Polymer-free patterning of graphene at sub-10-nm scale by low-energy repetitive electron beam

Small

Volumn 10, Issue 22, 2014, Pages 4778-4784

  Lan, Yann Wen ^a,b   Chang, Wen Hao ^a   Xiao, Bo Tang ^a,c   Liang, Bo Wei ^a,c   Chen, Jyun Hong ^a   Jiang, Pei Hsun ^c   Li, Lain Jong ^b   Su, Ya Wen ^e   Zhong, Yuan Liang ^d   Chen, Chii Dong ^a,d  

^a INSTITUTE OF PHYSICS   (Taiwan)

^b ACADEMIA SINICA   (Taiwan)

^c NATIONAL TAIWAN NORMAL UNIVERSITY   (Taiwan)

^d CHUNG YUAN CHRISTIAN UNIVERSITY   (Taiwan)

^e NATIONAL NANO DEVICE LABORATORIES   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRON BEAMS; STOCHASTIC SYSTEMS;

EXFOLIATED GRAPHENE; GRAPHENE SHEETS; MINIMUM FEATURE SIZES; NANO PATTERN; NANOPATTERNING; REPETITION RATE; SCANNING ELECTRON BEAM; THERMAL-ANNEALING;

GRAPHENE;

EID: 84915789081     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.201401523     Document Type: Article

References (41)

