. M. Chen, A. Henry, W.-X. Ni, G. V. Hansson, and B. Monemar, Phys. Rev. B 52, 12006 (1995).