-
1
-
-
0003817362
-
-
Kluwer Acad. Publ., Dordrecht, The Netherlands
-
Micro Total Analysis Systems 2000 2000, Kluwer Acad. Publ., Dordrecht, The Netherlands. A. van den Berg, W. Olthuis, P. Bergveld (Eds.).
-
(2000)
Micro Total Analysis Systems 2000
-
-
van den Berg, A.1
Olthuis, W.2
Bergveld, P.3
-
3
-
-
0032011519
-
-
Northrup M.A., Hadley D., Landre P., Lehew S., Richards J., Stratton P. Anal. Chem. 1998, 70:918.
-
(1998)
Anal. Chem.
, vol.70
, pp. 918
-
-
Northrup, M.A.1
Hadley, D.2
Landre, P.3
Lehew, S.4
Richards, J.5
Stratton, P.6
-
4
-
-
0025210818
-
-
Manz A., Miyahara Y., Miura J., Watanabe Y., Miyagi H., Sato K. Sens. Act. 1990, B1:249.
-
(1990)
Sens. Act.
, vol.B1
, pp. 249
-
-
Manz, A.1
Miyahara, Y.2
Miura, J.3
Watanabe, Y.4
Miyagi, H.5
Sato, K.6
-
5
-
-
0026170444
-
-
van der Schoot B.H., van den Vlekkert H.H., de Rooij N.F., van den Berg A., Grisel A. Sens. Act. 1991, B4:239.
-
(1991)
Sens. Act.
, vol.B4
, pp. 239
-
-
van der Schoot, B.H.1
van den Vlekkert, H.H.2
de Rooij, N.F.3
van den Berg, A.4
Grisel, A.5
-
6
-
-
0031098187
-
-
van Rijn C.J.M., van der Wekken M., Nijdam W., Elwenspoek M.C. J. Microelectromech. Systems 1997, 6:48.
-
(1997)
J. Microelectromech. Systems
, vol.6
, pp. 48
-
-
van Rijn, C.J.M.1
van der Wekken, M.2
Nijdam, W.3
Elwenspoek, M.C.4
-
7
-
-
0020127035
-
Silicon as a mechanical material
-
Petersen K.E. Silicon as a mechanical material. Proc. IEEE 1982, 70-5:420.
-
(1982)
Proc. IEEE
, pp. 420
-
-
Petersen, K.E.1
-
8
-
-
84903663085
-
-
Elsevier, Amsterdam, T. Fukuda, W. Menz (Eds.)
-
Menz W. chapter 1 in Handbook of Sensors and Actuators, Volume 6; Micro Mechanical Systems, Principles and technology 1998, Elsevier, Amsterdam. T. Fukuda, W. Menz (Eds.).
-
(1998)
chapter 1 in Handbook of Sensors and Actuators, Volume 6; Micro Mechanical Systems, Principles and technology
-
-
Menz, W.1
-
10
-
-
85133227433
-
-
Elsevier, Amsterdam, 0 4444 82363 8, T. Fukuda, W. Menz (Eds.)
-
Masuzawa T. Micromachining by machine tools, Chapter 3 in Handbook of Sensors and Actuators, Volume 6; Micro Mechanical Systems, Principles and technology 1998, Elsevier, Amsterdam, 0 4444 82363 8. T. Fukuda, W. Menz (Eds.).
-
(1998)
Micromachining by machine tools, Chapter 3 in Handbook of Sensors and Actuators, Volume 6; Micro Mechanical Systems, Principles and technology
-
-
Masuzawa, T.1
-
11
-
-
84903684391
-
Alternative Verfahren der Mikrostrukturierung, Chapter 8
-
VCH Verlagsgesellschaft mbH, Weinheim
-
Menz W., Bley P. Alternative Verfahren der Mikrostrukturierung, Chapter 8. Mikrosystemtechnik für Igenieure 1993, VCH Verlagsgesellschaft mbH, Weinheim.
-
(1993)
Mikrosystemtechnik für Igenieure
-
-
Menz, W.1
Bley, P.2
-
15
-
-
0028728336
-
-
Elwenspoek M.C., Lammerink T.S.J., Miyake R., Fluitman J.H.J. J. Micromech. Microeng. 1994, 4:227.
-
(1994)
J. Micromech. Microeng.
, vol.4
, pp. 227
-
-
Elwenspoek, M.C.1
Lammerink, T.S.J.2
Miyake, R.3
Fluitman, J.H.J.4
-
17
-
-
0032091434
-
-
Berenschot J.W., Oosterbroek R.E., Lammerink T.S.J., Elwenspoek M.C. J. Micromech. Microeng. 1998, 8:104.
