Etching-free patterning method for electrical characterization of atomically thin MoSe2 films grown by chemical vapor deposition

Nanoscale

Volumn 6, Issue 21, 2014, Pages 12376-12382

  Utama, M Iqbal Bakti ^a   Lu, Xin ^a   Zhan, Da ^a   Ha, Son Tung ^a   Yuan, Yanwen ^a   Shen, Zexiang ^a   Xiong, Qihua ^a,b  

^a NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

^b NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY; ETCHING; FIELD EFFECT TRANSISTORS;

CONDUCTION CHANNEL; ELECTRICAL CHARACTERIZATION; ELECTRICAL TRANSPORT; FUNDAMENTAL STUDIES; PATTERNING METHODS; SPATIAL ARRANGEMENTS; TWO-DIMENSIONAL MATERIALS; VARIABLE RANGE HOPPING;

SELENIUM COMPOUNDS;

EID: 84907993271     PISSN: 20403364     EISSN: 20403372     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c4nr03817g     Document Type: Article

References (41)

1. Q. H. Wang K. Kalantar-Zadeh A. Kis J. N. Coleman M. S. Strano Nat. Nanotechnol. 2012 7 699 712
2. S. Z. Butler S. M. Hollen L. Cao Y. Cui J. A. Gupta H. R. Gutiérrez T. F. Heinz S. S. Hong J. Huang A. F. Ismach E. Johnston-Halperin M. Kuno V. V. Plashnitsa R. D. Robinson R. S. Ruoff S. Salahuddin J. Shan L. Shi M. G. Spencer M. Terrones W. Windl J. E. Goldberger ACS Nano 2013 7 2898 2926
3. A. K. Geim I. V. Grigorieva Nature 2013 499 419 425
4. K. K. Liu W. Zhang Y. H. Lee Y. C. Lin M. T. Chang C. Y. Su C. S. Chang H. Li Y. Shi H. Zhang C. S. Lai L. J. Li Nano Lett. 2012 12 1538 1544
5. Y. H. Lee X. Q. Zhang W. Zhang M. T. Chang C. T. Lin K. D. Chang Y. C. Yu J. T. Wang C. S. Chang L. J. Li T. W. Lin Adv. Mater. 2012 24 2320 2325
6. Y. Zhan Z. Liu S. Najmaei P. M. Ajayan J. Lou Small 2012 8 966 971
7. Y. Zhang Q. Ji J. Ju H. Yuan J. Shi T. Gao D. Ma M. Liu Y. Chen X. Song H. Y. Hwang Y. Cui Z. Liu ACS Nano 2013 7 8963
8. J. N. Coleman M. Lotya A. O'Neill S. D. Bergin P. J. King U. Khan K. Young A. Gaucher S. De R. J. Smith I. V. Shvets S. K. Arora G. Stanton H. Y. Kim K. Lee G. T. Kim G. S. Duesberg T. Hallam J. J. Boland J. J. Wang J. F. Donegan J. C. Grunlan G. Moriarty A. Shmeliov R. J. Nicholls J. M. Perkins E. M. Grieveson K. Theuwissen D. W. McComb P. D. Nellist V. Nicolosi Science 2011 331 568 571
9. Y. Huang J. Wu X. Xu Y. Ho G. Ni Q. Zou G. Koon W. Zhao A. H. Castro Neto G. Eda C. Shen B. Özyilmaz Nano Res. 2013 6 200 207
10. Y. L. Liu H. Y. Nan X. Wu W. Pan W. H. Wang J. Bai W. W. Zhao L. T. Sun X. R. Wang Z. H. Ni ACS Nano 2013 7 4202 4209
11. A. Castellanos-Gomez M. Barkelid A. M. Goossens V. E. Calado H. S. van der Zant G. A. Steele Nano Lett. 2012 12 3187 3192
12. H. Nam S. Wi H. Rokni M. Chen G. Priessnitz W. Lu X. Liang ACS Nano 2013 7 5870 5881
13. F. Bonaccorso A. Lombardo T. Hasan Z. Sun L. Colombo A. C. Ferrari Mater. Today 2012 15 564 589
14. V. Rousset S. Itoua C. Joachim F. Tsobnang B. Rousset H. H. Pham Nanotechnology 1996 7 144
