Topographic templating of islands and holes in highly asymmetric block copolymer films

Macromolecules

Volumn 36, Issue 12, 2003, Pages 4498-4506

  Segalman, Rachel A ^a   Schaefer, Kathleen E ^a   Fredrickson, Glenn H ^a   Kramer, Edward J ^a   Magonov, Sergei ^b  

^a University of California at Santa Barbara   (United States)

^b Veeco Metrology   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMERS; COALESCENCE; CRYSTAL STRUCTURE; DIFFUSION; DISSOCIATION; REACTION KINETICS; SHRINKAGE; SURFACES; THICKNESS MEASUREMENT;

BOCK COPOLYMER FILMS; DETACHMENT KINETICS; NANODOMAIN STRUCTURE; TOPOGRAPHIC TEMPLATING OF ISLANDS;

PLASTIC FILMS;

EID: 0038236250     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma025879c     Document Type: Article

References (55)

1. Mansky, P.; Harrison, C. K.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Yao, N. Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 2586-2588.
2. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M. Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401-1404.
3. Li, R. R.; Dapkus, P. D.; Thompson, M. E.; Jeong, W. G.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Appl. Phys. Lett. 2000, 76, 1689-1691.
4. Guarini, K. W.; Black, C. T.; Mikove, K. R.; Sandstrom, R. L. J. Vac. Sci. Technol., B 2001, 19, 2784-2788.
5. Black, C. T.; Guarini, K. W.; Milkove, K. R.; Baker, S. M. Russell, T. P.; Tuominen, M. T. Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 409-411.
6. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Chan, V. Z. H.; Thomas, E. L.; Lammertink, R. G. H.; Vancso, G. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1174-1178, 1125.
7. Kim H. C.; Jia, X. Q.,: Stafford, C. M., Kim, D. H.; McCarthy, T. J.; Tuominen, M.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Adv. Mater. 2001, 13, 795-797.
8. Sohn, B. H., Seo, B. H. Chem. Mater. 2001, 13, 1752-1757.
9. Watkins, J. J.; McCarthy, T. J. Chem. Mater. 1995, 7, 1999+.
10. Thurn-Albrecht, T.; Schotter, J.; Kastle, C. A.; Emley, N.; Shibauchi, T.; Krusin-Elbaum, L., Guarini, K., Black, C. T.; Tuominen, M. T.; Russell, T. P. Science 2000, 290, 2126-2129.
11. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Phys. Today 1999, 52, 32-38.
12. Morkved, T. L., Lu, M.; Urbas, A. M., Ehrichs, E. E.; Jaeger, H. M.; Mansky, P.; Russell, T. P. Science 1996, 273, 931-933.
13. Mansky, P.; Russell, T. P.; Hawker, C. J.; Pitsikalis, M.; Mays, J. Macromolecules 1997, 30, 6810-6813.
14. Mansky, P.; DeRoucchey, J.; Russell, T. P.; Mays, J.; Pitsikalis, M.; Morkved, T.; Jaeger, H. Macromolecules 1998, 31, 4399-4401.
15. Hahm, J.; Sibener, S. J. Langmuir 2000, 16, 4766-4769.
16. Yang, X. M.; Peters, R. D.; Nealey, P. F.; Solak, H. H.; Cerrina, F. Macromolecules 2000, 33, 9575-9582.
17. Park, C.; De Rosa, C.; Thomas, E. L. Macromolecules 2001, 34, 2602-2606.
18. Yang, X. M.; Peters, R. D.; Nealey, P. F.; Solak, H. H.; Cerrina, F. Macromolecules 2000, 33, 9575-9582.
19. Sagalman R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1152-1155.
20. Fasolka, M. J.; Mayes, A. M. Annu. Rev. Mater. Res. 2001, 31, 323-355.
21. Fredrickson, G. H.; Helfand, E. J. Chem. Phys. 1987, 87, 697-705
22. Colulon, G.; Russell, T. P.; Deline, V. R.; Green, P. F. Macromolecules 1989, 22, 2581-2589.
23. Russell, T. P.; Coulon, G.; Deline, V. R., Miller, D. C. Macromolecules 1989, 22, 4600-4606
