Guided self-assembly of symmetric diblock copolymer films on chemically nanopatterned substrates

Macromolecules

Volumn 33, Issue 26, 2000, Pages 9575-9582

  Yang, Xiao M ^a   Peters, Richard D ^a   Nealey, Paul F ^a   Solak, Harun H ^a   Cerrina, Franco ^a  

^a Wisconsin Electric Machines and Power Electronics Consortium   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING; BLOCK COPOLYMERS; COPOLYMERS; DEPOSITION; LITHOGRAPHY; NANOSTRUCTURED MATERIALS; POLYMETHYL METHACRYLATES; POLYSTYRENES; SUBSTRATES; SURFACE TOPOGRAPHY; THIN FILMS;

OCTADECYLTRICHLOROSILANE; ULTRAVIOLET INTERFEROMETRIC LITHOGRAPHY;

PLASTIC FILMS;

EID: 0034499627     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma001326v     Document Type: Article

References (47)

1. Harrison, C.; Park, M.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 544.
2. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401.
3. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Annu. Rev. Chem. 1990, 41, 525.
4. Bates, F. S. Science 1991, 251, 898.
5. Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Huse, D. A.; Register, R. A.; Adamson, D. H.; Daniel, A.; Huang, E.; Mansky, P.; Russell, T. P.; Hawker, C. J.; Egolf, D. A.; Melnikov, I. V.; Bodenschatz, E. Macromolecules 2000, 33, 857.
6. Coulon, G.; Russell, T. P.; Deline, V. R.; Green, P. F. Macromolecules 1989, 22, 2581.
7. Coulon, G.; Collin, B.; Ausserre, D.; Chatenay, D.; Russell, T. P. J. Phys. (Paris) 1990, 51, 2801.
8. Russell, T. P.; Coulon, G.; Deline, V. R.; Miller, D. C. Macromolecules 1989, 22, 4600.
9. Anastasiadis, S. H.; Russell, T. P.; Satija, S. K.; Majkrzak, C. F. Phys. Rev. Lett. 1989, 62, 1852.
10. (a) Morkved, T. L.; Lu, M.; Urbas, A. M.; Ehrichs, E. E.; Jaeger, H. M.; Mansky, P.; Russell, T. P. Science 1996, 273, 931.
11. (b) Mansky, P.; DeRouchey, J.; Russell, T. P.; Mays, J.; Pitsikalis, M.; Morkved, T.; Jaeger, H. Macromolecules 1998, 31, 4399.
12. (a) Mansky, P.; Liu, Y.; Huang, E.; Russell, T. P.; Hawker, C. Science 1997, 275, 1458.
13. (b) Mansky, P.; Russell, T. P.; Hawker, C. J.; Pitsikalis, M.; Mays, J. Macromolecules 1997, 30, 6810.
14. (c) Huang, E.; Russell, T. P.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Hawker, C. J.; Mays, J. Macromolecules 1998, 31, 7641.
15. (d) Huang, E.; Rockford, L.; Russell, T. P.; Hawker, C. J. Nature 1998, 395, 757.
16. (e) Thurn-Albrecht, T.; Steiner, R.; DeRouchey, J.; Stafford, C. M.; Huang, E.; Bal, M.; Tuominen, M.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Adv. Mater. 2000, 12, 757.
17. (f) Thurn-Albrecht, T.; DeRouchey, J.; Russell, T. P.; Jaeger, H. M. Macromolecules 2000, 33, 3250.
18. Fasolka, M. J.; Harris, D. J.; Mayes, A. M.; Yoon, M.; Mochrie, S. G. J. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 3018.
19. Rockford, L.; Liu, Y.; Mansky, P.; Russell, T. P.; Yoon, M.; Mochrie, S. G. J. Phys. Rev. Lett. 1999, 82, 2602.
20. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Presented at American Physical Society Meeting, Minneapolis, March 2000.
21. Wang, Q.; Yan, Q. L.; Nealey, P. F.; de Pablo, J. J. Macromolecules 2000, 33, 4512.
22. Semenov, A. N. Sou. Phys. JETP 1985, 61, 733.
23. Wang, Z.-G. J. Chem. Phys. 1994, 100, 2298.
24. Ohta, T.; Kawasaki, K. Macromolecules 1986, 19, 2621.
25. Wang, Q.; Nath, S. K.; Graham, M. D.; Nealey, P. F.; de Pablo, J. J. J. Chem. Phys. 2000, 112, 9996.
26. Chakrabarti, A.; Chen, H. J. Polym. Sci., Part B 1998, 36, 3127.
27. Chen, H.; Chakrabarti, A. J. Chem. Phys. 1998, 108, 6897.
28. Petera, D.; Muthukumar, M. J. Chem. Phys. 1997, 107, 9640.
29. Petera, D.; Muthukumar, M. J. Chem. Phys. 1998, 109, 5101.
30. Pereira, G. G.; Williams, D. R. M. Macromolecules 1999, 32, 758.
31. Halperin, A.; Sommer, J. U.; Daoud, M. Europhys. Lett. 1995, 29, 297.
32. Kim, T. K.; Yang, X. M.; Peters, R. D.; Sohn, B. H.; Nealey, P. F. J. Phys. Chem. B 2000, 104, 7403.
33. Peters, R. D.; Yang, X. M.; Kim, T. K.; Sohn, B. H.; Nealey, P. F. Langmuir 2000, 16, 4625.
34. Peters, R. D.; Yang, X. M.; Kim, T. K.; Nealey, P. F. Langmuir 2000, 16, 9620.
35. Solak, H. H.; He, D.; Li, W.; Singh-Gasson, S.; Cerrina, F.; Sohn, B. H.; Yang, X. M.; Nealey, P. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 2328.
36. Solak, H. H.; He, D.; Li, W.; Cerrina, F. J. Vac. Sci. Technol. B 1999, 17, 3052.
37. Laibinis, P. E.; Graham, R. L.; Biebuyck, H. A.; Whitesides, G. M. Science 1991, 254, 981.
38. Graham, R. L.; Bain, C. D.; Biebuyck, H. A.; Laibinis, P. E.; Whitesides, G. M. J. Phys. Chem. 1993, 97, 9456.
39. Yang, X. M.; Peters, R. D.; Kim, T. K.; Nealey, P. F. J. Vac. Sci. Technol. B 1999, 17, 3203.
40. Yang, X. M.; Peters, R. D.; Kim, T. K.; Nealey, P. F.; Brandow, S. L.; Chen, M.-S.; Shirey, L. M.; Dressick, W. J. Langmuir, in press.
41. Peters, R. D.; Yang, X. M.; Kim, T. K.; Nealey, P. F. Presented at American Physical Society Meeting, Atlanta, March 1999.
42. Pereira, G. G.; Williams, D. R. M.; Chakrabarti, A. J. Chem. Phys. 2000, 112, 10011.
43. Liu, Y.; Rafailovich, M. H.; Sokolov, J.; Schwarz, S. A.; Bahal, S. Macromolecules 1996, 29, 899.
44. Carvalho, B. L.;Thomas, E. L. Phys. Rev. Lett. 1994, 73, 3321.
45. Heier, J.; Kramer, E. J.; Groenewold, J.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2000, 33, 6060.
46. Heier, J.; Genzer, J.; Kramer, E. J.; Bates, F. S.; Walheim, S.; Krausch, G. J. Chem. Phys 1999, 111, 11101.
47. Heier, J.; Sivaniah, E.; Kramer, E. J. Macromolecules 1999, 32, 9007.