15. X. Lu M. I. Utama J. Zhang Y. Zhao Q. H. Xiong Nanoscale 2013 5 8904 8908
16. J. Wu H. Li Z. Yin J. Liu X. Cao Q. Zhang H. Zhang Small 2013 9 3314
17. X. Lu M. I. B. Utama J. Lin X. Gong J. Zhang Y. Zhao S. T. Pantelides J. Wang Z. Dong Z. Liu W. Zhou Q. H. Xiong Nano Lett. 2014 14 2419 2425
18. J. Shaw H. Zhou Y. Chen N. Weiss Y. Liu Y. Huang X. Duan Nano Res. 2014 7 1 7
19. X. Wang Y. Gong G. Shi W. L. Chow K. Keyshar G. Ye R. Vajtai J. Lou Z. Liu E. Ringe B. K. Tay P. M. Ajayan ACS Nano 2014 8 5125 5131
20. J. Xia X. Huang L.-Z. Liu M. Wang L. Wang B. Huang D.-D. Zhu J.-J. Li C.-Z. Gu X.-M. Meng Nanoscale 2014 6 8949 8955
21. Y. Zhao X. Luo H. Li J. Zhang P. T. Araujo C. K. Gan J. Wu H. Zhang S. Y. Quek M. S. Dresselhaus Q. H. Xiong Nano Lett. 2013 13 1007 1015
22. X. Luo Y. Zhao J. Zhang Q. H. Xiong S. Y. Quek Phys. Rev. B: Condens. Matter 2013 88 075320
23. H. Nagata T. Shinriki K. Shima M. Tamai E. Min Haga J. Vac. Sci. Technol., A 1999 17 1018 1023
24. H. Schmidt S. Wang L. Chu M. Toh R. Kumar W. Zhao A. H. Castro Neto J. Martin S. Adam B. Özyilmaz G. Eda Nano Lett. 2014 14 1909 1913
25. S. Larentis B. Fallahazad E. Tutuc Appl. Phys. Lett. 2012 101 223104
26. S. Ghatak A. N. Pal A. Ghosh ACS Nano 2011 5 7707 7712
27. H. Qiu T. Xu Z. Wang W. Ren H. Nan Z. Ni Q. Chen S. Yuan F. Miao F. Song G. Long Y. Shi L. Sun J. Wang X. Wang Nat. Commun. 2013 4 2642
28. B. Radisavljevic A. Kis Nat. Mater. 2013 12 815 820
29. D. Jariwala V. K. Sangwan D. J. Late J. E. Johns V. P. Dravid T. J. Marks L. J. Lauhon M. C. Hersam Appl. Phys. Lett. 2013 102 173107
30. M. Ahmad M. A. Rafiq Z. Imran K. Rasool R. N. Shahid Y. Javed M. M. Hasan J. Appl. Phys. 2013 114 043710
31. J. C. Bernègde A. Mallouky J. Pouzet Phys. Status Solidi A 1989 111 181 191
32. C. Gómez-Navarro R. T. Weitz A. M. Bittner M. Scolari A. Mews M. Burghard K. Kern Nano Lett. 2007 7 3499 3503
33. N. F. Mott, Electronic Processes in Non-Crystalline Materials, Clarendon Press, Oxford, UK, 1979
34. F. W. Van Keuls X. L. Hu H. W. Jiang A. J. Dahm Phys. Rev. B: Condens. Matter 1997 56 1161 1169
35. G. Eda C. Mattevi H. Yamaguchi H. Kim M. Chhowalla J. Phys. Chem. C 2009 113 15768 15771
36. D. N. Tsigankov A. L. Efros Phys. Rev. Lett. 2002 88 176602
37. G. Paasch T. Lindner S. Scheinert Synth. Met. 2002 132 97 104
38. B. I. Shklovskii and A. L. Efros, Electronic Properties of Doped Semiconductor, Springer, Berlin, 1984
39. Y. C. Lin W. Zhang J. K. Huang K. K. Liu Y. H. Lee C. T. Liang C. W. Chu L. J. Li Nanoscale 2012 4 6637 6641
40. Z. Liu L. Ma G. Shi W. Zhou Y. Gong S. Lei X. Yang J. Zhang J. Yu K. P. Hackenberg A. Babakhani J.-C. Idrobo R. Vajtai J. Lou P. M. Ajayan Nat. Nanotechnol. 2013 8 119 124
41. M. P. Levendorf C.-J. Kim L. Brown P. Y. Huang R. W. Havener D. A. Muller J. Park Nature 2012 488 627 632