1. K. S. Novoselov , A. K. Geim , S. V. Morozov , D. Jiang , Y. Zhang , S. V. Dubonos , I. V. Grigorieva , A. A. Firsov , Science 2004 , 306 , 666-669
2. A. A. Balandin , S. Ghosh , W. Bao , I. Calizo , D. Tewldebrhan , F. Miao , C. C. Lau , Nano Lett. 2008 , 8 , 902-907
3. J. S. Bunch , A. M. van der Zande , S. S. Verbridge , L. W. Frank , D. M. Tanenbaum , J. M. Parpia , H. G. Craighead , P. L. McEuen , Science 2007 , 315 , 490-493
4. Z. Chen , W. Ren , L. Gao , B. Liu , S. Pei , H.-M. Cheng , Nat. Mater. 2011 , 10 , 424-428
5. Q. B. Zheng , M. M. Gudarzi , S. J. Wang , Y. Geng , Z. Li , J.-K. Kim , Carbon 2011 , 49 , 2905-2916
6. M. Liu , X. Yin , E. Ulin-Avila , B. Geng , T. Zentgraf , L. Ju , F. Wang , X. Zhang , Nature 2011 , 474 , 64-67
7. M.-Q. Zhao , Q. Zhang , J.-Q. Huang , G.-L. Tian , J.-Q Nie, H.-J. Peng , F. Wei , Nat. Commun. 2014 , 5 , 3410
8. G. K. Dimitrakakis , E. Tylianakis , G. E. Froudakis , Nano Lett. 2008 , 8 , 3166-3170
9. C.-W. Huang , H.-C. Wu , Y.-Y. Li , Sep. Purif. Technol. 2007 , 58 , 219-223
10. X. Liang , Y.-S. Jung , S. Wu , A. Ismach , D. L. Olynick , S. Cabrini , J. Bokor , Nano Letters 2010 , 10 , 2454-2460
11. X. Wang , H. Dai , Nat. Chem. 2010 , 2 , 661-665
12. D. V. Kosynkin , A. L. Higginbotham , A. Sinitskii , J. R. Lomeda , A. Dimiev , B. K. Price , J. M. Tour , Nature 2009 , 458 , 872 - U5
13. S. Gilje , S. Han , M. Wang , K. L. Wang , R. B. Kaner , Nano Lett. 2007 , 7 , 3394-3398
14. A. Reina , X. Jia , J. Ho , D. Nezich , H. Son , V. Bulovic. M. S. Dresselhaus , J. Kong , Nano Lett. 2009 , 9 , 30-35
15. V. C. Tung , M. J. Allen , Y. Yang , R. B. Kaner , Nat. Nanotechnol. 2009 , 4 , 25-29
16. K. S. Novoselov , D. Jiang , F. Schedin , T. J. Booth , V. V. Khotkevich , S. V. Morozov , A. K. Geim , Proc. Natl Acad. Sci. USA 2005 , 102 , 10451-10453
17. M. Y. Han , B. Ozyilmaz , Y. Zhang , P. Kim , Phys. Rev. Lett. 2007 , 98 , 206805
18. Y.-C. Lin, C.-C. Lu , C.-H. Yeh , C. Jin , K. Suenaga , P.-W. Chiu , Nano Lett. 2012 , 12 , 414-419
19. M. C. Lemme , D. C. Bell , J. R. Williams , L. A. Stern , B. W. H. Baugher , P. Jarillo-Herrero , C. M. Marcus , ACS Nano 2009 , 3 , 2674-2676
20. B. W. Smith , D. E. Luzzi , J. Appl. Phys. 2001 , 90 , 3509-3515
21. C. O. Girit , J. C. Meyer , R. Erni , M. D. Rossell , C. Kisielowski , L. Yang , C.-H. park ,, M. F. Crommie , M. L. Cohen , S. G. Louie , A. Zettl , Science, 2009 , 323 , 1705-1708
22. J. Kotakoski , A. V. Krasheninnikov , U. Kaiser , J. C. Meyer , Phys. Rev. Lett. 2011 , 106 , 105505
23. A. Hashimoto , K. Suenaga , A. Gloter , K. Urita , S. Iijima , Nature 2004 , 430 , 870-873
24. J. C. Meyer , F. Eder , S. Kurasch , V. Skakalova , J. Kotakoski , H. J. Park , S. Roth , A. Chuvilin , S. Eyhusen , G. Benner , A. V. Krasheninnikov , U. Kaiser , Phys. Rev. Lett. 2012 , 108 , 196102
25. U. Kaiser , J. Biskupek, J. C. Meyer , J. Leschner , H. Rose, M. Stoger-Pollach , A. N. Khlobystov , P. Hartel , H. Muller , M. Haider , S. Eyhusen , Ultramicroscopy 2011 , 111 , 1239-1246
26. D. Fox , A. O'Neill , D. Zhou , M. Boese , J. N. Coleman , H. Z. Zhang , Appl. Phys. Lett. 2011 , 98 , 243117-1 . 243117-3
27. Y. F. Lu , S. T. Lo , J. C. Lin , W. Zhang , J. Y. Lu , F. H. Liu , C. M. Tseng , Y. H. Lee , C. T. Liang , L. J. Li , ACS Nano 2013 , 7 , 6522-6532
28. M. Losurdo , M. M. Giangregorio , P. Capezzuto , G. Bruno , Phys. Chem. Chem. Phys. 2011 , 13 , 20836-20843
29. X. Li , C. W. Magnuson , A. Venugopal , J. An , J. W. Suk , B. Han , M. Borysiak , W. Cai , A. Velamakanni , Y. Zhu , L. Fu , E. M. Vogel , E. Voelkl , L. Colombo , R. S. Ruoff , Nano Lett. 2010 , 10 , 4328-4334
30. Q. Yu , L. A. Jauregui , W. Wu , R. Colby , J. Tian , Z. Su , H. Cao , Z. Liu , D. Pandey , D. Wei , T. F. Chung , P. Peng , N. P. Guisinger , E. A. Stach , J. Bao , S. S. Pei , Y. P. Chen , Nat. Mater. 2011 , 10 , 443-449
31. B. Song , G. F. Schneider , Q. Xu , G. Pandraud , C. Dekker , H. Zandbergen , Nano Lett. 2011 , 11 , 2247-2250
32. Y. W. Lan , W. H. Chang , S. J. Lai , Y. C. Chang , C. S. Wu , C. H. Kuan , C. S. Chang , C. D. Chen , Carbon 2012 , 50 , 4619-4627
33. G. Tsoukleri , J. Parthenios , K. Papagelis , R. Jalil , A. C. Ferrari , A. K. Geim , K. S. Novoselov , C. Galiotis , Small 2009 , 5 , 2397-2402
34. C. A. Marianetti , H. G. Yevick , Phys. Rev. Lett. 2010 , 105 , 245502 - 1-4
35. J. Martin , N. Akerman , G. Ulbricht , T. Lohmann , J. H. Smet , K. von Klitzing , A. Yacoby , Nat. Phys. 2008 , 4 , 144-148
36. J. H. Warner , E. R. Margine , M. Mukai , A. W. Robertson , F. Giustino , A. I. Kirkland , Science 2012 , 337 , 209-212
37. G. D. Lee , E. Yoon , N. M. Hwang , C. Z. Wang , K. M. Ho , Appl. Phys. Lett. 2013 , 102 , 021603 - 1-4
38. Y. Cao , R. L. Flores , Y. Q. Xu , Appl. Phys. Lett. 2013 , 103 , 183103-1-4
39. K. V. Zakharchenko , A. Fasolino , J. H. Los , M. I. Katsnelson , J. Phys. Condens. Matter 2011 , 23 , 202202-1-4
40. M. D. Fischbein , M. Drndic , Appl. Phys. Lett. 2008 , 93 , 113107 - 1-3
41. J. A. Gardener , J. A. Golovchenko , Nanotechnology 2012 , 23 , 185302