Polydentate amines as CVD precursor ancillary ligands. Epitaxial MgO thin-film growth using a highly volatile, thermally and air-stable magnesium precursor

Chemical Vapor Deposition

Volumn 6, Issue 4, 2000, Pages 180-183

  Babcock, Jason R ^a   Benson, Douglas D ^a   Wang, Anchuan ^a   Edleman, Nikki L ^a   Belot, John A ^a   Metz, Matthew V ^a   Marks, Tobin J ^a  

^a NORTHWESTERN UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0003012244     PISSN: 09481907     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/1521-3862(200008)6:4<180::AID-CVDE180>3.0.CO;2-5     Document Type: Article

References (37)

1. K. A. Dean, D. B. Buchholz, L. D. Marks, R. P. H. Chang, B. V. Vuchic, K. L. Merkle, D. B. Studebaker, T. J. Marks, J. Mater. Res. 1995, 10, 2700.
2. J. Musolf, E. Boeke, E. Waffenschmidt, X. He, M. Heuken, K. Heime, J. Alloys Compd. 1993, 195, 295.
3. D. K. Fork, F. A. Ponce, J. C. Tramontana, T. H. Geballe, Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 2294.
4. S. Tanaka, H. Nakanishi, K. Higaki, H. Itozaki, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 1990, 29, 1059.
5. S. Witanachchi, S. Patel, D. T. Shaw, H. S. Kwok, Appl. Phys. Lett. 1989, 55, 295.
6. K. Harada, N. Fujimori, S. Yazu, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 1988, 27, L1524.
7. B. J. Hinds, R. J. McNeely, J. Chen, C. Dias, D. L. Studebaker, T. J. Marks, T. P. Hogan, J. L. Schindler, C. R. Kannewurf, J. Alloys, Compd. 1997, 257, 328.
8. S. Nagaoka, K. Hamasaki, T. Yamashita, T. Komata, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 1989, 28, 1367.
9. K. Nashimoto, D. K. Fork, T. H. Geballe, Appl. Phys. Lett. 1992, 60, 1199.
10. N. A. Basit, H. K. Kim, J. Blachere, Appl. Phys. Lett. 1998, 73, 3941.
11. [11 ] J. G. Yoon, K. Kim, Appl. Phys. Lett. 1996, 68, 2523.
12. E. H. Choi, H. J. Oh, Y. G. Kim, J. J. Ko, J. Y. Lim, J. G. Kim, D. I. Kim, G. Cho, S. O. Kang, Jpn. J. Appl. Phys. Part 1 1998, 37, 7015.
13. J. H. Boo, S. B. Lee, K. S. Yu, W. Koh, Y. Kim, Thin Solid Films 1999, 341, 63.
14. E. Fujii, A. Tomozawa, S. Fujii, H. Torii, M. Hattori, R. Takayama, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 1993, 32, L1448.
15. Y. W. Zhao, H. Suhr, Appl. Phys. A 1992, 54, 451.
16. O. Stryckmans, T. Segato, P. H. Duvigneaud, Thin Solid Films 1996, 283, 17.
17. W. J. Desisto, R. L. Henry, Appl. Phys. Lett. 1990, 56, 2522.
18. X. Fu, G. Wu, S. Song, Z. Song, X. Duo, C. Lin, Appl. Surf. Sci. 1999, 148, 223.
19. J. G. Yoon, H. K. Oh, S. J. Lee, Phys. Rev. B 1999, 60, 2839.
20. R. Huang, A. H. Kitai, J. Electron. Mater. 1993, 22, 215.
21. T. Maruyama, J. Shionoya, Jpn. J. Appl. Phys. Part 2 1990, 29, L810.
22. J. E. Schwarberg, R. E. Sievers, R. W. Moshier, Anal. Chem. 1970, 42, 1828.
23. V. C. Arunasalam, S. R. Drake, M. B. Hursthouse, K. M. A. Malik, S. A. S. Miller, D. M. P. Mingos, J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1996, 2435.
24. T. Hatanpaa, J. Ihanus, J. Kansikas, I. Mutikainen, M. Ritala, M. Leskela, Chem. Mater. 1999, 11, 1846.
25. J. A. Belot, A. C. Wang, R. J. McNeely, L. Liable-Sands, A. L. Rheingold, T. J. Marks, Chem. Vap. Deposition 1999, 5, 65.
26. J. A. Belot, D. A. Neumayer, C. J. Reedy, D. B. Studebaker, B. J. Hinds, C. L. Stern, T. J. Marks, Chem. Mater. 1997, 9, 1638.
27. B. J. Hinds, R. J. McNeely, D. B. Studebaker, T. J. Marks, T. P. Hogan, J. L. Schindler, C. R. Kannewurf, X. F. Zhang, D. J. Miller, J. Mater. Res. 1997, 72, 1214.
28. T. J. Marks, J. A. Belot, C. J. Reedy, R. J. McNeely, D. B. Studebaker, D. A. Neumayer, C. L. Stern, J. Alloys Compd. 1997, 251, 243.
29. A. C. Wang, J. A. Belot, T. J. Marks, P. R. Markworth, R. P. H. Chang, M. P. Chudzik, C. R. Kannewurf, Physica C 1999, 320, 154.
30. T. J. Marks, Pure Appl. Chem. 1995, 67, 313.
31. 2+ complexes has been reported with no mention of volatility or thermal stability: D. E. Fenton, J. Chem. Soc. A 1971, 3481.
32. -3, R(F) = 6.87% for 7870 observed independent reflections (1.6° < θ < 28.3°). The data were collected on a diffractometer equipped with a Bruker SMART detector. All pertinent information has been deposited in the Cambridge Crystallographic Database (CCDC#137367).
33. R. E. Colborn, M. F. Garbauskas, C. I. Hejna, Inorg. Chem. 1988, 27, 3661.
34. M. H. Dickman, Acta Crystallogr. 1998, C54, 9800048.
35. T. Yoshida, M. Oguni, Y. Mori, Y. Fukuda, Solid State Commun. 1995, 93, 159.
36. F. Labrize, L. G. Hubertpfalzgraf, J. Vaissermann, C. B. Knobler, Polyhedron 1996, 15, 577.
37. A tetraethylenepentamine-coordinated bis(β-diketonato)barium complex exhibits undesirable variability in delivery rate due to thermal instability: H. Zama, N. Tanaka, T. Morishita, Mater. Sci. Eng. B 1998, 54, 104.