Catalytic role of boron atoms in self-interstitial clustering in Si

Applied Physics Letters

Volumn 83, Issue 5, 2003, Pages 1047-1049

  Hwang, Gyeong S ^b   Goddard III, William A ^a,b  

^a CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (United States)

^b The University of Texas at Austin   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BORON; COMPUTER SIMULATION; DISSOLUTION; DOPING (ADDITIVES); KINETIC THEORY; PROBABILITY DENSITY FUNCTION; QUANTUM THEORY; SILICON;

SELF-INTERSITIAL CLUSTERING;

ATOMIC PHYSICS;

EID: 0042878635     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1596729     Document Type: Article

References (21)

1. E. C. Jones and E. Ishida, Mater. Sci. Eng., R. 24, (1998), and references cited therein.
2. G. D. Watkins, Phys. Rev. B 12, 5824 (1975).
3. L. H. Zhang, K. S. Jones, P. H. Chi, and D. S. Simons, Appl. Phys. Lett. 67, 2025 (1995).
4. A. D. Lilak, S. K. Earles, M. E. Law, and K. S. Jones, Appl. Phys. Lett. 74, 2038 (1999).
5. E. Schroer, V. Privitera, F. Priolo, E. Napolitani, and A. Camera, Appl. Phys. Lett. 74, 3996 (1999).
6. G. Mannino, N. E. B. Cowern, F. Roozeboom, and J. G. M. van Berkum, Appl. Phys. Lett. 76, 855 (2000).
7. X. Y. Liu, W. Windl, and M. P. Masquelier, Appl. Phys. Lett. 77, 2018 (2000).
8. T. J. Lenosky, B. Sadigh, S. K. Theiss, M. J. Caturla, and T. D. de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 77, 1834 (2000).
9. A. Agarwal, H. J. Gossmann, D. J. Eaglesham, S. B. Herner, A. T. Fiory, and T. E. Haynes, Appl. Phys. Lett. 74, 2331 (1999).
10. J. L. Benton, S. Libertino, P. Kringhøj, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 82, 120 (1997); J. L. Benton, K. Halliburton, S. Libertino, D. J. Eaglesham, and S. J. Coffa, Appl. Phys. Lett. 84, 4749 (1998).
11. J. L. Benton, S. Libertino, P. Kringhøj, D. J. Eaglesham, J. M. Poate, and S. Coffa, J. Appl. Phys. 82, 120 (1997); J. L. Benton, K. Halliburton, S. Libertino, D. J. Eaglesham, and S. J. Coffa, Appl. Phys. Lett. 84, 4749 (1998).
12. J. Hutter, A. Alavi, T. Deutch, M. Bernasconi, S. Goedecker, D. Marx, M. Tuckerman, and M. Parrinello, CPMD, MPI fuer Festkoerperforschung and IBM Zurich Research Laboratory 1995-1999.
13. S. Goedecker, M. Teter, and J. Hutter, Phys. Rev. B 54, 1703 (1996).
14. H. J. Monkhorst and J. D. Pack, Phys. Rev. B 13, 5188 (1976).
15. W. Windl, M. M. Bunea, R. Stumpf, S. T. Dunham, and M. P. Masquelier, Phys. Rev. Lett. 83, 4345 (1999).
16. J. Zhu, T. D. de la Rubia, L. H. Yang, C. Maihiot, and G. H. Gilmer, Phys. Rev. B 54, 4741 (1996), and references cited therein.
17. J. Kim, F. Kirchhoff, J. W. Wilkins, and F. S. Khan, Phys. Rev. Lett. 84, 503 (2000).
18. B. Sadigh, T. J. Lenosky, S. K. Theiss, M.-J. Caturla, T. D. de la Rubia, and M. A. Foad, Phys. Rev. Lett. 83, 4341 (1999).
19. W. K. Leung, R. J. Needs, G. Rajagopal, S. Itoh, and S. Ihara, Phys. Rev. Lett. 83, 2351 (1998).
20. E. J. H. Collart, K. Weemers, N. E. B. Cowern, J. Politiek, P. H. L. Bancken, J. G. M. von Berkum, and D. J. Gravesteijn, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 139, 98 (1998).
21. L. Pelaz, G. H. Gilmer, M. Jaraiz, S. B. Herner, H. J. Gossmann, D. J. Eaglesham, G. Hobler, C. S. Rafferty, and J. Barbolla, Appl. Phys. Lett. 70, 2285 (1997).