Reconstruction of the 6H-SiC(0001) √3×√3-R30° surfaces by adsorption of hydrogen in ultra high vacuum

Materials Science and Engineering: B

Volumn 96, Issue 2, 2002, Pages 137-140

  Hisada, Yoshiyuki ^b   Aoyama, Tomohiro ^a   Mukainakano, Shinichi ^b   Ichimiya, Ayahiko ^a  

^a NAGOYA UNIVERSITY   (Japan)

^b DENSO CORPORATION   (Japan)

Author keywords

Atomic hydrogen adsorption; Auger electron spectroscopy (AES); Reflection high energy electron diffraction (RHEED); Silicon carbide; Surface relaxation and reconstruction

Indexed keywords

ADSORPTION; ANNEALING; AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY; HYDROGEN; PHASE TRANSITIONS; REFLECTION HIGH ENERGY ELECTRON DIFFRACTION; SURFACE PHENOMENA; SURFACE STRUCTURE;

SURFACE RELAXATION;

SILICON CARBIDE;

EID: 0036839205     PISSN: 09215107     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0921-5107(02)00304-5     Document Type: Conference Paper

References (25)

1. Kusunoki M., Rokkaku M., Suzuki T. Appl. Phys. Lett. 71:1997;2620.
2. Kusunoki M., Shibata J., Rokkaku M., Hirayama T. Jpn. J. Appl. Phys. 37:1998;L605.
3. van Bommel A.J., Crombeen J.E., van Tooren A. Surf. Sci. 48:1975;463.
4. Nakanishi S., Tokutaka H., Nishimori K., Kishida S., Ishihara N. Appl. Surf. Sci. 41/42:1989;44.
5. Li L., Hasegawa Y., Tsong I.S.T., Sakurai T.J. Phys. IV (Paris). 6:1996;167.
6. Li L., Tsong I.S.T. Surf. Sci. 351:1996;141.
7. Naitoh M., Takami J., Nishigaki S., Toyama N. Appl. Phys. Lett. 75:1999;650.
8. Hisada Y., Hayashi K., Kato K., Aoyama T., Mukainakano S., Ichimiya A. Jpn. J. Appl. Phys. 40:2001;2211.
9. Kaplan R. Surf. Sci. 215:1989;111.
10. Owman F., Martensson P.J. Vac. Sci. Technol. B. 14:1996;933.
11. Starke U., Bernhardt J., Schardt J., Heinz K. Surf. Rev. Lett. 6:1999;1129.
12. Fujino T., Fuse T., Ryu J., Inudzuka K., Yamazaki Y., Katayama M., Oura K. Jpn. J. Appl. Phys. 39:2000;6410.
13. Han Y., Aoyama T., Ichimiya A., Hisada Y., Mukainakano S. Surf. Sci. 493:2001;238.
14. Aoyama T., Han Y., Ichimiya A., Hisada Y., Mukainakano S. Surf. Sci. 493:2001;246.
15. Han Y., Aoyama T., Ichimiya A., Hisada Y., Mukainakano S. J. Vac. Sci. Technol. B. 19:2001;1972.
16. T. Aoyama, Y. Hisada, S. Mukainakano, A. Ichimiya, Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002) L174.
17. Ichimiya A. Jpn. J. Appl. Phys. 24:1985;1365.
18. Kohmoto S., Ichimiya A. Surf. Sci. 223:1989;400.
19. Badziag P. Surf. Sci. 352-354:1996;396.
20. Elsbergen V. van, Janzen O., Monch W. Mater. Sci. Eng. B46:1997;366.
21. Stoldt C.R., Carraro C., Maboudian R. Surf. Sci. 466:2000;66.
22. Fujino T., Fuse T., Ryu J.T., Inudzuka K., Yamazaki Y., Katayama M., Oura K. Appl. Surf. Sci. 169:2001;113.
23. Ichimiya A. Jpn. J. Appl. Phys. 22:1983;176.
24. Ichimiya A. Surf. Sci. 192:1987;893.
25. Ichimiya A. Tong S.Y., Van Hove M.A., Takayanagi K., Xie X.D., The Structure of Surfaces III. 1991;162 Springer, Berlin.