-
(1998)
J. Micromech. Microeng.
, vol.8
, pp. 104
-
-
Berenschot, J.W.1
Oosterbroek, R.E.2
Lammerink, T.S.J.3
Elwenspoek, M.C.4
-
18
-
-
0034270086
-
-
Oosterbroek R.E., Berenschot J.W., Jansen H.V., Nijdam A.J., Pandraud G., van den Berg A., Elwenspoek M.C. J. Microelectromech. Syst. 2000, 9-3:390.
-
(2000)
J. Microelectromech. Syst.
, pp. 390
-
-
Oosterbroek, R.E.1
Berenschot, J.W.2
Jansen, H.V.3
Nijdam, A.J.4
Pandraud, G.5
van den Berg, A.6
Elwenspoek, M.C.7
-
19
-
-
0033514623
-
-
Nijdam A.J., van Suchtelen J., Berenschot J.W., Gardeniers J.G.E., Elwenspoek M. J. Crystal Growth 1999, 198-199:430.
-
(1999)
J. Crystal Growth
, pp. 430
-
-
Nijdam, A.J.1
van Suchtelen, J.2
Berenschot, J.W.3
Gardeniers, J.G.E.4
Elwenspoek, M.5
-
21
-
-
0034469352
-
-
Tjerkstra R.W., Gardeniers J.G.E., Kelly J.J., van den Berg A. J. Micro. Electromech. Syst. 2000, 9:495.
-
(2000)
J. Micro. Electromech. Syst.
, vol.9
, pp. 495
-
-
Tjerkstra, R.W.1
Gardeniers, J.G.E.2
Kelly, J.J.3
van den Berg, A.4
-
22
-
-
0031099223
-
-
Drott J., Lindstrm K., Rosengren L., Laurell T. J. Micromech. Microeng. 1997, 7:14.
-
(1997)
J. Micromech. Microeng.
, vol.7
, pp. 14
-
-
Drott, J.1
Lindstrm, K.2
Rosengren, L.3
Laurell, T.4
-
24
-
-
0036684902
-
-
de Boer M.J., Gardeniers J.G.E., Jansen H.V., Smulders E., Gilde M.-J., Roelofs G., Sasserath J.N., Elwenspoek M. J. Micro Electro Mech. Syst. 2002, 11:385.
-
(2002)
J. Micro Electro Mech. Syst.
, vol.11
, pp. 385
-
-
de Boer, M.J.1
Gardeniers, J.G.E.2
Jansen, H.V.3
Smulders, E.4
Gilde, M.-J.5
Roelofs, G.6
Sasserath, J.N.7
Elwenspoek, M.8
-
27
-
-
84925175290
-
-
Nathanson H.C., Newell W.E., Wickstrom R.A., Davis J.R. IEEE Trans. Electr. Dev. 1967, ED-14:117.
-
(1967)
IEEE Trans. Electr. Dev.
, vol.ED-14
, pp. 117
-
-
Nathanson, H.C.1
Newell, W.E.2
Wickstrom, R.A.3
Davis, J.R.4
-
28
-
-
0030672630
-
-
Jan. 26-30
-
Tjerkstra R.W., de Boer M.J., Berenschot J.W., Gardeniers J.G.E., Elwenspoek M.C., van den Berg A. Proc. IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems Jan. 26-30, 1997, 147.
-
(1997)
Proc. IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
, pp. 147
-
-
Tjerkstra, R.W.1
de Boer, M.J.2
Berenschot, J.W.3
Gardeniers, J.G.E.4
Elwenspoek, M.C.5
van den Berg, A.6
-
29
-
-
84903677659
-
-
13-16 Oct.
-
Fintschenko Y., Fowler P., Spiering V.L., Burger G.J., van den Berg A. Proc. 3rd mTAS Workshop 13-16 Oct., 1998, 327.
-
(1998)
Proc. 3rd mTAS Workshop
, pp. 327
-
-
Fintschenko, Y.1
Fowler, P.2
Spiering, V.L.3
Burger, G.J.4
van den Berg, A.5
-
30
-
-
0033891780
-
-
de Boer M.J., Tjerkstra R.W., Berenschot J.W., Jansen H.V., Burger G.J., Gardeniers J.G.E., Elwenspoek M., van den Berg A. J. MicroElectroMech. Syst. 2000, 9:94.
-
(2000)
J. MicroElectroMech. Syst.
, vol.9
, pp. 94
-
-
de Boer, M.J.1
Tjerkstra, R.W.2
Berenschot, J.W.3
Jansen, H.V.4
Burger, G.J.5
Gardeniers, J.G.E.6
Elwenspoek, M.7
van den Berg, A.8
-
32
-
-
0035426203
-
-
London A.P., Ayón A.A., Epstein A.H., Spearing S.M., Harrison T., Peles Y., Kerrebrock J.L. Sens. Act. A 2001, 92:351.