24. Anastasiadis, S. H.; Russell, T. P.; Satija, S. K.; Majkrzak, C. F. Phys. Rev. Lett. 1989, 62, 1852-1855.
25. Menelle, A.; Russell, T. P.; Anastasiadis, S. H.; Satija, S. K.; Majkrzak, C. F. Phys. Rev. Lett. 1992, 68, 67-70.
26. Foster, M. D.; Sikka, M.; Singh, N.; Bates, F. S.; Satija, S. K.; Majkrzak, C. F.; J. Chem. Phys. 1992, 96, 8605-8615.
27. Fasolka, M. J.; Harris, D. J.; Mayes, A. M.; Yoon, M.; Mochrie, S. G. J. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 3018-3021.
28. Rockford, L.; Liu, Y.; Mansky, P.; Russell, T. P.; Yoon, M.; Mochrie, S. G. J. Phys. Rev. Lett. 1999, 82, 2602-2605.
29. Heier, J.; Sivaniah, E.; Kramer, E. J. Macromolecules 1999, 32, 9007-9012.
30. Joly, S.; Raquois, A.; Paris, F.; Hamdoun, B.; Auvray, L.; Ausserre, D.; Gallot, Y. Phys. Rev. Lett. 1996, 77, 4394-4397.
31. Heier, J.; Genzer, J.; Kramer, E. J.; Bates, F. S.; Walheim, S.; Krausch, G. J. Chem. Phys. 1999, 111, 11101-11110.
32. Coulon, G.; Ausserre, D.; Russell, T. P. Abstr. Pap. Am. Chem. Soc. 1989, 197, 198-Poly.
33. Coulon, G.; Collin, B.; Ausserre, D.; Chatenay, D.; Russell, T. P. J. Phys. (Paris) 1990, 51, 2801-2811.
34. Coulon, G.; Ausserre, D.; Russell, T. P. J. Phys. (Paris) 1990, 51, 777-786.
35. Coulon, G.; Collin, B.; Chatenay, D.; Gallot, Y. J. Phys. Li 1993, 3, 697-717.
36. Collin, B.; Chatenay, D.; Coulon, G.; Ausserre, D.; Gallot, Y. Macromolecules 1992, 25, 1621-1622.
37. Maaloum, M.; Ausserre, D.; Chatenay, D.; Coulon, G.; Gallot, Y. Phys. Rev. Lett. 1992, 68, 1575-1578.
38. Bassereau, P.; Brodbreck, D.; Russell, T. P.; Brown, H. R.; Shull, K. R. Phys. Rev. Lett. 1993, 71, 1716-1719.
39. Bassereau, P.; Brodbeck, D.; Russell, T. P.; Brown, H. R.; Shull, K. R. Phys. Rev. Lett. 1995, 74, 4961-4961.
40. Grim, P. C. M.; Nyrkova, I. A.; Semenov, A. N.; Tenbrinke, G.; Hadziioannou, G. Macromolecules 1995, 28, 7501-7513.
41. Heier, J.; Kramer, E. J.; Groenewold, J.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2000, 33, 6060-6067.
42. Yokoyama, H.; Mates, T. E.; Kramer, E. J. Macromolecules 2000, 33, 1888-1898.
43. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Hayward, R. C.; Kramer, E. J. Macromolecules 2003, 36, 3272-3288.
44. Rayleigh, L. Proc. London Math. Soc. 1878, 4.
45. Brochard-Wyart, F.; Redon, C. Langmuir 1992, 8, 4-2329.
46. Reiter, G.; Sharma, A. Phys. Rev. Lett. 2001, 87, 166103.
47. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Kramer, E. J. Macromolecules, in press.
48. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Kramer, E. J., submitted for publication.
49. Theis, W.; Bartelt, N. C.; Tromp, R. M. Phys. Rev. Lett. 1995, 75, 3328-3331.
50. Lifshitz, I. M.; Slyozov, V. V. J. Phys. Chem. Solids 1961, 19, 33-50.
51. Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Macromolecules 1998, 31, 7871-7876.
52. Yokoyama, H.; Kramer, E. J.; Hajduk, D. A.; Batas, F. S. Macromolecules 1999, 32, 3353-3359.
53. Seul, M.; Murray, C. A. Science 1993, 262, 558-560.
54. Trawick, M.; Angelscu, D.; Chaikin, P. M.: Sebastian, J.; Register, R.; Adamson, D.; Harrison, C. In Bulletin of the American Physical Society March Meeting, Indianapolis, IN, 2002; Vol. 47, Part II, p 970.
55. Yokoyama, H.; Kramer, E. J.; Rafailovich, M. H.; Sokolov, J.; Schwarz, S. A. Macromolecules 1998, 31, 8826-8830.