Synthesis of highly oriented, single-crystal silicon nanoparticles in a low-pressure, inductively coupled plasma

Journal of Applied Physics

Volumn 94, Issue 3, 2003, Pages 1969-1974

  Bapat, Ameya ^a   Perrey, Christopher R ^a   Campbell, Steven A ^a   Carter, C Barry ^a   Kortshagen, Uwe ^a  

^a University of Minnesota   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTAL ORIENTATION; ENERGY DISPERSIVE SPECTROSCOPY; INDUCTIVELY COUPLED PLASMA; MORPHOLOGY; PRESSURE EFFECTS; SILICON; SINGLE CRYSTALS; SURFACES; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

NON-UNIFORM MORPHOLOGIES;

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

EID: 0042934083     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1586957     Document Type: Article

References (38)

1. F. E. Kruis, H. Fissan, and A. Peled, J. Aerosol Sci. 29, 511 (1998).
2. C. J. Murphy and J. L. Coffer, Appl. Spectrosc. 56, 16A (2002).
3. M. L. Ostraat, J. W. De Blauwe, M. L. Green, L. D. Bell, M. L. Brongersma, J. Casperson, R. C. Flagan, and H. A. Atwater, Appl. Phys. Lett. 79, 433 (2001).
4. H. Hahn and R. S. Averback, J. Appl. Phys. 67, 1113 (1990).
5. M. R. Zachariah, M. I. Aquino, R. D. Shull, and E. B. Steel, Nanostruct. Mater. 5, 383 (1995).
6. K. Deppert, J.-O. Bovin, J.-O. Malm, and L. Samuelson, J. Cryst. Growth 169, 13 (1996).
7. N. P. Rao, N. Tymiak, J. Blum, A. Neuman, H. J. Lee, S. L. Girshick, P. H. McMurry, and J. Heberlein, J. Aerosol Sci. 29, 707 (1998).
8. R. P. Camata, H. A. Atwater, K. J. Vahala, and R. C. Flagan, Appl. Phys. Lett. 68, 3162 (1996).
9. A. Bouchoule and L. Boufendi, Plasma Sources Sci. Technol. 2, 204 (1993).
10. L. Boufendi and A. Bouchoule, Plasma Sources Sci. Technol. 3, 263 (1994).
11. C. Courteille, C. Hollenstein, J.-L. Dorier, P. Gay, W. Schwarzenbach, A. A. Howling, E. Bertran, G. Viera, R. Martins, and A. Mararico, J. Appl. Phys. 80, 2069 (1996).
12. Y. Watanabe and M. Shiratani, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 32, 3074 (1993).
13. U. Kortshagen and U. Bhandarkar, Phys. Rev. E 60, 887 (1999).
14. J.-L. Dorier, C. Hollenstein, A. A. Howling, C. Courteille, W. Schwarzenbach, A. Merad, and J. P. Boeuf, IEEE Trans. Plasma Sci. 24, 101 (1996).
15. A. Bouchoule and L. Boufendi, Plasma Sources Sci. Technol. 3, 293 (1994).
16. M. Otobe, T. Kanai, T. Ifuku, H. Yajima, and S. Oda, J. Non-Cryst. Solids 198-200, 875 (1996).
17. K. Nishiguchi, X. Zhao, and S. Oda, J. Appl. Phys. 92, 2748 (2002).
18. S. Banerjee, S. Huang, T. Yamanaka, and S. Oda, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 1135 (2002).
19. B. J. Hinds, T. Yamanaka, and S. Oda, J. Appl. Phys. 90, 6402 (2001).
20. K. Nishiguchi and S. Oda, J. Appl. Phys. 88, 4186 (2000).
21. S. Oda, Adv. Colloid Interface Sci. 71-72, 31 (1997).
22. A. F. i. Moral, R. Brenot, E. A. G. Hamers, R. Vanderhagen, and R. R. i. Cabarrocas, J. Non-Cryst. Solids 266-269, 48 (2000).
23. G. Viera, S. Huet, M. Mikikian, and L. Boufendi, Thin Solid Films 403, 467 (2002).
24. C. Courteille, J.-L. Dorier, J. Dutta, C. Hollenstein, and A. A. Howling, J. Appl. Phys. 78, 61 (1995).
25. T. Matsoukas, M. Russel, and M. Smith, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 624 (1996).
26. Y. Watanabe, M. Shiratani, H. Kawasaki, S. Singh, T. Fukuzawa, Y. Ueda, and H. Ohkura, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 540 (1996).
27. Y. Ishikawa, N. Shibata, and S. Fukatsu, Thin Solid Films 194, 227 (1997).
28. Y. Ishikawa, N. Shibata, and S. Fukatsu, J. Cryst. Growth 175/176, 493 (1997).
29. M. Okui, T. Saitou, Y. Ishikawa, N. Shibata, and Y. Ikuhara, J. Ceram. Soc. Jpn. 106, 1255 (1998).
30. K. D. Sorge, J. R. Thompson, T. C. Schulthess, F. A. Modine, T. E. Haynes, S.-i. Honda, A. Meldrum, J. D. Budai, C. W. White, and L. A. Boatner, IEEE Trans. Magn. 37, 2197 (2001).
31. M. A. Lieberman and A. J. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley and Sons, New York, 1994).
32. K. Urban and M. Lentzen, Miorosc. Microanal. 8 (sup. 2) (2002).
33. M. Lentzen, B. Jahnen, C. L. Jia, A. Thust, K. Tillmann, and K. Urban, Ultramicrosc. 92, 233 (2002).
34. C. L. Jia, M. Lentzen, and K. Urban, Science 299, 870 (2003).
35. M. Haider, S. Uhlemann, E. Schwan, H. Rose, B. Kabius, and K. Urban, Nature 392, 768 (1978).
36. M. Haider, H. Rose, S. Uhlemann, E. Schwan, B. Kabius, and K. Urban, Ultramicrosc. 75, 53 (1998).
37. D. B. Williams and C. B. Carter, Transmission Electron Microscopy: A Textbook for Materials Science (Plenum, New York, 1996).
38. K. K. Nanda, Eur. J. Phys. 19, 471 (1998).