-
(2001)
Sens. Act. A
, vol.92
, pp. 351
-
-
London, A.P.1
Ayón, A.A.2
Epstein, A.H.3
Spearing, S.M.4
Harrison, T.5
Peles, Y.6
Kerrebrock, J.L.7
-
33
-
-
6744225835
-
Wafer direct bonding: tailoring adhesion between brittle materials
-
Plößl A., Kräuter G. Wafer direct bonding: tailoring adhesion between brittle materials. Mat. Science Eng. 1999, R25:1.
-
(1999)
Mat. Science Eng.
, vol.R25
, pp. 1
-
-
Plößl, A.1
Kräuter, G.2
-
35
-
-
0033751490
-
-
Berthold A., Nicola L., Sarro P.M., Vellekoop M.J. Sens. Act. A 2000, 82(1-3):224.
-
(2000)
Sens. Act. A
, vol.82
, Issue.1-3
, pp. 224
-
-
Berthold, A.1
Nicola, L.2
Sarro, P.M.3
Vellekoop, M.J.4
-
36
-
-
0000737499
-
-
Gui C., Elwenspoek M., Tas N.R., Gardeniers J.G.E. J. Appl. Phys. 1999, 85:7448.
-
(1999)
J. Appl. Phys.
, vol.85
, pp. 7448
-
-
Gui, C.1
Elwenspoek, M.2
Tas, N.R.3
Gardeniers, J.G.E.4
-
37
-
-
0030359998
-
-
Lighthart H.J., Slikkerveer P.J., In't Veld F.H., Swinkels P.H.W., Zonneveld M.H. Philips J. Res. 1996, 50:475.
-
(1996)
Philips J. Res.
, vol.50
, pp. 475
-
-
Lighthart, H.J.1
Slikkerveer, P.J.2
In't Veld, F.H.3
Swinkels, P.H.W.4
Zonneveld, M.H.5
-
39
-
-
0035392881
-
-
Schlautmann S., Wensink H., Schasfoort R., Elwenspoek M., van den Berg A J. Micromech. Microeng. 2001, 11:386.
-
(2001)
J. Micromech. Microeng.
, vol.11
, pp. 386
-
-
Schlautmann, S.1
Wensink, H.2
Schasfoort, R.3
Elwenspoek, M.4
van den Berg, A.5
-
42
-
-
0030564938
-
-
Venema E., Kraak J.C., Poppe H., Tijssen R. J. Chrom. A 1996, 740:159.
-
(1996)
J. Chrom. A
, vol.740
, pp. 159
-
-
Venema, E.1
Kraak, J.C.2
Poppe, H.3
Tijssen, R.4
-
43
-
-
0036467242
-
-
Blom M.T., Chmela E., Gardeniers J.G.E., Tijssen R., Elwenspoek M., van den Berg A. Sens. Act. B 2002, 82:111.
-
(2002)
Sens. Act. B
, vol.82
, pp. 111
-
-
Blom, M.T.1
Chmela, E.2
Gardeniers, J.G.E.3
Tijssen, R.4
Elwenspoek, M.5
van den Berg, A.6
-
44
-
-
0037099169
-
-
Chmela E., Tijssen R., Blom M.T., Gardeniers J.G.E., van den Berg A. Anal. Chem. 2002, 74:3470.
-
(2002)
Anal. Chem.
, vol.74
, pp. 3470
-
-
Chmela, E.1
Tijssen, R.2
Blom, M.T.3
Gardeniers, J.G.E.4
van den Berg, A.5
-
45
-
-
0037060187
-
-
Tiggelaar R.M., Veenstra T.T., Sanders R.G.P., Gardeniers J.G.E., Elwenspoek M.C., van den Berg A. Talanta 2002, 56:331.
-
(2002)
Talanta
, vol.56
, pp. 331
-
-
Tiggelaar, R.M.1
Veenstra, T.T.2
Sanders, R.G.P.3
Gardeniers, J.G.E.4
Elwenspoek, M.C.5
van den Berg, A.6
-
46
-
-
1642534626
-
-
Kluwer Acad. Publ., Dordrecht, The Netherlands, J.M. Ramsey (Ed.)
-
Böhm S., Greiner K., Schlautmann S., de Vries S., van den Berg A. Micro Total Analysis Systems 2001, 25. Kluwer Acad. Publ., Dordrecht, The Netherlands. J.M. Ramsey (Ed.).
-
(2001)
Micro Total Analysis Systems
, pp. 25
-
-
Böhm, S.1
Greiner, K.2
Schlautmann, S.3
de Vries, S.4
van den Berg, A.5
-
47
-
-
84903661922
-
Techn. Digest IEEE Int. Conference on MEMS
-
Las Vegas, Jan. 20-24
-
J.G.E. Gardeniers, J.W. Berenschot, M.J. de Boer, Y. Yeshurun, M. Hefetz, R. van 't Overver and A. van den Berg, Techn. Digest IEEE Int. Conference on MEMS, Las Vegas, Jan. 20-24, 141.
-
-
-
Gardeniers, J.G.E.1
Berenschot, J.W.2
de Boer, M.J.3
Yeshurun, Y.4
Hefetz, M.5
van 't Overver, R.6
van den Berg, A.7
-
48
-
-
85133293855
-
Nanoport is a trademark of Upchurch Scientific
-
P.O. Box 1529, 619 Oak Street, Oak Harbor, WA 98277, U.S.A
-
Nanoport is a trademark of Upchurch Scientific, P.O. Box 1529, 619 Oak Street, Oak Harbor, WA 98277, U.S.A.
-
-
-
-
49
-
-
0036732311
-
-
Berenschot J.W., Tas N.R., Lammerink T.S.J., Elwenspoek M., van den Berg A. J. Micromech. Microeng. 2002, 12:621.
-
(2002)
J. Micromech. Microeng.
, vol.12
, pp. 621
-
-
Berenschot, J.W.1
Tas, N.R.2
Lammerink, T.S.J.3
Elwenspoek, M.4
van den Berg, A.5
-
50
-
-
0036570126
-
-
Tas N.R., Berenschot J.W., Lammerink T.S.J., Elwenspoek M., van den Berg A. Anal. Chem. 2002, 74:2224.
-
(2002)
Anal. Chem.
, vol.74
, pp. 2224
-
-
Tas, N.R.1
Berenschot, J.W.2
Lammerink, T.S.J.3
Elwenspoek, M.4
van den Berg, A.5
-
51
-
-
0038515344
-
-
Tiggelaar R.M., Veenstra T.T., Sanders R.G.P., Berenschot J.W., Gardeniers J.G.E., Elwenspoek M.C., Prak A., Mateman R., Wissink J.M., van den Berg A. Sens. Actuators B 2003, 92(1-2):25.
-
(2003)
Sens. Actuators B
, vol.92
, Issue.1-2
, pp. 25
-
-
Tiggelaar, R.M.1
Veenstra, T.T.2
Sanders, R.G.P.3
Berenschot, J.W.4
Gardeniers, J.G.E.5
Elwenspoek, M.C.6
Prak, A.7
Mateman, R.8
Wissink, J.M.9
van den Berg, A.10
-
52
-
-
0027646526
-
-
van den Schoot B.H., Jeanneret S., Van den Berg A., de Rooij N.F. Sens. Act. B 1993, 15:211.
-
(1993)
Sens. Act. B
, vol.15
, pp. 211
-
-
van den Schoot, B.H.1
Jeanneret, S.2
Van den Berg, A.3
de Rooij, N.F.4
-
53
-
-
0037738783
-
-
Wissink J., Prak A., Wehrmeijer M., Mateman R. Proc. VDE World Micro Technol. Congr. 2000, vol. 2:51-56.
-
(2000)
Proc. VDE World Micro Technol. Congr.
, vol.2
, pp. 51-56
-
-
Wissink, J.1
Prak, A.2
Wehrmeijer, M.3
Mateman, R.4
-
54
-
-
0002098291
-
-
Veenstra T.T., Berenschot J.W., Gardeniers J.G.E., Sanders R.G.P., Elwenspoek M.C., van den Berg A. J. Electrochem. Soc. 2001, 148:G68-G72.
-
(2001)
J. Electrochem. Soc.
, vol.148
, pp. G68-G72
-
-
Veenstra, T.T.1
Berenschot, J.W.2
Gardeniers, J.G.E.3
Sanders, R.G.P.4
Elwenspoek, M.C.5
van den Berg, A.6
-
55
-
-
0033138331
-
-
Veenstra T.T., Lammerink T.S.J., Elwenspoek M.C., van den Berg A. J. Micromech. Microeng. 1999, 9:199.
-
(1999)
J. Micromech. Microeng.
, vol.9
, pp. 199
-
-
Veenstra, T.T.1
Lammerink, T.S.J.2
Elwenspoek, M.C.3
van den Berg, A.4
-
56
-
-
0038076354
-
MAFIAS: An integrated Lab-On-A-Chip for the measurement of ammonium
-
University of Twente, Enschede, The Netherlands
-
Veenstra T.T. MAFIAS: An integrated Lab-On-A-Chip for the measurement of ammonium. PhD thesis 2001, University of Twente, Enschede, The Netherlands.
-
(2001)
PhD thesis
-
-
Veenstra, T.T.1
|